專利名稱：印刷線路板傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種印刷線路板傳送裝置，特別是，本發(fā)明涉及一種不必?cái)U(kuò)大覆蓋區(qū)(foot print)的情況下可提高裝置集成度的印刷線路板傳送裝置。
背景技術(shù)：
首先，參照圖4，概要說明以往的印刷線路板傳送裝置。印刷線路板傳送裝置300為輸送作為被處理物的印刷線路板400，設(shè)有可作旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的機(jī)械臂306，可近圓周狀配置多個印刷線路板處理室500的傳送室301。傳送室301設(shè)有可連接印刷線路板處理室等的四個閥孔302、303、304、305。
并且，在傳送室301的印刷線路板搬入、搬出側(cè)，經(jīng)由閘閥310、311設(shè)置裝載鎖定室312、313，所述裝載鎖定室312、313，使置放印刷線路板400的放置盒314、315待機(jī)處于可升降及旋轉(zhuǎn)的待機(jī)狀態(tài)。
在上述4處理室用的印刷線路板傳送裝置300中，為設(shè)置裝載鎖定室312、313，將傳送室301設(shè)計(jì)為近六角形形狀，其中4個邊上設(shè)有上述閥孔302、303、304、305，其他2個邊設(shè)有裝載鎖定室312、313。
又，靠近裝載鎖定室312、313跟前側(cè)一般作為輸送、作業(yè)用通道，為此，須將靠近裝載鎖定室312、313的跟前側(cè)作直線狀設(shè)置。其結(jié)果，裝載鎖定室312、313采用圖示的彎曲形狀。
在以往的印刷線路板傳送裝置300中，所述閥孔305上設(shè)有與印刷線路板處理室500不同的處理站600。該處理站600上裝有用于預(yù)先確定搬入至印刷線路板處理室500的印刷線路板400的結(jié)晶方位的定位裝置(位置對準(zhǔn)器)，以及對經(jīng)印刷線路板處理室500中處理后的印刷線路板400進(jìn)行冷卻的冷卻裝置。
又，在圖4中，為便于說明，該圖僅圖示在閥孔302上設(shè)置了印刷線路板處理室500，但在實(shí)際上，閥孔303、304上均設(shè)有印刷線路板處理室500。
然而，在上述結(jié)構(gòu)的印刷線路板傳送裝置300中，存在的問題是，如果設(shè)有處理站600，圖4的2點(diǎn)劃線所示的覆蓋區(qū)FP(將裝置設(shè)置在平面上情況下，從正上方投影的總設(shè)置面積)將擴(kuò)大。并且，為設(shè)置處理站600，將占據(jù)一個閥孔。
再有，如果要增加可裝載的印刷線路板處理室數(shù)，則必須設(shè)計(jì)大傳送室以及與該傳送室形狀相配的裝載鎖定室，這樣就無法實(shí)現(xiàn)與其他印刷線路板傳送裝置共享裝載鎖定室。
發(fā)明的揭示本發(fā)明的目的是提供一種印刷線路板傳送裝置，所述印刷線路板傳送裝置可在控制擴(kuò)大覆蓋區(qū)的同時，提高裝置集成度，并可實(shí)現(xiàn)裝載鎖定室共享。
即；為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)基于本發(fā)明的權(quán)利要求1中所述的印刷線路板傳送裝置包括運(yùn)送印刷線路板的可作旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的機(jī)械臂；設(shè)置有上述機(jī)械壁且圓周狀配置有多個印刷線路板處理室的傳送室；使通過上述機(jī)構(gòu)臂搬運(yùn)到上述印刷線路板處理室的印刷線路板待機(jī)、并接收經(jīng)上述印刷線路板處理室處理的上述印刷線路板的第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室；其特征在于，上述傳送室與第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室的接合部成直線狀排列。
根據(jù)這一結(jié)構(gòu)，由于第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室的傳送室的連接部為直線狀排列，所以，無論傳送室大小如何，均可實(shí)現(xiàn)與上述第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室以外的裝置共享。
在權(quán)利要求2所述的印刷線路板傳送裝置中，由于采用權(quán)利要求1所述的印刷線路板傳送裝置，所以在上述傳送室的所述第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室側(cè)，在不影響機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的位置，設(shè)有對上述印刷線路板進(jìn)行處理的處理站。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室的傳送室的連接部成直線狀，所以與傳送室的大小無關(guān)，均可實(shí)現(xiàn)上述第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室與其他裝置的共享。
機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)軌跡為圓形，第1及第2裝載鎖定室的傳送室的接合部為直線狀，所以上述機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)軌跡與第1及第2裝載鎖定室的直線部間會產(chǎn)生空間。利用這一空間，在不影響機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的位置設(shè)置處理站，藉此，可在不增加配置印刷線路板處理室所需閥孔的情況下處理站，所以，可在不擴(kuò)大覆蓋區(qū)的情況下，提高印刷線路板傳送裝置的集成度。
又在權(quán)利要求3所述的印刷線路板傳送裝置中，采用權(quán)利要求2所述的印刷線路板傳送裝置，作為上述處理站，設(shè)有2組定位裝置。通過這一結(jié)構(gòu)，可增加預(yù)先定位的印刷線路板數(shù)量，因此，可提高印刷線路板傳送裝置的裝卸效率(單位時間內(nèi)可處理的印刷線路板的數(shù)量)。
又，在權(quán)利要求4所述的印刷線路板傳送裝置中，采用權(quán)利要求2所述的印刷線路板傳送裝置，作為處理站，設(shè)有2組冷卻裝置。通過這一結(jié)構(gòu)，可增加處理后冷卻的印刷線路板數(shù)量，所以，可提高印刷線路板傳送裝置的裝卸效率。
在權(quán)利要求5所述的印刷線路板傳送裝置中，采用權(quán)利要求2所述的印刷線路板傳送裝置，作為上述處理站，設(shè)有定位裝置及冷卻裝置。通過這一結(jié)構(gòu)，可增加預(yù)先定位的印刷線路板數(shù)量以及處理后冷卻的印刷線路板數(shù)量，所以可提高印刷線路板傳送裝置的裝卸效率。
在權(quán)利要求6所述的印刷線路板傳送裝置中，采用權(quán)利要求2所述的印刷線路板傳送裝置，作為上述處理站，設(shè)有臨時設(shè)置印刷線路板的板以及放置虛擬印刷線路板的板。通過設(shè)置臨時放置印刷線路板的板，在印刷線路板的輸送途中由于某些原因無法將印刷線路板返回裝載鎖定室的情況下，可臨時保管印刷線路板。并且，通過放置虛擬印刷線路板的板的設(shè)置，可事前確認(rèn)印刷線路板處理室的處理?xiàng)l件，臨時放置清潔處理室時所需的虛擬印刷線路板，提高作業(yè)性。
在根據(jù)本發(fā)明的權(quán)利要求7所述的印刷線路板傳送裝置中設(shè)有配設(shè)于與輸送印刷線路板作業(yè)用通道相對向位置的裝載鎖定室；配設(shè)于該裝載鎖定室反向通道側(cè)的傳送室；配設(shè)于該傳送室外圍的多個印刷線路板處理室；配置于上述傳送室，往來于上述裝載鎖定室與上述印刷線路板處理室之間搬入、搬出上述印刷線路板的機(jī)械臂。其特征是，上述裝載鎖定室與上述傳送室的接合面設(shè)有與上述作業(yè)用通道平行的直線狀接合部，通過該接合部與上述裝載鎖定室相連。
通過這一結(jié)構(gòu)，裝載鎖定室與傳送室的連接部為與作業(yè)用通道平行的直線狀接合部，無論傳送室大小如何，可實(shí)現(xiàn)與裝載鎖定室以外裝置的共享。
根據(jù)本發(fā)明的權(quán)利要求8所述的印刷線路板傳送裝置中，采用權(quán)利要求7所述印刷線路板傳送裝置，其特征是，在遠(yuǎn)離上述機(jī)械臂運(yùn)動范圍位置的上述傳送室側(cè)，設(shè)有處理上述印刷線路板的處理站。
通過這一結(jié)構(gòu)，由于機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)運(yùn)動軌跡為圓形，裝載鎖定室與傳送室的連接部為直線狀，所以，上述機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動軌跡與裝載鎖定室的直線部間產(chǎn)生空間。利用這一空間，在遠(yuǎn)離上述機(jī)械臂運(yùn)動范圍位置的上述傳送室側(cè)設(shè)置處理站，這樣在不增加配置印刷線路板所需閥孔的情況下可設(shè)置處理站，所以，可在不擴(kuò)大覆蓋區(qū)的同時，提高印刷線路板傳送裝置的集成度。
附圖的簡單說明

圖1為顯示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1的印刷線路板傳送裝置構(gòu)造的平面圖。
圖2為顯示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2的印刷線路板傳送裝置構(gòu)造的平面圖。
圖3為顯示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)3的印刷線路板傳送裝置構(gòu)造的平面圖。
圖4為顯示運(yùn)用以往技術(shù)的印刷線路板傳送裝置構(gòu)造的剖視圖。
發(fā)明的最佳實(shí)施形態(tài)下面參照圖紙說明本發(fā)明各實(shí)施形態(tài)中印刷線路板傳送裝置的構(gòu)造。
(實(shí)施形態(tài)1)參照圖1，就本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的印刷線路板傳送裝置構(gòu)造作一說明。
(構(gòu)成)參照圖1，為輸送被處理物印刷線路板400，印刷線路板裝置100上設(shè)有可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的機(jī)械臂106，具有可成圓周狀配置多個印刷線路板處理室500的傳送室101。傳送室101設(shè)有可連接印刷線路板處理室的4個閥孔102、103、104、105。
又，在傳送室101的印刷線路板搬入、搬出側(cè)，通過閘閥107、108，設(shè)有裝載鎖定室109、110，裝載鎖定室109、110，使放置印刷線路板400的盒114、115處于可升降及旋轉(zhuǎn)的待機(jī)狀態(tài)。
在上述4處理室用的印刷線路板傳送裝置100中，傳送室101和第1裝載鎖定室109及第裝載鎖定室110的接合部100F成直線狀設(shè)置，同時接合部100F與作業(yè)用通道700平行配置。通過這一結(jié)構(gòu)，與以往一樣，在靠近第1裝載鎖定室109及第2裝載鎖定室110跟前側(cè)一般設(shè)有搬運(yùn)、作業(yè)用通道700。由此，有必要使靠近第1裝載鎖定室109及第2裝載鎖定室110跟前側(cè)成直線狀設(shè)置。其結(jié)果，本實(shí)施形態(tài)中的第1裝載鎖定室109及第2裝載鎖定室110可采用圖示的近正方形形狀。
在本實(shí)施形態(tài)的印刷線路板傳送裝置110中，在不影響設(shè)置于反作業(yè)用通道側(cè)的傳送室101的機(jī)械臂106旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的位置，設(shè)置有處理印刷線路板400的處理站120、121。作為處理站120、121的實(shí)例，可采取定位裝置與定位裝置的組合、冷卻裝置與冷卻裝置的組合、定位裝置與冷卻裝置的組合等。
并且，作為處理站120、121，可設(shè)臨時設(shè)置印刷線路板的板及旋轉(zhuǎn)虛擬印刷線路板的板。通過設(shè)臨時放置印刷線路板的板，可在印刷線路板的搬運(yùn)中因某種原因印刷線路板無法返回裝載鎖定室的情況下，臨時保管印刷線路板。通過設(shè)放置虛擬印刷線路板的板，可事前確認(rèn)印刷線路板處理室的處理?xiàng)l件，臨時放置清潔處理室時所用的虛擬印刷線路板，提高作業(yè)性。
為便于說明，僅在閥孔102上設(shè)置了印刷線路板處理室500，而實(shí)際上閥孔103、104、105均設(shè)有印刷線路板處理室500。
(作用、效果)由于機(jī)械臂106的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動軌跡為圓形，第1裝載鎖定室109及第2裝載鎖定室110的傳送室101的連接部為直線狀，所以機(jī)械臂106的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動軌跡與第1裝載鎖定室109及第2裝載鎖定室110的直線部之間有空隙。
利用這一空隙，在不影響機(jī)械臂106的旋轉(zhuǎn)及伸縮位置設(shè)置處理站120、121，這樣可在不增加閥孔的情況下設(shè)置處理站120、121。
(其他實(shí)施形態(tài))在上述各實(shí)施形態(tài)中，對設(shè)置處理站120、121的構(gòu)造進(jìn)行了說明，但也可采用如圖3所示不設(shè)處理站120、121的構(gòu)造。
上述各實(shí)施形態(tài)的印刷線路板傳送裝置可適用于使傳送室及裝載鎖定室處于真空狀態(tài)或大氣狀態(tài)的裝置等可在一切環(huán)境下使用的裝置。
因此，這里公開的各實(shí)施形態(tài)并不僅限于例示。本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限于上述說明，而是可根據(jù)專利申請的范圍劃定，包括在與權(quán)利要求書同等意義及范圍內(nèi)的所有變化。
根據(jù)本發(fā)明的印刷線路板傳送裝置，由于第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室的連接部為直線狀，所以不論傳送室大小，均可實(shí)現(xiàn)與第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室等裝置的共享。并且，利用機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動軌跡與第1裝載鎖定室及第2裝載鎖定室的直線部間的空間，在不影響機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)運(yùn)動及伸縮運(yùn)動位置設(shè)置處理站，以此，可在不增加配置印刷線路板處理所需閥孔的情況下設(shè)置處理站，所以可在控制覆蓋區(qū)擴(kuò)大的同時，提高印刷線路板傳送裝置的集成度。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性提供可控制覆蓋區(qū)板擴(kuò)大的同時提高裝置集成度，并實(shí)現(xiàn)裝載鎖定室共享的印刷線路板傳送裝置。
權(quán)利要求
1.一種印刷線路板傳送裝置，所述印刷線路板傳送裝置設(shè)有用于搬運(yùn)印刷線路板(400)的可作旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的機(jī)械臂(106)具有上述機(jī)械臂(106)，可近圓周狀配置多個印刷線路板處理室(500)的傳送室(101、102)；用于使通過上述機(jī)械臂(106)運(yùn)送至上述印刷線路板處理室(500)的上述印刷線路板(400)處于待機(jī)狀態(tài)，或接收經(jīng)上述印刷線路板(500)處理的上述印刷線路板(400)的第1裝載鎖定室(109)及第2裝載鎖定室(110)，其特征在于，上述傳送室(101、102)和上述第1裝載鎖定室(109)及第2裝載鎖定室(110)的接合部(100F)成直線狀排列。
2.如權(quán)利要求1所述印刷線路板，其特征是，在上述傳送室(101、102)的上述第1裝載鎖定室(109)及第2裝載鎖定室(110)側(cè)，在不影響上述機(jī)械臂(106)作旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的位置，設(shè)置處理上述印刷線路板(400)的處理站(120、121)。
3.如權(quán)利要求2所述印刷線路板傳送裝置，其特征是，作為上述處理站(120、121)設(shè)有2組定位裝置。
4.如權(quán)利要求2所述印刷線路板傳送裝置，其特征是，作為上述處理站(120、121)設(shè)有2組冷卻裝置。
5.如權(quán)利要求2所述印刷線路板傳送裝置，其特征是，作為上述處理站(120、121)設(shè)有定位裝置及冷卻裝置。
6.如權(quán)利要求2所述印刷線路板傳送裝置，其特征是，作為上述處理站(120、121)，設(shè)有臨時放置印刷線路板(400)的板及放置虛擬印刷線路板的板。
7.一種印刷線路板傳送裝置，所述印刷線路板傳送裝置設(shè)有設(shè)置于與搬運(yùn)印刷線路板(400)的作業(yè)用通道(700)相向位置的裝載鎖定室(109、110)；配設(shè)于該裝載鎖定室(109、110)的傳送室(101)；配設(shè)于傳送室(101)外圍的多個印刷線路板處理室(500)；配置于上述傳送室(101)，往來于上述裝載鎖定室(109、110)與上述印刷線路板處理室(500)間、用于搬入、搬出上述印刷電路板(400)的機(jī)械臂(106)，其特征是，上述機(jī)械臂(109、110)與上述傳送室(101)的接合面設(shè)有與上述作業(yè)用通道(700)平行的直線狀接合部(100F)，通過該接合部(100F)連結(jié)上述裝載鎖定室(109、110)。
8.如權(quán)利要求7所述的印刷線路板傳送裝置，其特征是，在遠(yuǎn)離上述機(jī)械臂(106)運(yùn)動范圍位置的上述傳送室(101)側(cè)，設(shè)置處理上述印刷線路板(400)的處理站(120、121)。
全文摘要
一種印刷線路板傳送裝置,其中,傳送室(101)和第1裝載鎖定室(10)及第2裝載鎖定室(110)的連接部為直線狀排列設(shè)置。又,在不影響機(jī)械臂(106)的旋轉(zhuǎn)及伸縮運(yùn)動的位置設(shè)置處理印刷線路板(400)的處理站(120,121)。采用該結(jié)構(gòu),可在控制覆蓋區(qū)擴(kuò)大的同時,提高印刷線路板傳送裝置的集成度。并可實(shí)現(xiàn)裝載鎖定室共享的印刷線路板傳送裝置。
文檔編號H01L21/00GK1365519SQ01800657
公開日2002年8月21日 申請日期2001年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2000年3月29日
發(fā)明者和田定幸 申請人:大金工業(yè)株式會社