本發(fā)明涉及高壓放電裝置，尤其涉及一種對(duì)位裝置。

背景技術(shù)：

1、電子顯微鏡簡(jiǎn)稱(chēng)電鏡，(electron?microscope，em)，經(jīng)過(guò)五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用是建立在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)之上的，一般光學(xué)顯微鏡的分辨率可以為0.2μm，透射電子顯微鏡的分辨率可以為0.2nm，也就是說(shuō)透射電子顯微鏡在光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上放大了1000倍。

2、電子顯微鏡主要由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成，其核心部件之一是發(fā)射電子流的電子槍?zhuān)娮訕尩雀邏悍烹娽樇庠谘邪l(fā)或性能測(cè)試過(guò)程中，不可避免需要對(duì)電子槍等高壓放電針尖進(jìn)行準(zhǔn)確而又方便的對(duì)位。

3、現(xiàn)有技術(shù)中還未發(fā)現(xiàn)有這樣的裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種對(duì)位裝置，能夠?qū)﹄娮訕尩确烹娽樇膺M(jìn)行準(zhǔn)確而又方便的對(duì)位。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種對(duì)位裝置包括：基座、至少兩個(gè)第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置和至少兩個(gè)金屬連接片；

3、第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與基座可旋轉(zhuǎn)連接，金屬連接片數(shù)量與第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置數(shù)量相等；

4、每一金屬連接片一端與第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置可旋轉(zhuǎn)連接，另一端用于固定連接導(dǎo)電柱，導(dǎo)電柱用于與放電針尖電連接。

5、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，對(duì)位裝置還包括：至少兩個(gè)第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置，n≥2的整數(shù)；

6、第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置數(shù)量與第n-1級(jí)…、1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置數(shù)量相等，第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與第n-1、…、1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置之間依次通過(guò)金屬部件電連接，每一金屬連接片一端與第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置可旋轉(zhuǎn)連接。

7、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，金屬連接片是柔性金屬片，可選地，所述柔性金屬片厚度為0.1～1mm。

8、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，每一金屬連接片包括金屬薄片和容納柱，容納柱一端具有縫隙，容納柱另一端具有容納槽，容納槽用于容納固定導(dǎo)電柱，金屬薄片可插入縫隙中，在縫隙處對(duì)應(yīng)設(shè)有頂絲孔，頂絲插入頂絲孔將金屬薄片與容納柱固定。

9、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，容納槽為圓柱容納槽，導(dǎo)電柱為圓柱形，導(dǎo)電柱插入容納槽中，基座上設(shè)有第1級(jí)凸臺(tái)，第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與第1級(jí)凸臺(tái)可旋轉(zhuǎn)連接。

10、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，基座上還設(shè)有第n級(jí)凸臺(tái)，第n+1級(jí)凸臺(tái)的高度小于等于第n級(jí)凸臺(tái)的高度，n≥2的整數(shù)。

11、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，放電針尖為電子顯微鏡的電子槍的發(fā)射針尖，導(dǎo)電柱為2個(gè)，電子槍包括抑制極，抑制極中心軸處設(shè)置有對(duì)位孔，發(fā)射針尖穿過(guò)對(duì)位孔。

12、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置為螺釘，第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置為螺釘，基座上設(shè)有螺紋孔，螺釘與螺紋孔匹配，螺紋孔數(shù)量大于螺釘數(shù)量。

13、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，對(duì)位裝置還包括保護(hù)罩，保護(hù)罩蓋設(shè)在基座上，螺紋孔多出螺釘數(shù)量的部分中至少一個(gè)為保護(hù)罩固定孔，保護(hù)罩設(shè)有通孔，固定螺絲穿過(guò)通孔與保護(hù)罩固定孔連接固定，保護(hù)罩接地，螺紋孔多出螺釘數(shù)量的部分中除保護(hù)罩固定孔之外的螺紋孔為預(yù)留孔。

14、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，保護(hù)罩頂部開(kāi)設(shè)有與第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置對(duì)應(yīng)的第一操作孔，保護(hù)罩頂部開(kāi)設(shè)有與第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置對(duì)應(yīng)的第n操作孔，保護(hù)罩側(cè)面開(kāi)設(shè)有頂絲操作孔和/或保護(hù)罩側(cè)面開(kāi)設(shè)有頂絲觀(guān)察條帶。

15、在本申請(qǐng)一實(shí)施例中，金屬連接片的材質(zhì)為無(wú)氧銅，金屬部件的材質(zhì)為無(wú)氧銅。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)至少具有以下有益效果：

17、通過(guò)設(shè)置第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與基座可旋轉(zhuǎn)連接，每一金屬連接片一端與第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置可旋轉(zhuǎn)連接，另一端用于固定連接導(dǎo)電柱，導(dǎo)電柱用于與放電針尖電連接，當(dāng)需要對(duì)放電針尖進(jìn)行對(duì)位調(diào)整位置時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置，調(diào)整每一金屬連接片一端在不同位置處固定，由于金屬連接片另一端連接放電針尖的導(dǎo)電柱，在旋轉(zhuǎn)第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置時(shí)，帶動(dòng)了金屬連接片位置變化，進(jìn)而改變放電針尖的位置，在高壓放電針尖測(cè)試放電過(guò)程中，就可以較為方便而又準(zhǔn)確的將放電針尖的位置調(diào)整到需要的位置。

技術(shù)特征：

1.一種對(duì)位裝置，其特征在于，所述對(duì)位裝置包括：基座、至少兩個(gè)第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置和至少兩個(gè)金屬連接片；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述對(duì)位裝置還包括：至少兩個(gè)第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置，n≥2的整數(shù)；

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述金屬連接片是柔性金屬片，可選地，所述柔性金屬片厚度為0.1～1mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項(xiàng)所述的對(duì)位裝置，其特征在于，每一所述金屬連接片包括金屬薄片和容納柱，所述容納柱一端具有縫隙，所述容納柱另一端具有容納槽，所述容納槽用于容納固定導(dǎo)電柱，所述金屬薄片可插入所述縫隙中，在縫隙處對(duì)應(yīng)設(shè)有頂絲孔，頂絲插入所述頂絲孔將所述金屬薄片與所述容納柱固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述容納槽為圓柱容納槽，所述導(dǎo)電柱為圓柱形，所述導(dǎo)電柱插入所述容納槽中，所述基座上設(shè)有第1級(jí)凸臺(tái)，所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與所述第1級(jí)凸臺(tái)可旋轉(zhuǎn)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述基座上還設(shè)有第n級(jí)凸臺(tái)，所述第n+1級(jí)凸臺(tái)的高度小于等于所述第n級(jí)凸臺(tái)的高度，n≥2的整數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述放電針尖為電子顯微鏡的電子槍的發(fā)射針尖，所述導(dǎo)電柱為2個(gè)，所述電子槍包括抑制極，所述抑制極中心軸處設(shè)置有對(duì)位孔，所述發(fā)射針尖穿過(guò)所述對(duì)位孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求4～7任一項(xiàng)所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置為螺釘，所述第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置為螺釘，所述基座上設(shè)有螺紋孔，所述螺釘與螺紋孔匹配，所述螺紋孔數(shù)量大于所述螺釘數(shù)量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述對(duì)位裝置還包括保護(hù)罩，所述保護(hù)罩蓋設(shè)在所述基座上，所述螺紋孔多出所述螺釘數(shù)量的部分中至少一個(gè)為保護(hù)罩固定孔，所述保護(hù)罩設(shè)有通孔，固定螺絲穿過(guò)通孔與所述保護(hù)罩固定孔連接固定，所述保護(hù)罩接地，所述螺紋孔多出所述螺釘數(shù)量的部分中除所述保護(hù)罩固定孔之外的螺紋孔為預(yù)留孔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述保護(hù)罩頂部開(kāi)設(shè)有與所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置對(duì)應(yīng)的第一操作孔，所述保護(hù)罩頂部開(kāi)設(shè)有與所述第n級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置對(duì)應(yīng)的第n操作孔，所述保護(hù)罩側(cè)面開(kāi)設(shè)有頂絲操作孔和/或所述保護(hù)罩側(cè)面開(kāi)設(shè)有頂絲觀(guān)察條帶。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10任一項(xiàng)所述的對(duì)位裝置，其特征在于，所述金屬連接片的材質(zhì)為無(wú)氧銅，所述金屬部件的材質(zhì)為無(wú)氧銅。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了對(duì)位裝置，包括基座、至少兩個(gè)第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置和至少兩個(gè)金屬連接片；所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置與基座可旋轉(zhuǎn)連接，所述金屬連接片數(shù)量與所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置數(shù)量相等；每一所述金屬連接片一端與所述第1級(jí)可旋轉(zhuǎn)固定裝置可旋轉(zhuǎn)連接，另一端用于固定連接導(dǎo)電柱，所述導(dǎo)電柱用于與放電針尖電連接，在高壓放電針尖測(cè)試放電過(guò)程中，就可以較為方便而又準(zhǔn)確的將放電針尖的位置調(diào)整到需要的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭向東,曹桂英,崔明,郝海博,徐建勛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東粵港澳大灣區(qū)國(guó)家納米科技創(chuàng)新研究院
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21