一種線切割方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種線切割方法，在第N個切割周期時，回收金剛線，使所述第N個切割周期的入刀階段的起點所采用的金剛線為上一切割周期內(nèi)切割后半段所用的金剛線，其中，N≥2。該方法通過相鄰兩個切割周期的調(diào)整使得整根金剛線的各個位置磨損趨于均勻，從而減小再次切割晶片時的誤差，提高切片質(zhì)量。
【專利說明】
一種線切割方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及晶片切割技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶片切割過程中所用到的線切割方法。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體來料一般為棒料，在對棒料的首尾進行去除后需要將晶棒進行切片形成晶片。
[0003]晶棒切片時需要用到切片機，切片機包括放線輪01和收線輪02，在開始時，放線輪01上繞有數(shù)萬米金剛線，而收線輪02僅繞有少量金剛線，放線輪01通過一系列導(dǎo)輪03將金剛線繞在主輥04上，并在主輥04上形成一定間距的線網(wǎng)，如圖1中所示，工作時放線輪01、收線輪02和主輥04做高速旋轉(zhuǎn)，帶動金剛線作高速運動，同時晶棒工件06被夾持件05夾持并以一定的速度接近線網(wǎng)，線網(wǎng)對工件進行高速磨削，隨著工件的移動，最終將工件切割成薄片。
[0004]晶棒呈圓柱狀，在切割時線網(wǎng)是與晶棒的軸線垂直的，如圖2中所示，晶棒的底面設(shè)置有導(dǎo)向條，頂面設(shè)置有粘接樹脂板，在線網(wǎng)剛接觸導(dǎo)向條時，整個切割周期開始，直至線網(wǎng)脫離粘接樹脂板為止，切割周期結(jié)束。在一個切割周期內(nèi)，從線網(wǎng)與導(dǎo)向條接觸開始至與晶棒接觸為止稱為入刀階段SI，從線網(wǎng)與晶棒接觸開始至切割到晶棒的中心面位置為止稱為切割前半段S2，從晶棒中心面位置開始至晶棒的外圓面位置為止稱為切割后半段S3，從線網(wǎng)脫離晶棒表面開始至脫離粘接樹脂板為止稱為退刀階段S4。
[0005]在入刀階段和退刀階段，金剛線幾乎沒有磨損，而在切割前半段，金剛線的損耗顯著大于入刀階段和退刀階段，且其磨損程度隨著切割的進行逐漸加劇，在切割后半段，金剛線的損耗也顯著大于入刀階段和退刀階段，并且金剛線的磨損程度隨著切割的進行逐漸降低，如圖3中所示，因此整根金剛線的磨損極不均勻，相互之間的差值能夠達到0.0lmm以上，這就導(dǎo)致該金剛線被再次利用時，切割出的晶片存在著較大的誤差。
[0006]因此，如何能夠使得整根切割線在切割過程中的磨損趨于均勻，以便減小再次切割晶片時的誤差是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的是提供一種線切割方法，以便能夠使得整根切割線在切割過程中的磨損趨于均勻，減小該切割線再次切割晶片時的誤差，提高切片質(zhì)量。
[0008]為達到上述目的，本發(fā)明提供的線切割方法，在第N個切割周期時，回收金剛線，使所述第N個切割周期的入刀階段的起點所采用的金剛線為上一切割周期內(nèi)切割后半段所用的金剛線，其中，N多2。
[0009]優(yōu)選的，所述第N個切割周期的入刀階段的起點所用的金剛線，為上一切割周期的切割后半段的起點所用的金剛線。
[0010]優(yōu)選的，在整個切割周期內(nèi)的任意一個階段中，所述金剛線均為往復(fù)切割，所述往復(fù)切割為:金剛線前進L1米，然后回收1^米，且所述U>L2。
[0011 ]優(yōu)選的，在切割時向所述金剛線與工件的接觸位置通入冷卻液。
[0012]優(yōu)選的，所述冷卻液為水。
[0013]在第二個和第二個以上的切割周期中，在入刀階段開始之前，先回收金剛線，以便使金剛線退回到上一個切割周期的切割后半段所用金剛線的位置，該位置為在上一個切割周期中磨損較大的位置，在當(dāng)前切割周期中，以該位置為入刀階段的起點，由于入刀階段的磨損量較小，因此在當(dāng)前切割周期中，該段變?yōu)榱四p量較小的階段，通過相鄰兩個切割周期的調(diào)整使得整根金剛線的各個位置磨損趨于均勻，從而減小再次切割晶片時的誤差，提高切片質(zhì)量。
【附圖說明】
[0014]圖1為工件線切割時的切割示意圖；
[0015]圖2為線切割各個階段的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為一個切割周期內(nèi)金剛線的磨損示意圖；
[0017]圖4為采用本發(fā)明實施例中所公開的切割方法后相鄰兩個切割周期金剛線的磨損示意圖；
[0018]圖5為圖4中相鄰兩個切割周期合成后的金剛線實際磨損示意圖。
【具體實施方式】
[0019]本發(fā)明的核心之一是提供一種線切割方法，以便能夠使得整根切割線在切割過程中的磨損趨于均勻，減小該切割線再次切割晶片時的誤差，提高切片質(zhì)量。
[0020]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0021]請參考圖3，在一個切割周期中，需要經(jīng)歷入刀階段，切割前半段，切割后半段以及退刀階段，請同時參考圖2，由于在入到階段和退刀階段，切割線(金剛線)分別與導(dǎo)向條和用于粘接工件的粘接樹脂板相接觸，因而切割線的磨損量非常小，甚至是沒有磨損，表現(xiàn)在圖中就是兩端圖3中兩端的直線，而在切割前半段，隨著金剛線與工件接觸面積的增加，金剛線的磨損將逐漸加劇，表現(xiàn)在圖中就是圖3中磨損量的上升階段，當(dāng)金剛線切割至工件的中心平面位置，磨損量達到最大，此后進入切割后半段，在該階段中，隨著金剛線與工件接觸面積的減小，金剛線的磨損程度將趨于減小。
[0022]由此可見，整個切割周期中會使得金剛線的磨損極不均勻，有的地方磨損量很大，有的地方磨損量較小，這就導(dǎo)致再下次進行工件切割時，導(dǎo)致切除的晶片厚度不一致，嚴重影響晶片的質(zhì)量。
[0023]為此，本發(fā)明實施例中所公開的方法為:在第N個切割周期時，先回收金剛線，使所述第N個切割周期的入刀階段的起點所采用的金剛線為上一切割周期內(nèi)切割后半段所用的金剛線，其中，N>2。
[0024]在第二個和第二個以上的切割周期中，在入刀階段開始之前，先回收金剛線，以便使金剛線退回到上一個切割周期的切割后半段所用金剛線的位置，該位置為在上一個切割周期中磨損較大的位置，在當(dāng)前切割周期中，以該位置為入刀階段的起點，由于入刀階段的磨損量較小，因此在當(dāng)前切割周期中，該段變?yōu)榱四p量較小的階段，通過相鄰兩個切割周期的調(diào)整使得整根金剛線的各個位置磨損趨于均勻，如圖4和圖5中所示，從而減小再次切割晶片時的誤差，提尚切片質(zhì)量。
[0025]為了更進一步的使整條線的磨損量趨于均勻，本實施例中的第N個切割周期的入刀階段的起點所用的金剛線，為上一切割周期的切割后半段的起點所用的金剛線。
[0026]由于金剛線在放線輪和收線輪上高速運動，為了避免金剛線快速放完，在整個切割周期內(nèi)的任意一個切割階段中，金剛線均為往復(fù)切割，所謂往復(fù)切割具體是指金剛線前進L1米，然后回收1^米，且所述類似與拉鋸式的切割，但金剛線總體是從放線輪向收線輪運動。
[0027]更進一步的，為了避免金剛線快速磨損，還需在切割過程中在金剛線與工件的接觸位置通入冷卻液，考慮到生產(chǎn)成本，冷卻液可以采用自來水，當(dāng)然，為了避免自來水中的雜質(zhì)對切片造成影響，還可先對自來水進行過濾，去除影響切割的雜質(zhì)。
[0028]以上對本發(fā)明所提供的線切割方法進行了詳細介紹。本文中應(yīng)用了具體個例對本發(fā)明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對本發(fā)明進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種線切割方法，其特征在于，在第N個切割周期時，回收金剛線，使所述第N個切割周期的入刀階段的起點所采用的金剛線為上一切割周期內(nèi)切割后半段所用的金剛線，其中，N多2。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線切割方法，其特征在于，所述第N個切割周期的入刀階段的起點所用的金剛線，為上一切割周期的切割后半段的起點所用的金剛線。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線切割方法，其特征在于，在整個切割周期內(nèi)的任意一個階段中，所述金剛線均為往復(fù)切割，所述往復(fù)切割為:金剛線前進1^米，然后回收1^米，且所述1^>L2o4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的線切割方法，其特征在于，在切割時向所述金剛線與工件的接觸位置通入冷卻液。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的線切割方法，其特征在于，所述冷卻液為水。
【文檔編號】B28D5/04GK106079124SQ201610504754
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月30日
【發(fā)明人】徐永亮, 吳智洪, 廖德元, 張紅臣
【申請人】蘇州恒嘉晶體材料有限公司