一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型具體涉及一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅基薄膜太陽能生產(chǎn)過程中，TCO玻璃裝入反應(yīng)箱進(jìn)行等離子沉積。反應(yīng)箱通過其自身的電極頭與高壓射頻裝置連接以滿足生產(chǎn)需要，電極頭在使用過程中表面會氧化生銹從而改變其導(dǎo)電性最終影響到產(chǎn)品質(zhì)量。目前檢測方法為拆掉電極頭表面的鎖座，目視檢查完畢后再安裝鎖座，由于電極頭的溫度很高，需要等電極頭降溫后才能夠?qū)㈡i座拆下，拆裝鎖座的過程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，還容易傷及設(shè)備，存在使用不便等缺陷。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，以解決反應(yīng)箱電極頭因鎖座的遮擋無法直觀檢測，由于電極頭溫度高，其檢測過程存在步驟繁瑣消耗時(shí)間長且易損傷設(shè)備的問題。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，它包括絕緣夾體、至少一個(gè)檢測器和兩個(gè)夾持殼體，所述絕緣夾體包括兩個(gè)分夾體和固定軸，所述兩個(gè)分夾體通過固定軸相鉸接，每個(gè)分夾體上固定連接有一個(gè)夾持殼體，每個(gè)分夾體內(nèi)加工有空心腔，每個(gè)夾持殼體為雙層殼體，夾持殼體包括外壁和內(nèi)壁，外壁和內(nèi)壁之間形成安置室，每個(gè)分夾體的空心腔與其對應(yīng)的夾持殼體的安置室相連通，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為一個(gè)時(shí)，檢測器位于一個(gè)分夾體的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體安置室之間，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為多個(gè)時(shí)，每個(gè)分夾體的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體安置室之間至少設(shè)置有一個(gè)檢測器；
[0006]檢測器包括供電電池、發(fā)光二極管、固定探針、移動(dòng)探針、拉桿和兩條滑軌，供電電池、發(fā)光二極管、固定探針、移動(dòng)探針、拉桿和兩條滑軌之間電連接，夾持殼體的內(nèi)壁上加工有探針放置通孔和導(dǎo)軌安置通孔，固定探針設(shè)置在探針放置通孔內(nèi)，兩條滑軌位于安置室內(nèi)且安裝在導(dǎo)軌安置通孔內(nèi)，移動(dòng)探針滑動(dòng)連接在兩條滑軌之間，拉桿的一端位于夾持殼體的安置室內(nèi)且固定連接在移動(dòng)探針上，拉桿的另一端位于夾持殼體外，所述供電電池和發(fā)光二極管位于空心腔內(nèi)。
[0007]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果:
[0008]1、本實(shí)用新型采用電極頭表面導(dǎo)電性電阻為零原理而研發(fā)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)科學(xué)合理，通過本實(shí)用新型可使反應(yīng)箱電極頭的檢測工作無需進(jìn)行拆除鎖座的工作即可檢測電極頭的導(dǎo)電性，操作安全且方便。
[0009]2、操作者通過使用絕緣夾體即可控制兩個(gè)夾持殼體夾持住電極頭，再利用檢測器對電極頭的表面進(jìn)行檢測，本實(shí)用新型可在檢測電極頭上選取不同位置進(jìn)行檢測，使用靈活，可全面檢測電極頭各個(gè)位置。
[0010]3、本實(shí)用新型的使用對電極頭及其相關(guān)設(shè)備沒有損傷，安全可靠，長期使用穩(wěn)定性好，本實(shí)用新型不受電極頭自身溫度影響，任何溫度下均能夠?qū)﹄姌O頭進(jìn)行檢測。
[0011]4、本實(shí)用新型有效縮短了電極頭的檢測時(shí)間，將檢測電極頭的工作效率提升了60%。
[0012]5、本實(shí)用新型制造成本低廉，僅15元左右。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖(圖中有兩個(gè)檢測器)，
[0014]圖2是移動(dòng)探針7、拉桿8、兩條滑軌9在夾持殼體3的內(nèi)壁3_2上的連接關(guān)系示意圖，
[0015]圖3是本實(shí)用新型檢測電極頭12的電路圖，
[0016]圖4是夾持殼體3的外壁3-1的立體結(jié)構(gòu)示意圖，
[0017]圖5是電極頭12和鎖座13之間的連接關(guān)系示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]【具體實(shí)施方式】一:結(jié)合圖1、圖2、圖3、圖4和圖5說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式包括絕緣夾體1、至少一個(gè)檢測器和兩個(gè)夾持殼體3，所述絕緣夾體I包括兩個(gè)分夾體1-1和固定軸1-2，所述兩個(gè)分夾體1-1通過固定軸1-2相鉸接，每個(gè)分夾體1-1上固定連接有一個(gè)夾持殼體3，每個(gè)分夾體1-1內(nèi)加工有空心腔，每個(gè)夾持殼體3為雙層殼體，夾持殼體3包括外壁3-1和內(nèi)壁3-2，外壁3-1和內(nèi)壁3-2之間形成安置室，每個(gè)分夾體1-1的空心腔與其對應(yīng)的夾持殼體3的安置室相連通，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為一個(gè)時(shí)，檢測器位于一個(gè)分夾體1-1的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體3安置室之間，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為多個(gè)時(shí)，每個(gè)分夾體1-1的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體3安置室之間至少設(shè)置有一個(gè)檢測器；
[0019]檢測器包括供電電池4、發(fā)光二極管5、固定探針6、移動(dòng)探針7、拉桿8和兩條滑軌9，供電電池4、發(fā)光二極管5、固定探針6、移動(dòng)探針7、拉桿8和兩條滑軌9之間電連接，夾持殼體3的內(nèi)壁3-2上加工有探針放置通孔和導(dǎo)軌安置通孔，固定探針6設(shè)置在探針放置通孔內(nèi)，兩條滑軌9位于安置室內(nèi)且安裝在導(dǎo)軌安置通孔內(nèi)，移動(dòng)探針7滑動(dòng)連接在兩條滑軌9之間，拉桿8的一端位于夾持殼體3的安置室內(nèi)且固定連接在移動(dòng)探針7上，拉桿8的另一端位于夾持殼體3外，所述供電電池4和發(fā)光二極管5位于空心腔內(nèi)。
[0020]本實(shí)施方式中兩個(gè)夾持殼體3的設(shè)置是為了夾持電極頭，電極頭12為圓柱體形狀，鎖座13罩在電極頭12上，本實(shí)用新型就是穿過電極頭12和鎖座13的縫隙夾持住電極頭12進(jìn)行電極頭12導(dǎo)電性的檢測工作。本實(shí)施方式中固定探針6、移動(dòng)探針7和兩條滑軌9均為導(dǎo)電金屬制成，拉桿8的外表面不導(dǎo)電。本實(shí)施方式中夾持殼體3的內(nèi)壁3-2上加工有探針放置通孔和導(dǎo)軌安置通孔是為了放置固定探針6和兩條滑軌9，如此設(shè)置是為了固定探針6和移動(dòng)探針7能夠貼緊電極頭12的表面，本實(shí)用新型中固定探針6和移動(dòng)探針7必須與電極頭12緊密接觸才能夠?qū)崿F(xiàn)檢測工作，拉動(dòng)拉桿8使可移動(dòng)探針7劃過電極頭12外表面。通過發(fā)光二極管5反應(yīng)出移動(dòng)探針7劃過電極頭12外表面部分的導(dǎo)電性能，轉(zhuǎn)動(dòng)絕緣夾體I可測試電極頭12表面更多的點(diǎn)。至少一個(gè)檢測器的數(shù)量根據(jù)具體工作環(huán)境和條件來具體設(shè)定。
[0021]【具體實(shí)施方式】二:結(jié)合圖1、圖2和圖4說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式中夾持殼體3為半圓形殼體。半圓形殼體可使夾持殼體3更加有效地貼緊在電極頭12上，有效實(shí)現(xiàn)電極頭12的檢測工作。其它組成及連接關(guān)系與【具體實(shí)施方式】一相同。
[0022]【具體實(shí)施方式】三:結(jié)合圖1說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式中所述探針放置通孔為圓形通孔。如此設(shè)置的探針放置通孔更加有利于固定探針的放置。其它組成及連接關(guān)系與【具體實(shí)施方式】一或二相同。
[0023]【具體實(shí)施方式】四:結(jié)合圖1說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式中所述導(dǎo)軌安置通孔為矩形通孔。如此設(shè)置的導(dǎo)軌安置通孔更加有利于移動(dòng)探針的放置。其它組成及連接關(guān)系與【具體實(shí)施方式】三相同。
[0024]【具體實(shí)施方式】五:結(jié)合圖1和圖2說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式中它還包括拉桿用絕緣套10，所述拉桿8的另一端套裝有拉桿用絕緣套10。拉桿用絕緣套10的設(shè)置是為了使拉桿8絕緣不導(dǎo)電，提高本實(shí)用新型使用時(shí)的安全性。其它組成及連接關(guān)系與【具體實(shí)施方式】四相同。
[0025]【具體實(shí)施方式】六:結(jié)合圖1和圖2說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式中它還包括導(dǎo)線，所述供電電池4和發(fā)光二極管5之間均通過導(dǎo)線連接。固定探針6和移動(dòng)探針7也分別通過導(dǎo)線與供電電池4和發(fā)光二極管5串聯(lián)。其它組成及連接關(guān)系與【具體實(shí)施方式】五相同。
[0026]本實(shí)用新型的工作過程:
[0027]使用時(shí)手握住絕緣夾體I使兩個(gè)夾持殼體3分開并深入鎖座13內(nèi)夾住電極頭12，此時(shí)固定探針6和移動(dòng)探針7均貼緊電極頭12表面，拉動(dòng)拉桿8使移動(dòng)探針7在電極頭12表面上下移動(dòng)，同時(shí)觀察發(fā)光二極管5。當(dāng)發(fā)光二極管5沒有亮?xí)r，表明移動(dòng)探針7滑過電極頭12上的位置生銹或氧化，當(dāng)發(fā)光二極管5正常發(fā)亮?xí)r，表明移動(dòng)探針7滑過電極頭12上的位置導(dǎo)電性正常。然后旋轉(zhuǎn)絕緣夾體I測量電極頭12其他位置的導(dǎo)電性能，最終判定電極頭12的總體導(dǎo)電性能即可。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:它包括絕緣夾體(I)、至少一個(gè)檢測器和兩個(gè)夾持殼體(3)，所述絕緣夾體(I)包括兩個(gè)分夾體(1-1)和固定軸(1-2)，所述兩個(gè)分夾體(1-1)通過固定軸(1-2)相鉸接，每個(gè)分夾體(1-1)上固定連接有一個(gè)夾持殼體(3)，每個(gè)分夾體(1-1)內(nèi)加工有空心腔，每個(gè)夾持殼體(3)為雙層殼體，夾持殼體(3)包括外壁(3-1)和內(nèi)壁(3-2)，外壁(3-1)和內(nèi)壁(3-2)之間形成安置室，每個(gè)分夾體(1_1)的空心腔與其對應(yīng)的夾持殼體(3)的安置室相連通，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為一個(gè)時(shí)，檢測器位于一個(gè)分夾體(1-1)的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體(3)安置室之間，當(dāng)檢測器的個(gè)數(shù)為多個(gè)時(shí)，每個(gè)分夾體(1-1)的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體(3)安置室之間至少設(shè)置有一個(gè)檢測器； 檢測器包括供電電池(4)、發(fā)光二極管(5)、固定探針￠)、移動(dòng)探針(7)、拉桿(8)和兩條滑軌(9)，供電電池(4)、發(fā)光二極管(5)、固定探針(6)、移動(dòng)探針(7)、拉桿(8)和兩條滑軌(9)之間電連接，夾持殼體(3)的內(nèi)壁(3-2)上加工有探針放置通孔和導(dǎo)軌安置通孔，固定探針(6)設(shè)置在探針放置通孔內(nèi)，兩條滑軌(9)位于安置室內(nèi)且安裝在導(dǎo)軌安置通孔內(nèi)，移動(dòng)探針(7)滑動(dòng)連接在兩條滑軌(9)之間，拉桿(8)的一端位于夾持殼體(3)的安置室內(nèi)且固定連接在移動(dòng)探針(7)上，拉桿(8)的另一端位于夾持殼體(3)外，所述供電電池(4)和發(fā)光二極管(5)位于空心腔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:夾持殼體⑶為半圓形殼體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:所述探針放置通孔為圓形通孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:所述導(dǎo)軌安置通孔為矩形通孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:它還包括拉桿用絕緣套(10)，所述拉桿(8)的另一端套裝有拉桿用絕緣套(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，其特征在于:它還包括導(dǎo)線，所述供電電池(4)和發(fā)光二極管(5)之間均通過導(dǎo)線連接。
【專利摘要】一種測試反應(yīng)箱電極頭導(dǎo)電性的裝置，它涉及一種導(dǎo)電性的裝置。在硅基薄膜太陽能生產(chǎn)過程中，反應(yīng)箱內(nèi)的電極頭在使用過程中表面會氧化生銹從而改變其導(dǎo)電性影響到產(chǎn)品質(zhì)量。但反應(yīng)箱電極頭因鎖座的遮擋無法直觀檢測，由于電極頭溫度高，其檢測過程存在步驟繁瑣消耗時(shí)間長且易損傷設(shè)備的問題。本實(shí)用新型中每個(gè)分夾體上有一個(gè)夾持殼體，每個(gè)分夾體內(nèi)有空心腔，每個(gè)分夾體的空心腔與其對應(yīng)的夾持殼體的安置室相連通，當(dāng)檢測器個(gè)數(shù)為一個(gè)時(shí)，檢測器位于一個(gè)分夾體的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體安置室間，當(dāng)檢測器個(gè)數(shù)為多個(gè)時(shí)，每個(gè)分夾體的空心腔和其對應(yīng)的夾持殼體安置室間至少有一個(gè)檢測器。本實(shí)用新型用于檢測反應(yīng)箱電極頭。
【IPC分類】G01R31-00
【公開號】CN204613336
【申請?zhí)枴緾N201520368012
【發(fā)明人】張志海, 付東東, 曹瑞豐, 李志剛
【申請人】黑龍江漢能薄膜太陽能有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2015年6月1日