專利名稱：薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及流量儀表中的傳感元件，一種薄膜磁阻器件。
背景技術(shù)：
目前，大多數(shù)低功耗電子儀表都是采用電池長期供電。作為一種服務(wù)設(shè)施的儀表，都是分散安裝在用戶處，因此對電池的超期服役監(jiān)管是這類裝置應(yīng)用中的主要問題。終端表喪失工作動力，從而導(dǎo)致遠程系統(tǒng)管理無法運行。所以，應(yīng)力求一種低消耗能量的器件用于這類儀表中。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種用在流量儀表中的薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件，內(nèi)阻大，達到500～800KΩ，在功耗5V電源工作條件下，工作電流小于10微安。
本設(shè)計的薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件，是利用微機械加工技術(shù)和半導(dǎo)體平面工藝技術(shù)加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效電路與直流電源相連電路中串連兩個薄膜磁敏電阻，總電阻值為500～800KΩ，在兩個薄膜磁敏電阻中間，引出在旋轉(zhuǎn)磁場下有正弦波形輸出的電壓信號輸出端。
這種薄膜型低功耗強磁體磁阻傳感器件，利用薄膜制造技術(shù)、微機械加工技術(shù)和半導(dǎo)體平面工藝等高新技術(shù)制造的高新技術(shù)產(chǎn)品。是一種高靈敏度、低功耗的磁阻傳感元件，主要用于測量物體的旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)角度以及位置等。由于該器件屬低功耗器件，在用電池長期供電的低功耗儀表中，有其不可比擬的應(yīng)用價值，目前主要應(yīng)用領(lǐng)域為流量計、電子水表、電子煤氣表、熱量計、位移檢測、轉(zhuǎn)速檢測等。


附圖1是本設(shè)計薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件等效電路示意圖；附圖2是磁阻傳感器件芯片電路版圖的示意圖；附圖3是磁阻傳感器件輸出信號曲線圖；附圖4是磁阻傳感器件在流量儀表中應(yīng)用示意圖；
具體實施方式
利用“30納米磁性薄膜的制造方法”CN03133649.3制造的磁性薄膜，加工出圖1、圖2所示薄膜磁阻傳感器件，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效電路在與直流電源相連的電路中串連兩個薄膜磁敏電阻Ra、Rb，總電阻值為500～800KΩ，分別有引出腳1、3，在兩個薄膜磁阻Ra、Rb中間，引出如圖2所示輸出端2。經(jīng)這個輸出端2輸出的是如圖3所示，在旋轉(zhuǎn)磁場下呈現(xiàn)正弦波形的電壓信號。
當(dāng)流體進入儀表腔體時，推動了儀表頂部鑲嵌有一磁性體的葉輪旋轉(zhuǎn)，在儀表腔體尺寸確定的條件下，葉輪旋轉(zhuǎn)速度與流體流量成正比，薄膜磁阻傳感器件通過感應(yīng)旋轉(zhuǎn)的磁場信號，輸出正弦波形的電壓信號。輸出的正弦波形電壓信號經(jīng)過放大電路，對信號放大、比較處理后，轉(zhuǎn)換為脈沖信號，實現(xiàn)對流量的計量，見圖4所示。
本設(shè)計流量儀表的薄膜低功耗強磁體磁阻器件的主要性能指標為
權(quán)利要求1.薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件，是利用微機械加工技術(shù)和半導(dǎo)體平面工藝技術(shù)加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效電路在與直流電源相連電路中串連兩個薄膜磁敏電阻，總電阻值為500～800KΩ，在兩個薄膜磁敏電阻中間，引出在旋轉(zhuǎn)磁場下有正弦波形輸出的電壓信號輸出端。
專利摘要薄膜低功耗強磁體磁阻傳感器件，是利用微機械加工技術(shù)和半導(dǎo)體平面工藝技術(shù)加工成的磁性薄膜芯片，其特征是在磁阻芯片的磁性薄膜上制作出等效電路與直流電源相連電路中串連兩個薄膜磁敏電阻，總電阻值為500～800KΩ，在兩個薄膜磁敏電阻中間，引出在旋轉(zhuǎn)磁場下有正弦波形輸出的電壓信號輸出端。利用薄膜制造技術(shù)、微機械加工技術(shù)和半導(dǎo)體平面工藝制造的一種高靈敏度、低功耗的磁阻傳感元件，用于測量物體的旋轉(zhuǎn)速度、旋轉(zhuǎn)角度以及位置等，目前主要應(yīng)用領(lǐng)域為流量計、電子水表、電子煤氣表、熱量計、位移檢測、轉(zhuǎn)速檢測等。在用電池長期供電的低功耗儀表中，其低功耗性能具有不可比擬的應(yīng)用價值。
文檔編號G01R33/09GK2881967SQ200520094779
公開日2007年3月21日 申請日期2005年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月16日
發(fā)明者孫仁濤, 王曉雯, 李紹恒 申請人:沈陽匯博思賓尼斯傳感技術(shù)有限公司