本發(fā)明涉及使用閥膜進(jìn)行流體的整流的閥和具備該閥的流體控制裝置。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻(xiàn)1、2中，記載了具備壓電泵和止回閥(閥)的流體控制裝置。閥的殼體具有對(duì)置的第一壁和第二壁。在第一壁上形成有第一孔。在第二壁上形成有第二孔及第三孔。第一孔與壓電泵連通。第二孔與流體控制裝置外部的套囊連通。第三孔為排出用，與閥的殼體的外部連通。

2、在殼體設(shè)置有隔膜(膜)。隔膜將殼體的內(nèi)部空間分離為第一壁側(cè)空間、第二壁側(cè)空間。

3、該隔膜因流體的流動(dòng)而變形，由此，在流體(例如氣體)從通氣孔向連通孔流動(dòng)(第一流動(dòng))和流體從連通孔向排氣孔流動(dòng)(第二流動(dòng))之間進(jìn)行切換。

4、更具體而言，在隔膜上形成有貫通孔。另外，在第一壁上形成有臺(tái)座。在俯視觀察閥時(shí)，隔膜的貫通孔和臺(tái)座重疊。

5、在第一流動(dòng)中，隔膜離開(kāi)臺(tái)座。由此，從第一孔流入的流體經(jīng)過(guò)隔膜的貫通孔，被從第二孔排出。在第二流動(dòng)中，隔膜與臺(tái)座的表面抵接。由此，從第二孔流入的流體被從第三孔排出。

6、專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開(kāi)第2017/195475號(hào)

7、專利文獻(xiàn)2：國(guó)際公開(kāi)第2018/021099號(hào)

8、然而，在專利文獻(xiàn)1、2所記載的流體控制裝置中，有可能產(chǎn)生在第一流動(dòng)時(shí)殼體內(nèi)的異物或者混入到殼體內(nèi)的異物夾在隔膜與臺(tái)座之間的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、因此，本發(fā)明的目的在于提供一種抑制異物夾在隔膜與臺(tái)座之間的閥的構(gòu)造。

2、本發(fā)明的閥具備殼體、第一孔、第二孔、閥膜、臺(tái)座以及突起部。殼體具有相互對(duì)置的第一壁及第二壁、和與第一壁、第二壁連接且能夠與第一壁、第二壁一起區(qū)隔出閥室的側(cè)壁。第一孔形成于第一壁，將閥室與外部連通。第二孔形成于第二壁，將閥室與外部連通。閥膜將閥室分為第一壁側(cè)的第一空間和第二壁側(cè)的第二空間，并且具有能夠?qū)⒌谝豢臻g與第二空間連通的貫通孔。臺(tái)座從第一壁向閥室內(nèi)突出，并配置于在沿從第一壁觀察第二壁的第一方向俯視觀察閥時(shí)與貫通孔重疊的位置。在沿與上述第一方向正交的方向亦即第二方向剖視閥時(shí)，突起部配置在第一孔與臺(tái)座之間，在第一空間中設(shè)置于閥膜或第一壁。

3、在該結(jié)構(gòu)中，突起部存在于從第一孔到臺(tái)座及膜用貫通孔這段流路中。因此，在流體從第一孔向膜用貫通孔流動(dòng)時(shí)，從第一孔流入的異物(固體等)和存在于比突起部靠第一孔側(cè)的異物碰上突起部。由此，異物不易到達(dá)臺(tái)座及膜用貫通孔。

4、根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制異物夾在隔膜與臺(tái)座之間。

技術(shù)特征：

1.一種閥，其中，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閥，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閥，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的閥，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的閥，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的閥，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閥，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的閥，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的閥，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的閥，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項(xiàng)所述的閥，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的閥，其中，

14.一種流體控制裝置，其中，具備：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及閥和流體控制裝置。閥(11)具備殼體、孔(400)、孔(700)、閥膜(80)、臺(tái)座(43)以及突起部(90)。殼體具有相互對(duì)置的殼體用部件(70)及平板(41)、和與殼體用部件(70)、平板(41)連接且能夠與殼體用部件(70)、平板(41)一起區(qū)隔出閥室(410)的側(cè)壁(42)?？?400)形成于平板(41)，將閥室(410)與閥(11)的外部連通。孔(700)形成于殼體用部件(70)，將閥室(410)與閥(11)的外部連通。閥膜(80)將閥室(410)分為平板(41)側(cè)的第一空間和殼體用部件(70)側(cè)的第二空間，并且具有能夠?qū)⒌谝豢臻g與第二空間連通的貫通孔(800)。臺(tái)座(43)從平板(41)向閥室(410)內(nèi)突出，并配置于在沿從殼體用部件(70)觀察平板(41)的第一方向俯視觀察閥(11)時(shí)與貫通孔(800)重疊的位置。在沿與第一方向正交的第二方向剖視閥(11)時(shí)，突起部(90)配置在孔(400)與臺(tái)座(43)之間，并在第一空間中設(shè)置于閥膜(80)或平板(41)。

技術(shù)研發(fā)人員：兒玉幸治
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/17