廢氦氣純化回收系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及氦氣提純技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)，包括與檢漏配氣系統(tǒng)中高壓氦氣罐相連的集氣罐，集氣罐排出的氣體經(jīng)過減壓閥PV與氦氣分離單元相連，高壓氦氣罐和減壓閥PV之間的管路上設(shè)置有閥門第一過濾單元，第一過濾單元用于過濾待提純氣體中的雜質(zhì)，氦氣分離單元用于對(duì)氦氣進(jìn)行提純后輸出。通過設(shè)置專用的油水過濾系統(tǒng)，針對(duì)空調(diào)檢漏廢氦氣中的油水以及粉塵顆粒等雜質(zhì)成分進(jìn)行有效的濾除，減少氦氣分離單元中膜分離過程中的負(fù)荷和污染，延長(zhǎng)氦氣分離單元的使用壽命。
【專利說(shuō)明】
廢氦氣純化回收系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及氦氣提純技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]氦氣作為國(guó)防軍工和高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的稀缺性戰(zhàn)略資源，其泛應(yīng)用于制冷、半導(dǎo)體、核反應(yīng)堆、醫(yī)療、金屬制造、管道檢漏、深海潛水以及超高真空技術(shù)等方向，同時(shí)，氦資源對(duì)于科研來(lái)說(shuō)意義重大。氦氣的含量低，提取難度大，成本高，目前主要依靠從天然氣中提取。而我國(guó)現(xiàn)有的天然氣中氦氣含量?jī)H為0.2%，屬貧氦國(guó)家，我國(guó)不得不依靠從美國(guó)、歐洲和中東大量進(jìn)口所需的氦。同時(shí)隨著我國(guó)國(guó)防工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，氦氣的需求越來(lái)越大，一旦在非常時(shí)期氦氣難以進(jìn)口，必將在大范圍內(nèi)影響我國(guó)的國(guó)防安全和經(jīng)濟(jì)發(fā)展。因此，對(duì)于提高氦氣生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)性以及保障國(guó)家國(guó)防安全等方面來(lái)說(shuō)，廢氦氣的回收提純以及再利用具有重大的意義。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，比較成熟的氦氣提純技術(shù)主要有低溫法、高壓低溫冷凝吸附法、膜分離法。低溫法采用低溫制冷機(jī)或液氮制冷劑冷凍分離其中的氮?dú)夂脱鯕獾入s質(zhì)以獲得較高純度氦氣，純度可以達(dá)到99.9995%，其缺點(diǎn)是分離過程需要不斷提供冷源，能耗比較高，且設(shè)備的體積相對(duì)較大。高壓低溫冷凝吸附法原理是在高壓(10?20MPa)、低溫(77K)下先進(jìn)行冷凝，分離出其中的液態(tài)空氣，然后再通過低溫吸附劑除去剩余雜質(zhì)，其缺點(diǎn)是分離過程要在高壓的條件下完成，純化量較少的時(shí)候消耗相對(duì)較大。膜分離法是利用某些膜對(duì)某些氣體組分具有選擇性滲透和擴(kuò)散的特性，來(lái)分離和純化氣體，它是以膜兩側(cè)氣體的分壓差為推動(dòng)力，通過溶解、擴(kuò)散、滲透、脫附等步驟，產(chǎn)生組份間傳遞速率的差異來(lái)實(shí)現(xiàn)分離的，與傳統(tǒng)的低溫法、高壓低溫冷凝吸附法相比，由于在常溫下操作，它具有能耗低、便于操作等特點(diǎn)，但是采用膜分離法的氦氣提純技術(shù)并不成熟。
[0004]中國(guó)發(fā)明專利《在線純化和循環(huán)空調(diào)檢漏廢氦氣的設(shè)備》(公開號(hào):104003361A;【公開日】:2014年8月27日)中提供了一種在線純化和循環(huán)空調(diào)檢漏廢氦氣的設(shè)備，該設(shè)備包括依次連接的廢氦氣回收單元、純化單元、循環(huán)供氣單元。純化單元中設(shè)有吸附純化器與膜分離純化器，其結(jié)構(gòu)為吸附純化器的出口通過氣體管路連通至膜分離純化器的進(jìn)口。但這種純化結(jié)構(gòu)存在的技術(shù)問題:廢氦氣在使用膜分離提純之前需要進(jìn)行預(yù)處理，去除油水以及粉塵顆粒等給膜帶來(lái)污染的物質(zhì)。而使用常規(guī)的吸附純化器，并不能針對(duì)空調(diào)檢漏廢氦氣中的油水以及粉塵顆粒等雜質(zhì)成分作出有效去除，對(duì)膜的負(fù)荷和污染較大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)，能夠有效的對(duì)空調(diào)檢漏的廢氦氣進(jìn)行提純。
[0006]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)，包括與檢漏配氣系統(tǒng)中高壓氦氣罐相連的集氣罐，集氣罐排出的氣體經(jīng)過減壓閥PV與氦氣分離單元相連，高壓氦氣罐和減壓閥PV之間的管路上設(shè)置有閥門第一過濾單元，第一過濾單元用于過濾待提純氣體中的雜質(zhì)，氦氣分離單元用于對(duì)氦氣進(jìn)行提純后輸出。
[0007]進(jìn)一步地，所述的氦氣分離單元輸出的純化后的氦氣經(jīng)過壓縮栗加壓后輸送至檢漏配氣系統(tǒng)中的低壓氦氣罐中，氦氣分離單元和低壓氦氣罐之間的管路上設(shè)置有閥門和第二過濾單元，第二過濾單元用于避免低壓氦氣罐中的雜質(zhì)對(duì)本系統(tǒng)造成污染。
[0008]進(jìn)一步地，所述的高壓氦氣罐通過閥門與集氣罐相連，集氣罐通過閥門與第一過濾單元相連，第一過濾單元依次通過冷干機(jī)、減壓閥PV與氦氣分離單元相連，氦氣分離單元通過閥門與壓縮栗相連，壓縮栗通過第二過濾單元、閥門后與低壓氦氣罐相連。
[0009]進(jìn)一步地，所述的高壓氦氣罐依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl與集氣罐相連，集氣罐上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，集氣罐和第一過濾單元之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV2，氦氣分離單元上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，氦氣分離單元和壓縮栗之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV3，壓縮栗依次通過壓力傳感器P2、流量計(jì)、第二過濾單元、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐相連，手動(dòng)閥V1、V4以及電磁閥EV1、EV2、EV3均用于控制管路通斷。
[0010]進(jìn)一步地，所述的第一過濾單元由多個(gè)單油水過濾器依次串聯(lián)而成且多個(gè)單油水過濾器中的填料相異，第二過濾單元為單油水過濾器;單油水過濾器包括第一殼體，第一殼體呈桶狀且其開口朝下設(shè)置，第一殼體的開口位置處設(shè)置有與其相適配的第一端蓋，第一端蓋和第一殼體圍合而成的第一空腔中填充有填料，第一殼體靠近開口一側(cè)的周壁上設(shè)置有進(jìn)氣口，第一殼體的頂部設(shè)置有出氣口，第一端蓋上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第一空腔的底部設(shè)置有擋板用于阻擋填料且允許油水進(jìn)入到雜質(zhì)排放口中。
[0011 ]進(jìn)一步地，包括兩個(gè)第一過濾單元，高壓氦氣罐依次通過閥門、第一過濾單元與集氣罐相連，集氣罐依次通過另一個(gè)第一過濾單元、閥門后與冷干機(jī)相連，冷干機(jī)通過減壓閥PV與氦氣分離單元相連，氦氣分離單元經(jīng)過壓縮栗、第二過濾單元、閥門后與低壓氦氣罐相連。
[0012]進(jìn)一步地，所述的高壓氦氣罐依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl后與第一過濾單元相連，集氣罐上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，另一個(gè)第一過濾單元通過電磁閥EV2與冷干機(jī)相連，氦氣分離單元上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，壓縮栗依次通過流量計(jì)、壓力傳感器P2、電磁閥EV3、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐相連，手動(dòng)閥Vl、V4以及電磁閥EVl、EV2、EV3均用于控制管路通斷。
[0013]進(jìn)一步地，所述的兩個(gè)第一過濾單元和第二過濾單元均為雙油水過濾器，雙油水過濾器包括第二殼體以及套設(shè)在第二殼體內(nèi)外側(cè)的第三殼體，所述第二殼體的內(nèi)部形成第二空腔，第二殼體和第三殼體之間形成第三空腔，第三殼體上部開設(shè)有進(jìn)氣口連通第三空腔且開設(shè)有出氣口連通第二空腔，第三殼體下部的第二端蓋上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第二空腔靠近第二端蓋的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通，第三空腔靠近第二端蓋的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通。
[0014]進(jìn)一步地，所述的氦氣分離單元包括膜組件以及套設(shè)在膜組件外側(cè)的外殼，膜組件上設(shè)置有用于導(dǎo)入氣體的進(jìn)氣口、用于排出純化后氣體的出氣口以及用于排放廢氣的排氣口，外殼上設(shè)置有進(jìn)氣口、出氣口和排氣口，外殼上的出氣口、排氣口分別與膜組件的出氣口、排氣口相連通。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型存在以下技術(shù)效果:通過設(shè)置專用的油水過濾系統(tǒng)，針對(duì)空調(diào)檢漏廢氦氣中的油水以及粉塵顆粒等雜質(zhì)成分進(jìn)行有效的濾除，減少氦氣分離單元中膜分離過程中的負(fù)荷和污染，延長(zhǎng)氦氣分離單元的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3是單油水過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4是雙油水過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5是多個(gè)單油水過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6是氦氣分離單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合圖1至圖6，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)敘述。
[0023]參閱圖1、圖2，一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)，包括與檢漏配氣系統(tǒng)中高壓氦氣罐11相連的集氣罐20，集氣罐20排出的氣體經(jīng)過減壓閥PV與氦氣分離單元50相連，高壓氦氣罐11和減壓閥PV之間的管路上設(shè)置有閥門和第一過濾單元31，第一過濾單元31用于過濾待提純氣體中的雜質(zhì)，這里的雜質(zhì)一般包括油、水、粉塵顆粒等，氦氣分離單元50用于對(duì)氦氣進(jìn)行提純后輸出。通過設(shè)置專用的油水過濾系統(tǒng)，針對(duì)空調(diào)檢漏廢氦氣中的油水以及粉塵顆粒等雜質(zhì)成分進(jìn)行有效的濾除，減少氦氣分離單元中膜分離過程中的負(fù)荷和污染，延長(zhǎng)氦氣分離單元的使用壽命。在使用時(shí)，第一過濾單元31—定要布置在氦氣分離單元50的前面，保證進(jìn)入到氦氣分離單元50中氣體的雜質(zhì)在要求的范圍內(nèi)。這里的氦氣分離單元50采用的是膜分離法，其內(nèi)部的材料昂貴且容易損壞，因此這里設(shè)置有減壓閥PV，避免高氣壓對(duì)氦氣分離單元50中造成損害。被氦氣分離單元50純化后的氦氣可以收集起來(lái)，也可以重復(fù)利用，下面的實(shí)施例中采用的就是循環(huán)利用。
[0024]優(yōu)選地，所述的氦氣分離單元50輸出的純化后的氦氣經(jīng)過壓縮栗60加壓后輸送至檢漏配氣系統(tǒng)中的低壓氦氣罐12中，氦氣分離單元50和低壓氦氣罐12之間的管路上設(shè)置有閥門和第二過濾單元32 ο由于氣體進(jìn)入氦氣分離單元50之前進(jìn)行了降壓，故被純化后的氦氣壓力較小，因此這里設(shè)置了壓縮栗60對(duì)氣體加壓方便輸送至低壓氦氣罐12。純化后的氦氣進(jìn)入低壓氦氣罐12中之后供空調(diào)使用，如果純化后的氣體量和純度未達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)，可與高純氦混合后再供給空調(diào)使用。循環(huán)利用的好處有很多，一方面無(wú)需對(duì)純化后的氦氣進(jìn)行存儲(chǔ)、運(yùn)輸，另一方面能夠直接返回至原有的工序中彌補(bǔ)氦氣的消耗。某一線空調(diào)品牌平均每月采購(gòu)15000Nm3用于兩器檢漏消耗，如果將原本排空的純度為70%?80%的廢氦氣通過純化設(shè)備實(shí)現(xiàn)在線提純循環(huán)使用，可回收約9000Nm3的氦氣，采購(gòu)廢氦氣這一項(xiàng)成本每月可降低至原來(lái)的五分之二，這將為生產(chǎn)企業(yè)節(jié)約大量的采購(gòu)成本。
[0025]對(duì)于大部分低壓氦氣罐12來(lái)說(shuō)，由于罐體上預(yù)留的接頭不多，從壓縮栗60返回的管道可能會(huì)接在低壓氦氣罐12的罐底，這樣就有可能造成低壓氦氣罐12中的雜質(zhì)發(fā)生倒流，污染本系統(tǒng)，因此這里在壓縮栗60和低壓氦氣罐12之間還設(shè)置有第二過濾單元32用于避免低壓氦氣罐12中的雜質(zhì)對(duì)本系統(tǒng)造成污染。
[0026]根據(jù)待純化氣體特性的不同，本實(shí)用新型提供了兩種具體的實(shí)施方式。
[0027]參閱圖1，實(shí)施例一，所述的高壓氦氣罐11通過閥門與集氣罐20相連，集氣罐20通過閥門與第一過濾單元31相連，第一過濾單元31依次通過冷干機(jī)40、減壓閥PV與氦氣分離單元50相連，氦氣分離單元50通過閥門與壓縮栗60相連，壓縮栗60通過第二過濾單元32、閥門后與低壓氦氣罐12相連。這里的第一過濾單元31設(shè)置在集氣罐20的后方，主要是避免雜質(zhì)進(jìn)入到氦氣分離單元50中。
[0028]優(yōu)選地，所述的高壓氦氣罐11依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl與集氣罐20相連，設(shè)置手動(dòng)閥VI，可以人工對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行開閉，使用電磁閥EVl后，手動(dòng)閥Vl處于常開狀態(tài)，緊急情況下使用手動(dòng)閥Vl對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制。集氣罐20上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐20內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，集氣罐20和第一過濾單元31之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV2，氦氣分離單元50上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，氦氣分離單元50和壓縮栗60之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV3，壓縮栗60依次通過壓力傳感器P2、流量計(jì)70、第二過濾單元32、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐12相連，壓力傳感器P2主要用于監(jiān)測(cè)管路上的壓力以及控制電磁閥E V 2的開啟或關(guān)閉，流量計(jì)7 O用于統(tǒng)計(jì)純化氦氣的總量，手動(dòng)閥V1、V 4以及電磁閥EVl、EV2、EV3均用于控制管路通斷。實(shí)施例一中的手動(dòng)閥、電磁閥、流量計(jì)70、壓力表或壓力傳感器的布置方式只是提供一種參考，操作人員可以根據(jù)自己的需要監(jiān)測(cè)的數(shù)據(jù)、需要控制的管路、需要監(jiān)測(cè)的流量進(jìn)行設(shè)定相應(yīng)的零部件。
[0029]優(yōu)選地，為了保證第一過濾單元31的過濾效果，所述的第一過濾單元31由多個(gè)單油水過濾器依次串聯(lián)而成且多個(gè)單油水過濾器中的填料相異，這樣才能保證過濾雜質(zhì)的不同。第二過濾單元32主要是為了防止系統(tǒng)被污染，其可以簡(jiǎn)單的過濾效果即可，這里的第二過濾單元32為單油水過濾器。單油水過濾器如圖3所示，多個(gè)單油水過濾器如圖5所示，單油水過濾器包括第一殼體311，第一殼體311呈桶狀且其開口朝下設(shè)置，第一殼體311的開口位置處設(shè)置有與其相適配的第一端蓋312，第一端蓋312和第一殼體311圍合而成的第一空腔313中填充有填料，第一殼體311靠近開口一側(cè)的周壁上設(shè)置有進(jìn)氣口，第一殼體311的頂部設(shè)置有出氣口，第一端蓋312上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第一空腔313的底部設(shè)置有擋板314用于阻擋填料且允許油水進(jìn)入到雜質(zhì)排放口中。
[0030]具體地，所述第一殼體311開口處向外側(cè)設(shè)置有翻邊，第一端蓋312靠近邊緣處設(shè)置有環(huán)形凸起，翻邊與環(huán)形凸起相抵靠且兩者之間通過螺栓或螺絲緊固。所述擋板314為圓形板狀，擋板314上開設(shè)有多個(gè)孔洞，孔洞的孔徑大小能夠滿足阻擋填料且允許雜質(zhì)通過。所述擋板314的直徑與環(huán)形凸起的內(nèi)徑相吻合，環(huán)形凸起內(nèi)側(cè)設(shè)置有凸塊用于支撐所述擋板314;環(huán)形凸起和翻邊之間設(shè)置有密封圈。所述擋板314的直徑與環(huán)形凸起的外徑相吻合，擋板314位于翻邊和環(huán)形凸起的中間且三者通過螺栓或螺絲緊固在一起;環(huán)形凸起與擋板314之間以及翻邊與擋板314之間均設(shè)置有密封圈。所述第一端蓋312朝向第一殼體311—側(cè)板面呈圓錐狀，圓錐狀的錐頭朝向遠(yuǎn)離第一殼體311的一側(cè)，雜質(zhì)排放口設(shè)置在錐頭位置處。第一殼體311和第一端蓋312均由不銹鋼材料制成。
[0031 ]實(shí)施例一中的第一過濾單元31由三個(gè)單油水分離器構(gòu)成，第一個(gè)單油水分離器的出氣口連通第二個(gè)單油水分離器的進(jìn)氣口，第二個(gè)單油水分離器的出氣口連通第三個(gè)單油水分離器的進(jìn)氣口。
[0032]參閱圖2，實(shí)施例二，包括兩個(gè)第一過濾單元31，高壓氦氣罐11依次通過閥門、第一過濾單元31與集氣罐20相連，集氣罐20依次通過另一個(gè)第一過濾單元31、閥門后與冷干機(jī)40相連，冷干機(jī)40通過減壓閥PV與氦氣分離單元50相連，氦氣分離單元50經(jīng)過壓縮栗60、第二過濾單元32、閥門后與低壓氦氣罐12相連。將其中第一過濾單元31設(shè)置在集氣罐20的前面，可以減少集氣罐20的污染，能在一定程度上保證集氣罐20的潔凈度。
[0033]優(yōu)選地，所述的高壓氦氣罐11依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl后與第一過濾單元31相連，集氣罐20上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐20內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，另一個(gè)第一過濾單元31通過電磁閥EV2與冷干機(jī)40相連，氦氣分離單元50上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，壓縮栗60依次通過流量計(jì)70、壓力傳感器P2、電磁閥EV3、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐12相連，手動(dòng)閥V1、V4以及電磁閥EV1、EV2、EV3均用于控制管路通斷。這些手動(dòng)閥、電磁閥、壓力表、壓力傳感器以及流量計(jì)70的設(shè)置與實(shí)施例一中的相同，這里就不再贅述。
[0034]優(yōu)選地，所述的兩個(gè)第一過濾單元31和第二過濾單元32均為雙油水過濾器，當(dāng)然，這里的第二過濾單元32也可以為單油水過濾器。雙油水過濾器如圖4所示，其包括第二殼體331以及套設(shè)在第二殼體331外側(cè)的第三殼體332，所述第二殼體331的內(nèi)部形成第二空腔333，第二殼體331和第三殼體332之間形成第三空腔334，第三殼體332上部開設(shè)有進(jìn)氣口連通第三空腔334且開設(shè)有出氣口連通第二空腔333，第三殼體332下部的第二端蓋335上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第二空腔333靠近第二端蓋335的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通，第三空腔334靠近第二端蓋335的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通。雙油水過濾器在本公司同日申請(qǐng)的實(shí)用新型專利《油水過濾器》中已經(jīng)詳細(xì)的進(jìn)行了闡述，包括其結(jié)構(gòu)、工作原理，這里就不再詳細(xì)描述。
[0035]參閱圖6，作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述的氦氣分離單元50包括膜組件51以及套設(shè)在膜組件51外側(cè)的外殼52，膜組件51上設(shè)置有用于導(dǎo)入氣體的進(jìn)氣口、用于排出純化后氣體的出氣口以及用于排放廢氣的排氣口，外殼52上設(shè)置有進(jìn)氣口、出氣口和排氣口，外殼52上的出氣口、排氣口分別與膜組件51的出氣口、排氣口相連通。氦氣分離單元50在本公司同日申請(qǐng)的專利《純化氣體膜分離裝置》中已經(jīng)詳細(xì)記載，這里就不再贅述。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:包括與檢漏配氣系統(tǒng)中高壓氦氣罐(11)相連的集氣罐(20)，集氣罐(20)排出的氣體經(jīng)過減壓閥PV與氦氣分離單元(50)相連，高壓氦氣罐(11)和減壓閥PV之間的管路上設(shè)置有閥門和第一過濾單元(31)，第一過濾單元(31)用于過濾待提純氣體中的雜質(zhì)，氦氣分離單元(50)用于對(duì)氦氣進(jìn)行提純后輸出。2.如權(quán)利要求1所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的氦氣分離單元(50)輸出的純化后的氦氣經(jīng)過壓縮栗(60)加壓后輸送至檢漏配氣系統(tǒng)中的低壓氦氣罐(12)中，氦氣分離單元(50)和低壓氦氣罐(12)之間的管路上設(shè)置有閥門和第二過濾單元(32)，第二過濾單元(32)用于避免低壓氦氣罐(12)中的雜質(zhì)對(duì)本系統(tǒng)造成污染。3.如權(quán)利要求2所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的高壓氦氣罐(11)通過閥門與集氣罐(20)相連，集氣罐(20)通過閥門與第一過濾單元(31)相連，第一過濾單元(31)依次通過冷干機(jī)(40)、減壓閥PV與氦氣分離單元(50)相連，氦氣分離單元(50)通過閥門與壓縮栗(60)相連，壓縮栗(60)通過第二過濾單元(32)、閥門后與低壓氦氣罐(12)相連。4.如權(quán)利要求3所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的高壓氦氣罐(11)依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl與集氣罐(20)相連，集氣罐(20)上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐(20)內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，集氣罐(20)和第一過濾單元(31)之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV2，氦氣分離單元(50)上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，氦氣分離單元(50)和壓縮栗(60)之間的管路上設(shè)置有電磁閥EV3，壓縮栗(60)依次通過壓力傳感器P2、流量計(jì)(70)、第二過濾單元(32)、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐(12)相連，手動(dòng)閥Vl、V4以及電磁閥EVl、EV2、EV3均用于控制管路通斷。5.如權(quán)利要求4所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的第一過濾單元(31)由多個(gè)單油水過濾器依次串聯(lián)而成且多個(gè)單油水過濾器中的填料相異，第二過濾單元(32)為單油水過濾器;單油水過濾器包括第一殼體(311)，第一殼體(311)呈桶狀且其開口朝下設(shè)置，第一殼體(311)的開口位置處設(shè)置有與其相適配的第一端蓋(312)，第一端蓋(312)和第一殼體(311)圍合而成的第一空腔(313)中填充有填料，第一殼體(311)靠近開口一側(cè)的周壁上設(shè)置有進(jìn)氣口，第一殼體(311)的頂部設(shè)置有出氣口，第一端蓋(312)上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第一空腔(313)的底部設(shè)置有擋板(314)用于阻擋填料且允許油水進(jìn)入到雜質(zhì)排放口中。6.如權(quán)利要求2所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:包括兩個(gè)第一過濾單元(31)，高壓氦氣罐(11)依次通過閥門、第一過濾單元(31)與集氣罐(20)相連，集氣罐(20)依次通過另一個(gè)第一過濾單元(31)、閥門后與冷干機(jī)(40)相連，冷干機(jī)(40)通過減壓閥PV與氦氣分離單元(50)相連，氦氣分離單元(50)經(jīng)過壓縮栗(60)、第二過濾單元(32)、閥門后與低壓氦氣罐(12)相連。7.如權(quán)利要求6所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的高壓氦氣罐(11)依次通過手動(dòng)閥V1、電磁閥EVl后與第一過濾單元(31)相連，集氣罐(20)上設(shè)置有用于監(jiān)測(cè)集氣罐(20)內(nèi)氣體壓力的壓力表Pl和用于排除油水的手動(dòng)閥V2，另一個(gè)第一過濾單元(31)通過電磁閥EV2與冷干機(jī)(40)相連，氦氣分離單元(50)上設(shè)置有用于排放純化后廢氣的手動(dòng)閥V3，壓縮栗(60)依次通過流量計(jì)(70)、壓力傳感器P2、第二過濾單元(32)、電磁閥EV3、手動(dòng)閥V4與低壓氦氣罐(12)相連，手動(dòng)閥V1、V4以及電磁閥EV1、EV2、EV3均用于控制管路通斷。8.如權(quán)利要求7所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的兩個(gè)第一過濾單元(31)和第二過濾單元(32)均為雙油水過濾器，雙油水過濾器包括第二殼體(331)以及套設(shè)在第二殼體(331)外側(cè)的第三殼體(332)，所述第二殼體(331)的內(nèi)部形成第二空腔(333)，第二殼體(331)和第三殼體(332)之間形成第三空腔(334)，第三殼體(332)上部開設(shè)有進(jìn)氣口連通第三空腔(334)且開設(shè)有出氣口連通第二空腔(333)，第三殼體(332)下部的第二端蓋(335)上開設(shè)有雜質(zhì)排放口，第二空腔(333)靠近第二端蓋(335)的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通，第三空腔(334)靠近第二端蓋(335)的一側(cè)與雜質(zhì)排放口連通。9.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的廢氦氣純化回收系統(tǒng)，其特征在于:所述的氦氣分離單元(50)包括膜組件(51)以及套設(shè)在膜組件(51)外側(cè)的外殼(52)，膜組件(51)上設(shè)置有用于導(dǎo)入氣體的進(jìn)氣口、用于排出純化后氣體的出氣口以及用于排放廢氣的排氣口，外殼(52)上設(shè)置有進(jìn)氣口、出氣口和排氣口，外殼(52)上的出氣口、排氣口分別與膜組件(51)的出氣口、排氣口相連通。
【文檔編號(hào)】C01B23/00GK205575645SQ201620312707
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月13日
【發(fā)明人】劉朝明, 郭會(huì)軍, 黃衛(wèi), 羅輝, 魯驥, 趙俊, 張茜
【申請(qǐng)人】安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司