專利名稱：基板對位裝置、基板傳送平臺及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及基板傳送設(shè)備，特別涉及一種基板對位裝置、基板傳送平臺及系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器的制造過程中，通常采用基板傳送系統(tǒng)傳遞基板，例如，陣列基板、 彩膜基板和液晶面板等。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送系統(tǒng)的側(cè)視圖，圖2為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送系統(tǒng)的俯視圖。 如圖1和圖2所示，基板傳送系統(tǒng)通常采用伺服電機11帶動皮帶，并通過皮帶的傳動力使 得基板傳送平臺12在基板傳送軌道13上運動?；鍌魉推脚_12用于承載基板，其包括平 臺支架以及設(shè)置在該平臺支架上的基板對位裝置，基板對位裝置可以進行基板的夾持和定 位。圖3為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送平臺中的基板對位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，該基 板對位裝置可以包括安裝支架15、氣缸體16、滑塊導(dǎo)軌17、活塞運動部件18、基板對位針 19和滑動部件20。其中，安裝支架15可以固設(shè)在平臺支架，氣缸體16固定在安裝支架15 上，兩個活塞運動部件18設(shè)置在氣缸體16中，其一端連接基板對位針19 ；且該兩個活塞運 動部件18之間是具有活塞間隙的。滑動部件20固接在活塞運動部件18的下底面，其可以 和設(shè)置在氣缸體16下部的滑塊導(dǎo)軌17構(gòu)成滑動連接，且可以隨活塞運動部件18 —起運 動。其原理為，可以通過設(shè)置在氣缸體16上的第一進氣口 21。向氣缸體16內(nèi)通入壓縮空 氣，使得活塞運動部件18運動，從而帶動連接在活塞運動部件18端部的基板對位針19運 動，從而完成基板的對位操作。該基板傳送平臺12可以帶動基板依次經(jīng)過位置1、位置2和位置3，并在上述位置 處進行基板對位和相應(yīng)的操作工序。在位置1、位置2和位置3處，基板傳送平臺12的下方 設(shè)置有電氣供應(yīng)裝置14，該電氣供應(yīng)裝置14用于供給基板傳送平臺12工作所需的電力和 壓縮空氣；并且，由于圖3所示的基板對位裝置的結(jié)構(gòu)特點，在無氣體驅(qū)動情況下，活塞運 動部件18是能夠自由活動的；這樣在基板傳送平臺12的啟動和停止過程中，基板會在慣性 的作用下偏離原來的位置，導(dǎo)致對位異常，因此，要求電線和通氣管路的鋪設(shè)需要使得基板 在整個傳遞過程中始終保持在通電通氣狀態(tài)。但是，上述的現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)缺陷是布置的電線及通氣管路較多，一方 面，由于線路長度的自身限制，基板傳送平臺12的工作距離受到嚴重限制，即位置1、位置2 和位置3之間的間距較短，影響基板傳送平臺12的有效使用壽命；另一方面，也使得該基板 傳送系統(tǒng)的制造成本較高；此外，在基板的傳遞過程中容易發(fā)生基板偏移。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種基板對位裝置、基板傳送平臺及系統(tǒng)，以解決基板 傳遞過程中所發(fā)生的傳遞距離短及基板偏移的問題，實現(xiàn)基板傳送平臺的長距離傳送，降低設(shè)備成本，并且基板不會發(fā)生偏移。本實用新型提供一種基板對位裝置，該基板對位裝置包括安裝支架；氣缸體，固定在所述安裝支架上，所述氣缸體上設(shè)置有第一進氣口，且 所述氣缸體的下部設(shè)置有滑塊導(dǎo)軌；活塞運動部件，一端設(shè)置在所述氣缸體內(nèi)，另一端連接 基板對位針；滑動部件，固定連接在所述兩個活塞運動部件的下底面，所述滑動部件的上表 面與所述滑塊導(dǎo)軌滑動連接；還包括數(shù)個制動孔，設(shè)置在所述滑動部件的上表面，且位于 所述活塞運動部件的側(cè)邊；制動裝置，固定設(shè)置在所述制動孔的上方，所述制動裝置中設(shè)置 有制動插頭，所述制動插頭與所述制動孔相對。如上所述的基板對位裝置，所述制動裝置包括活塞體，所述活塞體中設(shè)置有制動 彈簧和制動插頭，所述制動插頭包括連接所述制動彈簧的第一端和用于插入所述制動孔的 第二端，所述第一端形狀與所述活塞體的截面形狀相同，所述第二端與所述制動孔相對；所 述活塞體上還設(shè)置有第二進氣口。如上所述的基板對位裝置，所述活塞運動部件的數(shù)量為兩個，所述兩個活塞運動 部件之間具有活塞間隙；所述數(shù)個制動孔設(shè)置在所述活塞間隙處。如上所述的基板對位裝置，所述制動裝置固定設(shè)置在所述氣缸體上。如上所述的基板對位裝置，所述安裝支架上設(shè)置有活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置， 所述活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置可調(diào)式連接于所述安裝支架上。如上所述的基板對位裝置，所述滑動部件的與所述基板對位針相對的端部設(shè)置有 滑動部件行程擋板；所述活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置的端部與所述滑動部件行程擋板相抵 對。如上所述的基板對位裝置，所述第二進氣口的數(shù)量為兩個，且兩個所述第二進氣 口分設(shè)于所述第一端的兩側(cè)。本實用新型提供一種基板傳送平臺，該平臺包括平臺支架，所述平臺支架上設(shè)置 有本實用新型所提供的基板對位裝置；所述基板對位裝置中的安裝支架固定在所述平臺支架上。如上所述的基板傳送平臺，所述平臺支架上設(shè)置有多個支持針。如上所述的基板傳送平臺，所述支持針的頭部安裝有滾珠頭。本實用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，包括本實用新型所提供的基板傳送平臺。本實用新型的基板對位裝置、基板傳送平臺及系統(tǒng)，通過設(shè)置制動孔和制動裝置， 制動裝置中的制動插頭可以在斷電斷氣的情況下插入制動孔中，可以實現(xiàn)在基板傳遞過程 中斷電斷氣，解決了基板傳遞過程中所發(fā)生的傳遞距離短及基板偏移的問題，實現(xiàn)了基板 傳送平臺的長距離傳送，降低設(shè)備成本，并且基板不會發(fā)生偏移。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是 本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下， 還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送系統(tǒng)的側(cè)視圖；[0023]圖2為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送系統(tǒng)的俯視圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)基板傳送平臺中的基板對位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型基板傳送平臺實施例的側(cè)視圖；圖5為本實用新型基板傳送平臺實施例的俯視圖；圖6為圖4中的基板對位裝置的側(cè)視圖；圖7為圖4中的基板對位裝置的俯視圖；圖8為圖6中的制動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實用新型基板傳送系統(tǒng)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標記說明11-伺服電機；12-基板傳送平臺；13-基板傳送軌道；[0033]14-電氣供應(yīng)裝置；15-安裝支架；16-氣缸體；[0034]17-滑塊導(dǎo)軌；18-活塞運動部件；19-基板對位針；[0035]20-滑動部件；21-第一進氣口；22-平臺支架；[0036]23-基板對位裝置；24-電氣接收裝置；25-電氣供應(yīng)裝置；[0037]26-基板檢測傳感器；27-活塞間隙；28-滑動部件行程擋[0038]板[0039]29-制動孔；30-制動裝置；31-活眉塞體；[0040]32-制動彈簧；33-制動插頭；34-第二二進氣口 ；[0041]35-第二進氣口；36-第一腔室；37-第二二腔室；38-支持針； 39-活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置。
具體實施方式
為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新 型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤?例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于 本實用新型保護的范圍。本實用新型的主要技術(shù)方案為，對現(xiàn)有的基板傳送平臺上設(shè)置的基板對位裝置的 結(jié)構(gòu)進行了改進，在其中增設(shè)了制動裝置和制動孔，制動孔設(shè)置在滑動部件的上表面，且位 于活塞運動部件的側(cè)邊；制動裝置固定設(shè)置在所述制動孔的上方，該制動裝置中設(shè)置有制 動插頭，所述制動插頭與所述制動孔相對，該制動插頭可以在斷電斷氣的情況下插入制動 孔中，從而牢牢鎖住基板對位針的運動，使得基板在傳遞過程中不會發(fā)生偏移，且減少了電 氣線路的鋪設(shè)，使得基板傳送平臺可以長距離傳輸，降低了設(shè)備成本。下面通過附圖和具體實施例，對本實用新型的技術(shù)方案做進一步的詳細描述。以 下的實施例首先說明本實用新型所提供的基板傳送平臺的結(jié)構(gòu)。圖4為本實用新型基板傳送平臺實施例的側(cè)視圖，圖5為本實用新型基板傳送平 臺實施例的俯視圖，圖6為圖4中的基板對位裝置的側(cè)視圖，圖7為圖4中的基板對位裝置 的俯視圖。[0048]結(jié)合圖4和圖5所示，本實施例的基板傳送平臺可以包括平臺支架22，該平臺支架 22上設(shè)置有基板對位裝置23，該基板對位裝置23的數(shù)量可以為四個，通?？梢栽O(shè)置在平臺 支架22的四個邊的中部位置附近，用于對承載于該基板傳送平臺上的基板進行對位。在該 平臺支架22的底部可以設(shè)置有電氣接收裝置24，與該電氣接收裝置M的相對的下部可以 設(shè)置電氣供應(yīng)裝置25。該電氣供應(yīng)裝置25可以通過電氣接收裝置M為基板傳送平臺供應(yīng)電、氣等動力， 其中的電力可以供應(yīng)設(shè)置在基板傳送平臺上的例如基板檢測傳感器26工作，檢測基板是 否已經(jīng)放置于該基板傳送平臺上；其中的壓縮氣體等可以供應(yīng)至基板對位裝置23的氣缸 體中，推動設(shè)置在氣缸體中的活塞運動部件運動，并進而帶動與活塞運動部件連接的基板 對位針19運動，從而完成基板的定位。結(jié)合圖6和圖7所示，示出了上述的基板對位裝置23的具體結(jié)構(gòu)。本實施例中的 基板對位裝置23可以包括安裝支架15，該安裝支架15可以固設(shè)在平臺支架上。氣缸體16 的一端固定在安裝支架15上，兩個活塞運動部件18的一端設(shè)置在氣缸體16中，另一端連 接基板對位針19 ；且該兩個活塞運動部件18之間具有活塞間隙27。氣缸體16上設(shè)置有兩 個第一進氣口 21，可以通過該第一進氣口 21向氣缸體16內(nèi)通入壓縮空氣，進而通過壓縮空 氣推動活塞運動部件18運動，帶動基板對位針19左右移動。氣缸體16的下部設(shè)置有滑塊導(dǎo)軌17，活塞運動部件18的下底面可以固定連接滑 動部件20，該滑動部件20的上表面可以與滑塊導(dǎo)軌17構(gòu)成滑動連接。當活塞運動部件18 左右移動時，可以帶動滑動部件20—起運動。此外，滑動部件20的左端即與基板對位針19 相對的端部，設(shè)置有滑動部件行程擋板觀。本實施例中，在滑動部件20的上表面處設(shè)置了數(shù)個制動孔四，由圖7中可以看到， 該數(shù)個制動孔四設(shè)置在活塞間隙27的位置處。還設(shè)置有制動裝置30，該制動裝置30固定 設(shè)置在對應(yīng)于制動孔四上方的位置，也設(shè)置在活塞間隙27處。例如，具體實施中，該制動 裝置30可以嵌入式固設(shè)在氣缸體16上。該制動裝置30的結(jié)構(gòu)可以參見圖8，圖8為圖6中的制動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該 制動裝置可以包括活塞體31，該活塞體31中設(shè)置有制動彈簧32和制動插頭33，制動插頭 33的第一端連接制動彈簧32，該第一端的形狀可以與活塞體31的截面形狀相同，即可以在 活塞體31內(nèi)形成封閉腔室。第二端與所述滑動部件20的對應(yīng)于活塞間隙27處的上表面 相對，即可以與制動孔四相對，且該第二端可以插入制動孔四中。該活塞體31上還設(shè)置 有兩個第二進氣口，可以分別稱為第二進氣口 ；34和第二進氣口 35。其中，第二進氣口 34設(shè) 置在對應(yīng)于制動插頭33 —端，第二進氣口 35設(shè)置在對應(yīng)于制動彈簧32 —端。其中，本實施例中的電氣供應(yīng)裝置25預(yù)設(shè)在定位位置上，其能夠在氣體的驅(qū)動下 做上下往復(fù)運動，當其升起時能夠擠壓其頭部的接觸部件與電氣接收裝置M相咬合，實現(xiàn) 電氣接收裝置M和電氣供應(yīng)裝置25的電氣接通。本實施例的電氣供應(yīng)裝置25的氣體通 斷可以分別由4個電磁閥實現(xiàn)開啟和關(guān)閉的控制，采用彈簧制動時也可只采取3路氣體供 應(yīng)。具體氣路控制可以為，第一路電磁閥控制基板對位針的夾緊；第二路電磁閥控制基板對 位針的松開；第三路電磁閥控制制動裝置的松開；第四路電磁閥控制制動裝置制動，其中， 采用彈簧制動時或者重力制動時不提供該路氣流，運動平臺上4路氣分別供應(yīng)給各個活塞 單元，實現(xiàn)各自功能。電器線路咬合時，相應(yīng)的針自動接通，給相應(yīng)的傳感器提供供電及信
6號傳輸通路。例如，第三路電磁閥控制制動裝置的松開，通過第二進氣口 34向活塞體31的第一 腔室36內(nèi)通入壓縮空氣時，該空氣的推動力可以使得制動彈簧32向上移動，制動插頭33 也隨之上移，脫離制動孔四，活塞運動部件18就可以自由移動。例如，第四路電磁閥控制制 動裝置制動，其中，當通過第二進氣口 35向活塞體31的第二腔室37內(nèi)通入壓縮空氣時，制 動彈簧32就可以推動制動插頭33向下移動，使得制動插頭33插入制動孔四中，從而牢牢 鎖住基板對位針19的運動，保證了基板傳送平臺在高速運行中不會發(fā)生基板偏移。此外， 例如，采用彈簧制動時第四路電磁閥路可以不提供氣流，可以只設(shè)置一個第二進氣口 34，第 三路電磁閥控制通氣時可以使得活塞運動部件18自由移動，斷氣時就可以直接依靠制動 彈簧32的壓縮彈力推動制動插頭33向下移動，使得制動插頭33插入制動孔四中?；蛘?， 也可以不在活塞體31中設(shè)置有制動彈簧32，而是采用合適的，如密度大的材料制作制動插 頭33，使得制動插頭33能夠在重力條件下自然快速下移，插入制動孔四中。這時第四路電 磁閥也可以不提供氣流。斷氣時，制動插頭33直接在重力的作用向下移動，使得制動插頭 33插入制動孔四中，同樣可以達到斷氣時自動制動的效果。進一步的，在活塞運動部件18的移動過程中，有可能出現(xiàn)制動裝置的制動插頭33 和滑動部件20上的制動孔四的位置不匹配的情況，針對于此，本實施例中，可以設(shè)置活塞 運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39。參見圖7所示，可以設(shè)置3個活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39， 其中一個可以設(shè)置在左邊的安裝支架15的中部位置，另外兩個可以設(shè)置在右邊的安裝支 架15上，且分設(shè)于滑動部件20的兩側(cè)面，與滑動部件行程擋板觀相抵對；此外，也可以不 設(shè)置滑動部件行程擋板觀，使得活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39與滑動部件端面相對即可。 該活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39以可調(diào)式連接于安裝支架15上，例如通過螺絲安裝，可以 通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39的兩端伸出安裝支架15的長度?？梢酝ㄟ^上述的活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39進行活塞運動部件18的行程調(diào) 節(jié)，例如，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)安裝在左邊安裝支架15上的活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39，使得 該裝置的右端伸出安裝支架15的長度較長，則活塞運動部件18在向左運動時的行程就會 縮短，當滑動部件行程擋板觀頂住該裝置的右端時則活塞運動部件18停止運動。當通過 旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)安裝在右邊安裝支架15上的活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39，使得該裝置的左端 伸出安裝支架15的長度較長，活塞運動部件18在向右運動時的行程就會縮短，當滑動部件 行程擋板觀頂住該裝置的左端時則活塞運動部件18停止運動。在實際實施中，可以在設(shè)備安裝時，通過調(diào)整活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置39，根據(jù) 實現(xiàn)需要先預(yù)設(shè)好活塞的行程，保證氣缸活塞運動的2個終點(最大、最小伸縮量)時，制 動插頭33都能落在制動孔四內(nèi)。然后在收緊的情形下，即活塞運動部件向活塞氣缸內(nèi)部 方向運動，使得基板兩側(cè)的對位針收縮對基板形成收緊卡固時，根據(jù)對位后所需基板的位 置調(diào)節(jié)活塞運動部件18在平臺上的位置，這樣就能保證制動的有效性。進一步的，參見圖4和圖5，本實施例的平臺支架22上還設(shè)置有多個支持針38，通 過設(shè)置該支持針38，可以在基板的傳遞過程中對基板進行支撐，相對于現(xiàn)有技術(shù)中所采用 的在平臺支架22上設(shè)置氣孔通過通氣支撐基板的方式，可以不再供應(yīng)氣體，達到了斷氣的 目的，節(jié)省了供氣線路的鋪設(shè)。此外，該支持針38頭部安裝有滾珠頭，這種滾珠設(shè)計可以保 證摩擦力很小而且恒定，基板在正常對位的情況下不會被對位針夾成損失而造成破碎的發(fā)生。本實施例中是以活塞運動部件的數(shù)量為兩個進行說明的，此外，在實際實施中，該 活塞運動部件的數(shù)量也可以為一個，將制動孔設(shè)置在其側(cè)邊即可。本實施例的基板傳送平臺，通過設(shè)置制動孔和制動裝置，制動裝置中的制動插頭 可以在斷電斷氣的情況下插入制動孔中，可以實現(xiàn)在基板傳遞過程中斷電斷氣，解決了基 板傳遞過程中所發(fā)生的傳遞距離短及基板偏移的問題，實現(xiàn)了基板傳送平臺的長距離傳 送，降低設(shè)備成本，并且基板不會發(fā)生偏移。本實用新型還提供了一種基板對位裝置，該基板對位裝置包括安裝支架；氣缸 體，固定在所述安裝支架上，所述氣缸體上設(shè)置有第一進氣口，且所述氣缸體的下部設(shè)置有 滑塊導(dǎo)軌；兩個活塞運動部件，一端設(shè)置在所述氣缸體內(nèi)，另一端連接基板對位針；所述兩 個活塞運動部件之間具有活塞間隙；滑動部件，固定連接在所述兩個活塞運動部件的下底 面，所述滑動部件的上表面與所述滑塊導(dǎo)軌滑動連接；該基板對位裝置還包括數(shù)個制動孔，設(shè)置在所述滑動部件的上表面，且對應(yīng)于所 述活塞間隙處；制動裝置，固定設(shè)置在所述活塞間隙處，所述制動裝置包括活塞體，所述活 塞體中設(shè)置有制動彈簧和制動插頭，所述制動插頭包括連接所述制動彈簧的第一端和用于 插入所述制動孔的第二端，所述第一端形狀與所述活塞體的截面形狀相同，所述第二端與 所述活塞間隙相對；所述活塞體上還設(shè)置有第二進氣口。其具體結(jié)構(gòu)可以參見圖6-圖8所示，以及上述的基板傳送平臺實施例中所述。在 此不再贅述。本實施例還提供了一種基板傳送系統(tǒng)，圖9為本實用新型基板傳送系統(tǒng)實施例的 結(jié)構(gòu)示意圖，如圖9所示，該基板傳送系統(tǒng)可以包括基板傳送軌道、數(shù)個電氣供應(yīng)裝置14、 數(shù)個電氣接收裝置M、基板傳送平臺12 ；所述電氣接收裝置M設(shè)置于所述基板傳送平臺 12的底部表面，所述基板傳送平臺12與所述基板傳送軌道滑動連接。本實施例的基板傳送平臺12可以采用本實用新型任意實施例所述的基板傳送平 臺。且由于該基板傳送平臺12中設(shè)置了制動裝置和制動孔等，可以實現(xiàn)基板傳遞過程中的 自動鎖定定位，因此，可以實現(xiàn)斷電斷氣傳遞，不用始終保持通電通氣，該系統(tǒng)中可以不再 鋪設(shè)較多的電、氣管線，且上述的數(shù)個電氣供應(yīng)裝置14中的每兩個之間的間隔距離可以增 大，從而增大了基板傳送平臺12的工作距離和有效使用壽命。本實施例的基板傳送系統(tǒng)也 實現(xiàn)了基板傳遞過程中的基板不發(fā)生偏移。最后應(yīng)說明的是以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解: 其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種基板對位裝置，包括安裝支架；氣缸體，固定在所述安裝支架上，所述氣缸體上設(shè)置有第一進氣口，且所述氣缸體的下 部設(shè)置有滑塊導(dǎo)軌；活塞運動部件，一端設(shè)置在所述氣缸體內(nèi)，另一端連接基板對位針；滑動部件，固定連接在所述活塞運動部件的下底面，所述滑動部件的上表面與所述滑 塊導(dǎo)軌滑動連接；其特征在于，還包括數(shù)個制動孔，設(shè)置在所述滑動部件的上表面，且位于所述活塞運動部件的側(cè)邊；制動裝置，固定設(shè)置在所述制動孔的上方，所述制動裝置中設(shè)置有制動插頭，所述制動 插頭與所述制動孔相對。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對位裝置，其特征在于，所述制動裝置包括活塞體，所述 活塞體中設(shè)置有制動彈簧和制動插頭，所述制動插頭包括連接所述制動彈簧的第一端和用 于插入所述制動孔的第二端，所述第一端形狀與所述活塞體的截面形狀相同，所述第二端 與所述制動孔相對；所述活塞體上還設(shè)置有第二進氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對位裝置，其特征在于，所述活塞運動部件的數(shù)量為兩 個，兩個所述活塞運動部件之間具有活塞間隙；所述數(shù)個制動孔設(shè)置在所述活塞間隙處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對位裝置，其特征在于，所述制動裝置固定設(shè)置在所述 氣缸體上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板對位裝置，其特征在于，所述第二進氣口的數(shù)量為兩個， 且兩個所述第二進氣口分設(shè)于所述第一端的兩側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5任一所述的基板對位裝置，其特征在于，所述安裝支架上設(shè)置有 活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置，所述活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置可調(diào)式連接于所述安裝支架 上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板對位裝置，其特征在于，所述滑動部件的與所述基板對 位針相對的端部設(shè)置有滑動部件行程擋板；所述活塞運動部件行程調(diào)節(jié)裝置的端部與所述 滑動部件行程擋板相抵對。
8.一種基板傳送平臺，包括平臺支架，其特征在于，所述平臺支架上設(shè)置有權(quán)利要求 1 7任一所述的基板對位裝置；所述基板對位裝置中的安裝支架固定在所述平臺支架上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板傳送平臺，其特征在于，所述平臺支架上設(shè)置有多個支 持針。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板傳送平臺，其特征在于，所述支持針的頭部安裝有滾珠頭。
11.一種基板傳送系統(tǒng)，包括基板傳送軌道和基板傳送平臺，其特征在于，所述基板傳 送平臺為權(quán)利要求8 10任一所述的基板傳送平臺。
專利摘要本實用新型提供一種基板對位裝置、基板傳送平臺及系統(tǒng)，其中，基板對位裝置包括安裝支架，氣缸體，活塞運動部件，滑動部件，還包括數(shù)個制動孔，設(shè)置在所述滑動部件的上表面，且位于所述活塞運動部件的側(cè)邊；制動裝置，固定設(shè)置在所述制動孔的上方，所述制動裝置包括活塞體，所述活塞體中設(shè)置有制動彈簧和制動插頭，所述制動插頭包括連接所述制動彈簧的第一端和用于插入所述制動孔的第二端，所述第一端形狀與所述活塞體的截面形狀相同，所述第二端與所述制動孔相對；所述活塞體上還設(shè)置有第二進氣口。本實用新型實現(xiàn)了基板傳送平臺的長距離傳送，降低設(shè)備成本，并且基板不會發(fā)生偏移。
文檔編號H01L21/677GK201868406SQ20102059216
公開日2011年6月15日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者吳健 申請人:北京京東方光電科技有限公司