一種轉(zhuǎn)角晶體測試儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及X射線轉(zhuǎn)角晶體測試儀，特別是涉及應(yīng)用X射線衍射原理，對單晶硅、藍寶石等不同規(guī)格晶體材料的一種轉(zhuǎn)角晶體測試儀。
【背景技術(shù)】
[0002]生長出來的各種直徑單晶晶錠在加工成晶棒、晶片前，需要單晶晶體角度精確，測定方式為對照標準片的標準角度與加工的晶體材料的晶體測試角度進行對比，找出晶體的轉(zhuǎn)角。傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)角晶體測試儀，其測角儀的樣品測量精度低、工件承載能力不足、測量范圍小，局限了單晶晶錠材料的應(yīng)用規(guī)格，無法滿足各種規(guī)格單晶晶錠材料轉(zhuǎn)角晶體測試。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠?qū)Σ煌?guī)格單晶晶錠材料轉(zhuǎn)角晶體測試，減少因轉(zhuǎn)角晶體測試設(shè)備產(chǎn)生的測量誤差，有效的提高被測晶體的轉(zhuǎn)角測量精度，測量簡便的轉(zhuǎn)角晶體測試儀。
[0004]采用的技術(shù)方案是:
[0005]—種轉(zhuǎn)角晶體測試儀，包括工作臺板，設(shè)在工作臺板上的X射線發(fā)生器、樣品臺、X射線接收器、測角儀。所述的測角儀包括測試儀殼體、主軸、主軸套筒、蝸輪軸、蝸桿組件、編碼器、刻度盤、主軸指針、主軸轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)角指針及手輪。蝸輪軸兩端由固裝在測試儀殼體上左軸承座、右軸承座支撐定位，蝸輪軸左端聯(lián)接有編碼器，右端安裝有手輪，蝸輪軸與主軸固裝一體的蝸桿組件組成蝸輪蝸桿傳動組。主軸套筒固裝在測試儀殼體上，主軸套筒內(nèi)置主軸，所述主軸套筒安裝的上下兩個主軸軸承將主軸精確定位，轉(zhuǎn)動手輪，蝸輪軸帶動蝸桿組件轉(zhuǎn)動，蝸桿組件帶動主軸轉(zhuǎn)動。主軸指針裝在主軸頂蓋上，刻度盤套接在主軸套筒上端，位于主軸指針下方，刻度盤上旋設(shè)有刻度盤鎖緊螺釘，主軸轉(zhuǎn)盤裝在主軸套筒上部階梯的軸肩處，轉(zhuǎn)角指針通過螺釘固定在主軸轉(zhuǎn)盤上與刻度盤相對應(yīng)。所述X射線發(fā)生器設(shè)置在工作臺板一側(cè)，樣品臺加裝在測角儀的主軸頂部，X射線接收器面對X射線發(fā)生器上的光閘并通過連接部件與主軸轉(zhuǎn)盤連接。
[0006]上述的轉(zhuǎn)角晶體測試儀裝設(shè)有數(shù)顯裝置，蝸輪軸編碼器輸出信號由控制系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)處理后，可在顯示器顯示。
[0007]上述的工作臺板裝設(shè)有高度可調(diào)的工作臺板支腳。
[0008]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:
[0009]1、結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、晶體的轉(zhuǎn)角讀取方便、測試精度高等優(yōu)點，解決了單晶晶體角度測試的難題。
[0010]2、編碼器與蝸輪軸直聯(lián)，消除了其它傳動系統(tǒng)傳動角度間隙誤差。
[0011]3、本儀器電氣控制裝置為設(shè)定X光管電流大小，通過微安表確定晶體峰值精度，角度儀編碼器和回轉(zhuǎn)工作臺聯(lián)接的編碼器與顯示器直接聯(lián)線，提高了晶體角度測試精度。
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的測角儀主視圖。
[0013]圖2是本實用新型的測角儀右視圖。
[0014]圖3是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]—種轉(zhuǎn)角晶體測試儀，包括工作臺板1，設(shè)在工作臺板上的X射線發(fā)生器18、樣品臺22、X射線接收器21、測角儀23。所述的測角儀23包括測試儀殼體16、主軸9、主軸套筒6、蝸輪軸2、蝸桿組件3、編碼器11、刻度盤5、主軸指針7、主軸轉(zhuǎn)盤13、轉(zhuǎn)角指針14及手輪17。蝸輪軸2兩端由固裝在測試儀殼體16上左軸承座12、右軸承座15支撐定位，蝸輪軸2左端聯(lián)接有編碼器11，右端安裝有手輪17，蝸輪軸2與主軸9固裝一體的蝸桿組件3組成蝸輪蝸桿傳動組。主軸套筒6固裝在測試儀殼體16上，主軸套筒6內(nèi)置主軸9，所述主軸套筒6安裝的上下兩個主軸軸承4將主軸9精確定位，轉(zhuǎn)動手輪，蝸輪軸帶動蝸桿組件轉(zhuǎn)動，蝸桿組件帶動主軸轉(zhuǎn)動。主軸指針7裝在主軸頂蓋上，刻度盤5套接在主軸套筒6上端，位于主軸指針下方，刻度盤5上旋設(shè)有刻度盤鎖緊螺釘8，主軸轉(zhuǎn)盤13裝在主軸套筒6上部階梯的軸肩處，轉(zhuǎn)角指針14通過螺釘固定在主軸轉(zhuǎn)盤13上與刻度盤5相對應(yīng)。所述X射線發(fā)生器18設(shè)置在工作臺板I 一側(cè)，樣品臺20加裝在測角儀23的主軸9頂部，X射線接收器21面對X射線發(fā)生器18上的光閘19并通過連接部件22與主軸轉(zhuǎn)盤13連接。所述工作臺板I裝設(shè)有高度可調(diào)的工作臺板支腳10，高度可調(diào)整到工作臺板成水平位置。轉(zhuǎn)角晶體測試儀裝設(shè)有數(shù)顯裝置，蝸輪軸編碼器輸出信號由控制系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)處理后，可在顯示器顯示。
[0016]工作原理
[0017]轉(zhuǎn)動手輪主軸套筒安裝的上下兩個主軸軸承將主軸精確定位，蝸輪軸帶動蝸桿組件轉(zhuǎn)動，主軸隨之轉(zhuǎn)動，主軸轉(zhuǎn)動角度可由蝸輪軸左端的編碼器傳遞到控制系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)處理后，可在顯示器顯示主軸轉(zhuǎn)角角度。轉(zhuǎn)角晶體測量時先放置標準片在樣品臺上，旋轉(zhuǎn)手輪，調(diào)整樣品臺到連接部分及停止，刻度盤調(diào)整至主軸指針O位置將刻度盤鎖緊螺釘鎖緊，同時與主軸轉(zhuǎn)盤、連接部分、X射線接收器一同轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)角指針指向2 γ位置；取下標準片放置轉(zhuǎn)角晶體測試工件在樣品臺上，可通過主軸指針在刻度盤讀取X射線接收器接收的X射線最強位置時主軸的旋轉(zhuǎn)角度，讀取的測量角度值就是晶體的轉(zhuǎn)角。
【主權(quán)項】
1.一種轉(zhuǎn)角晶體測試儀，包括工作臺板(1)，設(shè)在工作臺板上的X射線發(fā)生器(18)、樣品臺(22)、X射線接收器(21)、測角儀(23)，其特征在于所述的測角儀(23)包括測試儀殼體(16)、主軸(9)、主軸套筒(6)、蝸輪軸(2)、蝸桿組件(3)、編碼器(11)、刻度盤(5)、主軸指針(7)、主軸轉(zhuǎn)盤(13)、轉(zhuǎn)角指針(14)及手輪(17)，蝸輪軸(2)兩端由固裝在測試儀殼體(16)上左軸承座(12)、右軸承座(15)支撐定位，蝸輪軸(2)左端聯(lián)接有編碼器(11)，右端安裝有手輪(17)，蝸輪軸(2)與主軸(9)固裝一體的蝸桿組件(3)組成蝸輪蝸桿傳動組；主軸套筒(6)固裝在測試儀殼體(16)上，主軸套筒(6)內(nèi)置主軸(9)，主軸套筒(6)安裝的上下兩個主軸軸承(4)將主軸(9)定位，轉(zhuǎn)動手輪，蝸輪軸帶動蝸桿組件轉(zhuǎn)動，蝸桿組件帶動主軸轉(zhuǎn)動；主軸指針(7)裝在主軸頂蓋上，刻度盤(5)套接在主軸套筒(6)上端，位于主軸指針下方，刻度盤(5)上旋設(shè)有刻度盤鎖緊螺釘(8)，主軸轉(zhuǎn)盤(13)裝在主軸套筒(6)上部階梯的軸肩處，轉(zhuǎn)角指針(14)通過螺釘固定在主軸轉(zhuǎn)盤(13)上與刻度盤(5)相對應(yīng)；所述X射線發(fā)生器(18)設(shè)置在工作臺板(I) 一側(cè)，樣品臺(20)加裝在測角儀(23)的主軸(9)頂部，X射線接收器(21)面對X射線發(fā)生器(18)上的光閘(19)并通過連接部件(22)與主軸轉(zhuǎn)盤(13)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種轉(zhuǎn)角晶體測試儀，其特征在于所述的工作臺板(I)裝設(shè)有高度可調(diào)的工作臺板支腳(10)。
【專利摘要】一種轉(zhuǎn)角晶體測試儀，包括工作臺板，設(shè)在工作臺板上的X射線發(fā)生器、樣品臺、X射線接收器、測角儀。所述的測角儀包括測試儀殼體、主軸、主軸套筒、蝸輪軸、蝸桿組件、編碼器、刻度盤、主軸指針、主軸轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)角指針及手輪。蝸輪軸由固裝在測試儀殼體上左、右軸承座定位，蝸輪軸左端聯(lián)接有編碼器，右端安裝有手輪，蝸輪軸與主軸固裝一體的蝸桿組件組成蝸輪蝸桿傳動組。主軸套筒內(nèi)置主軸，主軸套筒安裝的上下兩個主軸軸承將主軸精確定位。主軸指針裝在主軸頂蓋上，刻度盤套接在主軸套筒上端，主軸轉(zhuǎn)盤裝在主軸套筒上，轉(zhuǎn)角指針固定在主軸轉(zhuǎn)盤上與刻度盤相對應(yīng)。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、晶體的轉(zhuǎn)角讀取方便、測試精度高。
【IPC分類】G01N23/207
【公開號】CN204882416
【申請?zhí)枴緾N201520385690
【發(fā)明人】甄偉, 趙松彬, 陳遠帆
【申請人】丹東新東方晶體儀器有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年6月8日