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物質(zhì)檢測系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:39725777發(fā)布日期:2024-10-22 13:24閱讀:6來源:國知局
物質(zhì)檢測系統(tǒng)的制作方法

本發(fā)明涉及物質(zhì)檢測系統(tǒng)。


背景技術(shù):

1、在專利文獻(xiàn)1中公開了一種作為物質(zhì)檢測系統(tǒng)的化學(xué)傳感器裝置,其基于物質(zhì)相對于感應(yīng)膜吸附或脫離時產(chǎn)生的共振頻率的變化量來檢測物質(zhì)。該化學(xué)傳感器裝置具備設(shè)有分別對不同的物質(zhì)示出脫附吸附特性的感應(yīng)膜的多個振子。各振子具備壓電基板,通過施加交流電壓使壓電基板變形而激振。若物質(zhì)吸附于感應(yīng)膜或自感應(yīng)膜脫離,則各振子的共振頻率發(fā)生變化。由此能夠進(jìn)行物質(zhì)的檢測。

2、若使用該化學(xué)傳感器裝置,則能夠檢測由多種物質(zhì)構(gòu)成的氣味?;诟鞲袘?yīng)膜的反應(yīng)值的圖案即構(gòu)成氣味的多個物質(zhì)的構(gòu)成比來確定氣體中含有的氣味。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-204584號公報


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、如上述那樣,氣體的氣味由氣體中含有的多種物質(zhì)構(gòu)成。因此,為了準(zhǔn)確地確定氣體的氣味,需要分別檢測對應(yīng)的物質(zhì)的多個物質(zhì)傳感器。在該情況下,需要配置多個物質(zhì)傳感器的區(qū)域,存在檢測的物質(zhì)越多則該區(qū)域的面積越大的不良情況。

3、本發(fā)明是在上述實際情況下完成的,其目的在于提供一種能夠減小為了配置多個物質(zhì)傳感器所需要的區(qū)域的面積的物質(zhì)檢測系統(tǒng)。

4、用于解決問題的方案

5、為了達(dá)成上述目的,本發(fā)明的物質(zhì)檢測系統(tǒng)具備:腔室,其以使收納于內(nèi)部的氣體的狀態(tài)成為穩(wěn)定狀態(tài)的方式限制所述氣體的流入;物質(zhì)傳感器,其檢測收納于所述腔室的所述氣體中含有的物質(zhì);以及供給部,其向所述腔室供給所述氣體,多個所述物質(zhì)傳感器沿著自所述腔室的流入口朝向排出口的所述氣體的流動方向排列。

6、在該情況下,也可以是,具有連通孔的基板以所述連通孔連通的方式層疊而形成所述腔室,層疊的所述基板中的多個所述基板是具有將作為所述連通孔的第1連通孔的局部堵塞的梁的第1基板,所述物質(zhì)傳感器基于由與所述物質(zhì)的反應(yīng)產(chǎn)生的所述梁的振動頻率的變化來檢測所述物質(zhì)。

7、也可以是,層疊的所述基板中的除所述第1基板以外的多個所述基板是形成有作為所述連通孔的第2連通孔的第2基板,所述第2基板和所述第1基板依次交替地沿所述流動方向?qū)盈B。

8、也可以是,在所述梁形成有與所述物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的物質(zhì)反應(yīng)膜,所述第2連通孔形成為噴嘴狀以使所述氣體朝向所述物質(zhì)反應(yīng)膜流出。

9、也可以是,沿所述流動方向觀察時的所述梁的朝向在沿所述流動方向相鄰的所述梁彼此之間不同。

10、也可以是,沿所述流動方向觀察的所述梁的形狀相對于圓柱狀的所述第1連通孔的中心軸線為旋轉(zhuǎn)對稱,關(guān)于沿所述流動方向相鄰的所述梁彼此,沿所述流動方向觀察時的一個所述梁的朝向相對于另一個所述梁的朝向處于以所述中心軸線為中心進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)的朝向。

11、也可以是,所述梁沿所述流動方向觀察形成為十字狀,關(guān)于沿所述流動方向相鄰的所述梁彼此,一個所述梁的中心線和另一個所述梁的中心線在所述中心軸線處相交的角度為45度。

12、也可以是,所述腔室并列地形成有多個。

13、也可以是,所述物質(zhì)檢測系統(tǒng)具備將流入多個所述腔室的各個腔室的所述氣體的流動抑制為均等地輸送的整流部。

14、也可以是,所述整流部對所述氣體的流動進(jìn)行整流,以使流入多個所述腔室的各個腔室的所述氣體的流量和流速中的至少一者變得均勻。

15、也可以是,多個所述腔室分別形成為形狀和大小相同。

16、也可以是,所述供給部為泵,且設(shè)于所述流入口的上游和所述排出口的下游中的至少一者。

17、也可以是,所述供給部為泵,且設(shè)于所述流入口的上游和所述排出口的下游這兩者。

18、也可以是,在排列于所述腔室內(nèi)的多個所述物質(zhì)傳感器中包括檢測相同的物質(zhì)的物質(zhì)傳感器。

19、也可以是,在排列于所述腔室內(nèi)的多個所述物質(zhì)傳感器中包括檢測各不相同的物質(zhì)的物質(zhì)傳感器。

20、也可以是,所述物質(zhì)傳感器基于隨著朝向所述流動方向而增大的修正值來修正檢測值。

21、發(fā)明的效果

22、根據(jù)本發(fā)明,多個物質(zhì)傳感器沿著自腔室的流入口朝向排出口的氣體的流動方向排列。因此能夠減小為了配置多個物質(zhì)傳感器所需要的區(qū)域的面積。



技術(shù)特征:

1.一種物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

5.根據(jù)權(quán)利要求2~4中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

11.根據(jù)權(quán)利要求8~10中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

12.根據(jù)權(quán)利要求1~11中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

13.根據(jù)權(quán)利要求1~11中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

14.根據(jù)權(quán)利要求1~13中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

15.根據(jù)權(quán)利要求1~13中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,

16.根據(jù)權(quán)利要求1~15中任一項所述的物質(zhì)檢測系統(tǒng),其中,


技術(shù)總結(jié)
物質(zhì)檢測系統(tǒng)(1)具備腔室(2)、物質(zhì)傳感器(3)和供給部(4)。腔室(2)以使收納于內(nèi)部的氣體(F)的狀態(tài)成為穩(wěn)定狀態(tài)的方式限制氣體(F)的流入。物質(zhì)傳感器(3)檢測收納于腔室(2)的氣體(F)中含有的物質(zhì)。供給部(4)向腔室(2)供給氣體(F)。檢測的物質(zhì)各不相同的多個物質(zhì)傳感器(3)沿著自腔室(2)的流入口(2a)朝向排出口(2b)的氣體(F)的流動方向排列。

技術(shù)研發(fā)人員:緒方健治,黑木省吾
受保護(hù)的技術(shù)使用者:愛沛股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/10/21
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