本技術(shù)涉及測試探針，尤其涉及一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的低漏電探針組件。

背景技術(shù)：

1、在集成電路失效機理研究中，約有一半以上的失效是由于電應(yīng)力和靜電引起的。隨著集成電路工藝的持續(xù)發(fā)展，其受靜電的影響程度越來越顯著。傳輸線脈沖技術(shù)作為靜電分析技術(shù)的一種，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于測試技術(shù)中，在靜電放電(esd)領(lǐng)域中備受關(guān)注，其論文研究亦占據(jù)了半壁江山。

2、傳輸線脈沖測試的基本原理是：將靜電從靜電發(fā)生器通過傳輸線輸出到探頭，再由探頭輸出給被測器件，從而實現(xiàn)靜電注入。

3、在現(xiàn)有技術(shù)條件下，常選用同軸線作為傳輸媒介，其一端配備sma接頭，將探頭固定在探針上，這個探頭連接到同軸線，形成了一個傳輸鏈路。然而，這種方式的屏蔽能力較低，可能使得測試無法滿足需求。在傳輸線理論中，整個系統(tǒng)的阻抗需要進行嚴格匹配，以確保信號的穩(wěn)定傳輸。當系統(tǒng)阻抗不匹配時，信號會經(jīng)歷反射和衰減，這會降低測試的穩(wěn)定性和準確性。為了實現(xiàn)穩(wěn)定測試，需要確保傳輸線與探頭之間的連接穩(wěn)定，并且該連接點到探針針尖之間的距離大小也需精確控制。

4、然而，由于現(xiàn)有技術(shù)方案中的低漏電探針不易固定，導(dǎo)致探針與待檢測設(shè)備之間的距離難以進行精確控制，從而影響了檢測過程的穩(wěn)定性和精確性。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的低漏電探針組件，針對現(xiàn)有技術(shù)中探針難以固定、檢測過程穩(wěn)定性不足和精確性不符合要求的缺陷，采用三同軸線纜，并增設(shè)探針臂，使得檢測過程的穩(wěn)定性大大提升，同時也提高了檢測結(jié)果的精確性。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的低漏電探針組件，包括：

3、三同軸多層屏蔽接頭，其固定于檢測設(shè)備上以進行電性連接；

4、三同軸線纜，一端與所述三同軸多層屏蔽接頭電性連接；

5、探針臂，套在所述三同軸線纜的另一端上；

6、探頭，設(shè)置在所述探針臂上且與所述三同軸線纜電性連接。

7、可選地，所述探針臂呈l形。

8、可選地，還包括：

9、固定夾具，設(shè)置于所述探針臂上，用于對所述探針臂進行固定。

10、可選地，所述固定夾具包括：

11、固定塊，設(shè)有用于將所述固定塊設(shè)置于桿狀物的第一卡接槽和用于固定所述探針臂的第二卡接槽；

12、所述探針臂固定于所述第二卡接槽內(nèi)。

13、可選地，還包括：

14、防護蓋，其可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述固定塊上，用于對所述探針臂進行防護；

15、固定件，穿過所述防護蓋并固定于所述固定塊上，用于對所述防護蓋進行固定。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果包括：方便對探針進行精確定位，實現(xiàn)穩(wěn)定檢測；同時，由于采用了三同軸線纜，可以保障屏蔽性能，確保檢測結(jié)果的精確性。

技術(shù)特征：

1.一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的低漏電探針組件，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的低漏電探針組件，其特征在于，所述探針臂呈l形。

3.如權(quán)利要求1所述的低漏電探針組件，其特征在于，還包括：

4.如權(quán)利要求3所述的低漏電探針組件，其特征在于，所述固定夾具包括：

5.如權(quán)利要求4所述的低漏電探針組件，其特征在于，還包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的低漏電探針組件，包括：三同軸多層屏蔽接頭，其固定于檢測設(shè)備上以進行電性連接；三同軸線纜，一端與所述三同軸多層屏蔽接頭電性連接；探針臂，套在所述三同軸線纜的另一端上；探頭，設(shè)置在所述探針臂上且與所述三同軸線纜電性連接。本技術(shù)可以對探針進行精確定位，實現(xiàn)穩(wěn)定檢測；同時，由于采用了三同軸線纜，可以保障屏蔽性能，確保檢測結(jié)果的精確性。

技術(shù)研發(fā)人員：張勇,俞方能,雷旺,陸冰彬
受保護的技術(shù)使用者：芯鉑微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240205
技術(shù)公布日：2024/10/21