芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置的制造方法
【專利摘要】公開了一種芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置，所述芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置包括：位移檢測(cè)模塊，用于獲得所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)；主處理器模塊，接收所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，并且在所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報(bào)警信息發(fā)送到上位機(jī)。所述監(jiān)控裝置能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)械臂的運(yùn)轉(zhuǎn)異常提高芯片測(cè)試機(jī)的效率。
【專利說明】
芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及芯片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體集成電路的制造過程，大致上可分為產(chǎn)品設(shè)計(jì)、晶圓制造、晶圓測(cè)試、切割、封裝及成品測(cè)試。成品測(cè)試是通過芯片測(cè)試機(jī)完成的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)的芯片測(cè)試機(jī)包括測(cè)試機(jī)臺(tái)、進(jìn)料機(jī)構(gòu)、出料機(jī)構(gòu)以及機(jī)械臂。在芯片測(cè)試時(shí)，會(huì)將載滿芯片的測(cè)試盤送至進(jìn)料機(jī)構(gòu)，機(jī)械臂將芯片送入測(cè)試機(jī)臺(tái)的芯片座進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試完成后再通過機(jī)械臂將芯片通過出料機(jī)構(gòu)送回測(cè)試盤。
[0004]芯片進(jìn)入量產(chǎn)階段，就需要對(duì)成品芯片進(jìn)行大批量測(cè)試，以檢驗(yàn)其種類繁多的功能及參數(shù)。測(cè)試機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，單顆芯片測(cè)試時(shí)間長(zhǎng)短，將直接影響產(chǎn)能輸出，高的測(cè)試效率，同時(shí)也保證了如期交貨給客戶。為了提高產(chǎn)能，提高芯片測(cè)試機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率，芯片測(cè)試機(jī)需要長(zhǎng)時(shí)間不間斷運(yùn)轉(zhuǎn)，而測(cè)試機(jī)用于傳送待測(cè)芯片的機(jī)械臂的傳送定位精確度的大小，能否準(zhǔn)確將待測(cè)芯片傳送到指定的位置坐標(biāo)的測(cè)試機(jī)臺(tái)芯片座，直接影響到測(cè)試機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常與否以及被測(cè)芯片測(cè)試準(zhǔn)確率。此外，芯片測(cè)試機(jī)長(zhǎng)時(shí)間不停的運(yùn)轉(zhuǎn)，不可避免的會(huì)造成測(cè)試機(jī)機(jī)械臂位置坐標(biāo)出現(xiàn)偏差。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)通過定期的人工檢測(cè)和精度修正來保持芯片測(cè)試機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，人工檢測(cè)的弊端是檢測(cè)不及時(shí)，只能定期維護(hù)檢修檢測(cè)無法做到定時(shí)監(jiān)測(cè)監(jiān)控，一旦由于檢修不及時(shí)，就會(huì)造成芯片檢測(cè)不良率增加，同時(shí)意味著一旦停機(jī)檢修，影響效率、效益。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型提出一種芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控機(jī)械臂的運(yùn)轉(zhuǎn)異常并報(bào)警，提高芯片測(cè)試機(jī)的效率。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供一種芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置，包括:位移檢測(cè)模塊，用于獲得所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo);主處理器模塊，接收所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，并且在所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報(bào)警信息發(fā)送到上位機(jī);其中，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)。
[0008]優(yōu)選地，所述監(jiān)控裝置還包括電源模塊，用于為所述監(jiān)控裝置供電。
[0009]優(yōu)選地，所述電源模塊為可充電電池。
[0010]優(yōu)選地，所述位移檢測(cè)模塊包括三軸加速度計(jì)。
[0011]優(yōu)選地，所述接口電路為I2C接口。
[0012]優(yōu)選地，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面，提供一種芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的監(jiān)控方法，包括:獲得所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo);判斷所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，并在所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息;將所述報(bào)警信息發(fā)送到上位機(jī)。
[0014]優(yōu)選地，所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)通過三軸加速度計(jì)獲得。
[0015]優(yōu)選地，所述報(bào)警信息通過WiFi單元傳輸?shù)缴衔粰C(jī)。
[0016]根據(jù)本實(shí)用新型的又一個(gè)方面，提供一種芯片測(cè)試機(jī)，所述芯片測(cè)試機(jī)包括如上所述的監(jiān)控裝置。
[0017]本實(shí)用新型的芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置通過位移監(jiān)測(cè)單元獲得機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，通過主處理器單元判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，當(dāng)所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息，及時(shí)通知工作人員進(jìn)行停機(jī)維護(hù)，避免造成更大的經(jīng)濟(jì)損失，提高了效率，延長(zhǎng)了測(cè)試機(jī)的壽命。
【附圖說明】
[0018]通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的描述，本實(shí)用新型的上述以及其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中:
[0019]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0020]圖2是主處理器模塊的示意性結(jié)構(gòu)框圖；以及
[0021 ]圖3是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下基于實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行描述，但是本實(shí)用新型并不僅僅限于這些實(shí)施例。在下文對(duì)本實(shí)用新型的細(xì)節(jié)描述中，詳盡描述了一些特定的細(xì)節(jié)部分。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說沒有這些細(xì)節(jié)部分的描述也可以完全理解本實(shí)用新型。為了避免混淆本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細(xì)敘述。
[0023]此外，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。
[0024]同時(shí)，應(yīng)當(dāng)理解，在以下的描述中，“電路”是指由至少一個(gè)元件或子電路通過電氣連接或電磁連接構(gòu)成的導(dǎo)電回路。當(dāng)稱元件或電路“連接到”另一元件或稱元件/電路“連接在”兩個(gè)節(jié)點(diǎn)之間時(shí)，它可以是直接耦接或連接到另一元件或者可以存在中間元件，元件之間的連接可以是物理上的、邏輯上的、或者其結(jié)合。相反，當(dāng)稱元件“直接耦接到”或“直接連接到”另一元件時(shí)，意味著兩者不存在中間元件。
[0025]除非上下文明確要求，否則整個(gè)說明書和權(quán)利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語(yǔ)應(yīng)當(dāng)解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義;也就是說，是“包括但不限于”的含義。
[0026]本實(shí)用新型屬于芯片成品測(cè)試應(yīng)用領(lǐng)域，提供一種用于當(dāng)前量產(chǎn)芯片測(cè)試的芯片測(cè)試機(jī)、芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置及監(jiān)控方法。所述監(jiān)控裝置利用其內(nèi)部各模塊軟硬件協(xié)作處理，監(jiān)測(cè)芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂位置坐標(biāo)偏移誤差，當(dāng)坐標(biāo)偏移誤差大于預(yù)設(shè)范圍時(shí)，通過該裝置無線報(bào)警模塊，及時(shí)遠(yuǎn)程報(bào)警，通知值班人員，立即停機(jī)檢修故障。
[0027]參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型實(shí)施例的芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置100包括:位移檢測(cè)模塊110、主處理器模塊120以及無線傳輸模塊130。
[0028]位移檢測(cè)模塊110用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度。例如位移檢測(cè)模塊110包括三軸加速度計(jì)，通過三軸加速度計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度。
[0029]三軸加速度計(jì)大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生正比于加速度的電阻、電壓和電容的變化。加速度是個(gè)空間矢量，一方面，要準(zhǔn)確了解物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，必須測(cè)得其三個(gè)坐標(biāo)軸上的分量;另一方面，在預(yù)先不知道物體運(yùn)動(dòng)方向的場(chǎng)景下，應(yīng)用三軸加速度傳感器來檢測(cè)加速度信號(hào)，來準(zhǔn)確實(shí)時(shí)得到坐標(biāo)信息，以便及時(shí)作出響應(yīng)。本專利對(duì)于三軸加速度計(jì)的特殊應(yīng)用，正是基于在預(yù)先不知道芯片測(cè)試機(jī)所偏離運(yùn)動(dòng)軌跡方向的場(chǎng)合下，利用三軸加速度計(jì)來準(zhǔn)確得到相應(yīng)空間矢量坐標(biāo)的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)。通過三軸加速度計(jì)，使得當(dāng)測(cè)試機(jī)偏離既定軌跡時(shí)，主控模塊能夠及時(shí)作出修正措施，這也是普通二維及一維位置傳感器無法實(shí)現(xiàn)的。
[0030]位移檢測(cè)模塊110連接主處理器模塊120，并將所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度發(fā)送到主處理器模塊120。
[0031]主處理器模塊120用于實(shí)時(shí)接收來自位移檢測(cè)模塊110的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度數(shù)據(jù)。主處理器模塊120判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度數(shù)據(jù)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，也即判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否偏移超出預(yù)定誤差范圍。當(dāng)機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度數(shù)據(jù)不在預(yù)定范圍內(nèi)，主處理器模塊120生成報(bào)警信息，并通過無線傳輸模塊130發(fā)送到上位機(jī)200。上位機(jī)200例如為設(shè)置在遠(yuǎn)程監(jiān)控中心的服務(wù)器，工作人員從上位機(jī)200獲得報(bào)警信息，進(jìn)行芯片測(cè)試機(jī)的維修。
[0032]無線傳輸模塊130的無線通信方式例如:GPRS(General Packet Rad1 Service，通用分組無線服務(wù))N CDMA (Code Divis1nMultiple Access，碼分多址)、WCDMA(WidebandCode Divis1n Multiple Access，寬帶碼分多址)、LTE(Long Term Evolut1n，長(zhǎng)期演進(jìn))、WiFi(wireless fidelity，無線保真)、藍(lán)牙等。在優(yōu)選的實(shí)施例中，無線傳輸模塊130包括WiFi單元。
[0033]在優(yōu)選的實(shí)施例中，監(jiān)控裝置100還包括電源模塊，電源模塊用于為監(jiān)控裝置100供電。電源模塊例如為可充電電池。在優(yōu)選的實(shí)施例中，電源模塊為可充電的鋰電池。
[0034]參照?qǐng)D2，主處理器模塊120進(jìn)一步包括:主處理器121、非易失性存儲(chǔ)器122、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器123以及接口電路124。
[0035]主處理器121用于完成整個(gè)裝置的系統(tǒng)控制:包括接收機(jī)械臂的位置坐標(biāo)信息、判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)和角度數(shù)據(jù)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，生成報(bào)警信息、控制無線傳輸模塊130發(fā)送報(bào)警信息、與接口電路124通信等。
[0036]例如，芯片測(cè)試機(jī)在工作時(shí)，機(jī)械臂按照預(yù)定的軌跡運(yùn)行，動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器123預(yù)存該預(yù)定軌跡的坐標(biāo)。主處理器121接收到位移檢測(cè)模塊110發(fā)送的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)信息后，計(jì)算該時(shí)刻的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)與對(duì)應(yīng)的預(yù)定軌跡在該時(shí)刻的位置坐標(biāo)的偏差，如果該偏差大于預(yù)設(shè)的閾值，主處理器121生成報(bào)警信息并控制無線傳輸模塊130發(fā)送該報(bào)警信息。
[0037]非易失性存儲(chǔ)器122保存主處理器模塊120系統(tǒng)啟動(dòng)代碼及配置信息。
[0038]動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器123為主處理器121工作的內(nèi)存單元。
[0039]接口電路124完成主控制器模塊120分別與位移檢測(cè)模塊110、無線傳輸模塊130的通信控制和相關(guān)配置功能。接口電路124例如為I2C總線接口，I2C總線是同步通信的一種形式，具有接口線少，控制方式簡(jiǎn)單，器件封裝形式小，通信速率較高等優(yōu)點(diǎn)。
[0040]在工作中，監(jiān)控裝置100通過位移檢測(cè)模塊110實(shí)時(shí)監(jiān)控機(jī)械臂空間位置坐標(biāo)及角度，通過主處理器模塊120，實(shí)時(shí)接收來自位移檢測(cè)模塊110的機(jī)械臂位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)，當(dāng)機(jī)械臂的位置坐標(biāo)超出預(yù)定范圍時(shí)，通過無線傳輸模塊130及時(shí)發(fā)送報(bào)警信息到遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)監(jiān)控中心。
[0041]本實(shí)施例的監(jiān)控裝置的有益效果是解決傳統(tǒng)芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的坐標(biāo)位移軌跡缺乏實(shí)時(shí)監(jiān)控，測(cè)試機(jī)長(zhǎng)時(shí)間工作過程中，不可避免的會(huì)引起測(cè)試機(jī)機(jī)械臂偏移預(yù)定的移動(dòng)軌跡，引起測(cè)試故障。在傳統(tǒng)的芯片測(cè)試機(jī)上設(shè)置本實(shí)用新型的監(jiān)控裝置能夠?qū)嵱眯滦蛯?shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂坐標(biāo)移動(dòng)軌跡，當(dāng)位置坐標(biāo)發(fā)生偏離超過誤差范圍后，通過無線傳輸進(jìn)行遠(yuǎn)程報(bào)警，便于維修人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障及異常。本實(shí)施例的監(jiān)控裝置可任意移動(dòng)位置，可擴(kuò)展應(yīng)用到其它關(guān)于坐標(biāo)位移實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)監(jiān)控場(chǎng)合。本實(shí)用新型的監(jiān)控裝置采用模塊化設(shè)計(jì)，進(jìn)行簡(jiǎn)單的拆卸及改裝即可用在其他需要位置軌跡監(jiān)控的場(chǎng)合。使用三軸加速度計(jì)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)位置軌跡的三維監(jiān)控，可以實(shí)現(xiàn)雙軸正負(fù)90度或雙軸0-360度的傾角。采用Wif i單元傳輸命令與數(shù)據(jù)，不涉及復(fù)雜布線，空間移動(dòng)便利。
[0042]本實(shí)用新型還有提出一種芯片測(cè)試機(jī)，該芯片測(cè)試機(jī)包括上述實(shí)施例的監(jiān)控裝置。
[0043]參照?qǐng)D3，本實(shí)用新型實(shí)施例的芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的監(jiān)控方法，包括:
[0044]在步驟S101、獲得所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，例如通過三軸加速度計(jì)獲得所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)。
[0045]在步驟S102、判斷所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，并在所述機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息。
[0046]在步驟S103、將所述報(bào)警信息發(fā)送到上位機(jī)，例如通過WiFi單元傳輸?shù)缴衔粰C(jī)。
[0047]本實(shí)用新型的芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置通過位移監(jiān)測(cè)單元獲得機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，通過主處理器單元判斷機(jī)械臂的位置坐標(biāo)是否在預(yù)定范圍內(nèi)，當(dāng)所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息，及時(shí)通知工作人員進(jìn)行停機(jī)維護(hù)，避免造成更大的經(jīng)濟(jì)損失，提高了效率，延長(zhǎng)了測(cè)試機(jī)的壽命。
[0048]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，本實(shí)用新型可以有各種改動(dòng)和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原理之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種芯片測(cè)試機(jī)的監(jiān)控裝置，其特征在于，包括: 位移檢測(cè)模塊，用于獲得所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)； 主處理器模塊，接收所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)，并且在所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)不在預(yù)定范圍內(nèi)時(shí)，生成報(bào)警信息；以及無線傳輸模塊，將所述報(bào)警信息發(fā)送到上位機(jī)； 其中，所述主處理器模塊包括接口電路，所述主處理器模塊通過所述接口電路接收所述芯片測(cè)試機(jī)的機(jī)械臂的位置坐標(biāo)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述監(jiān)控裝置還包括電源模塊，用于為所述監(jiān)控裝置供電。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述電源模塊為可充電電池。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述位移檢測(cè)模塊包括三軸加速度i+o5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述接口電路為I2C接口。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述無線傳輸模塊包括WiFi單元。
【文檔編號(hào)】G01B21/00GK205506009SQ201520947951
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2015年11月24日
【發(fā)明人】潘子升, 宋斌俊, 魏建中
【申請(qǐng)人】杭州士蘭微電子股份有限公司