本技術(shù)涉及清洗，具體為一種高效清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)十分精密，因此在制造過(guò)程中，如果受到塵粒、金屬等的污染，很容易造成電路損壞，形成斷路或短路等問(wèn)題，導(dǎo)致集成電路的失效，晶圓是制造半導(dǎo)體晶體管的基片，對(duì)微污染物的存在非常敏感，因此半導(dǎo)體晶圓在制造過(guò)程中，需要經(jīng)過(guò)多次的表面清洗步驟，以去除表面附著的金屬離子、原子、有機(jī)物、塵粒等雜質(zhì)，目前通過(guò)專用的清洗機(jī)進(jìn)行操作，其在經(jīng)過(guò)噴淋、烘干等多個(gè)操作后完成清洗。

2、現(xiàn)有的清洗設(shè)備往往結(jié)構(gòu)較為單一，只能一次對(duì)一片晶圓進(jìn)行清洗，并且在清洗后需要將其快速的取下，然后再進(jìn)行烘干，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且容易造成晶圓損壞，清洗效果不好，并且效率較差，為此我們提出了一種高效清洗設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

2、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種高效清洗設(shè)備，解決了上述的問(wèn)題。

3、(二)技術(shù)方案

4、為實(shí)現(xiàn)上述所述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種高效清洗設(shè)備，包括水槽，所述水槽的頂部設(shè)有支撐框，支撐框的頂部設(shè)有電機(jī)，電機(jī)的一側(cè)噴水裝置，支撐框的一端吹風(fēng)裝置，支撐框的頂部?jī)?nèi)壁上設(shè)置有間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，水槽的上端設(shè)有吊桿，吊桿的一側(cè)設(shè)有放置器。

5、優(yōu)選的，所述間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括圓盤、撥盤、圓銷、弓形板、固定桿以及槽輪，電機(jī)的底部與支撐框的頂部固定連接在一起，電機(jī)的輸出端延伸至支撐框的內(nèi)部與撥盤的頂部固定連接在一起，撥盤的底部一側(cè)與弓形板的頂部固定連接在一起，撥盤的底部另一側(cè)與圓銷的頂部固定連接在一起，槽輪的中心與固定桿的底部固定連接在一起，固定桿的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支撐框的頂部?jī)?nèi)壁中心，槽輪的底部與圓盤的頂部固定連接在一起。

6、優(yōu)選的，所述槽輪的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有弧形開(kāi)槽，弧形開(kāi)槽內(nèi)部開(kāi)設(shè)有直線開(kāi)槽，弓形板遠(yuǎn)離圓銷的一端對(duì)應(yīng)弧形開(kāi)槽弧度設(shè)置，圓銷對(duì)應(yīng)直線開(kāi)槽的直徑設(shè)置。

7、優(yōu)選的，所述吊桿設(shè)置有四個(gè)，四個(gè)吊桿的底部分別與放置器的頂部固定連接在一起，放置器呈弧形設(shè)置，放置器的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有凹槽，放置器的底部固定連接有底板。

8、優(yōu)選的，所述噴水裝置包括水箱、增壓頭、固定管以及噴水頭，水箱的底部與支撐框的頂部固定連接在一起，增壓頭對(duì)應(yīng)放置器平行設(shè)置，增壓頭的一端與支撐框的外壁固定連接在一起，水箱通過(guò)水管與增壓頭插接固定在一起，增壓頭的上下端分別與固定管固定連接在一起，固定管的另一端延伸至放置器的上下端分別與噴水頭固定連接在一起，噴水頭的輸出口分別對(duì)應(yīng)放置器設(shè)置。

9、優(yōu)選的，所述吹風(fēng)裝置包括風(fēng)機(jī)和出風(fēng)口，風(fēng)機(jī)的一側(cè)固定連接在支撐框的外壁上，風(fēng)機(jī)輸出口延伸至對(duì)應(yīng)放置器的位置，并且延伸至支撐框內(nèi)部與出風(fēng)口固定插接在一起。

10、(三)有益效果

11、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種高效清洗設(shè)備，具備以下有益效果：

12、該高效清洗設(shè)備，在使用時(shí)，首先將晶圓放置在放置器內(nèi)部，放置器底部的底板增加其穩(wěn)定性，然后啟動(dòng)電機(jī),電機(jī)通過(guò)連接桿帶動(dòng)間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置中的撥盤轉(zhuǎn)動(dòng)，在撥盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)圓銷與弓形板以為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，弓形板與槽輪的弧形凹槽面貼合帶動(dòng)槽輪轉(zhuǎn)動(dòng)以支撐框?yàn)橹行霓D(zhuǎn)動(dòng)，在圓銷與槽輪內(nèi)部的直線開(kāi)槽接觸時(shí)，帶動(dòng)槽輪轉(zhuǎn)動(dòng)45°，在槽輪轉(zhuǎn)動(dòng)45°后帶動(dòng)圓盤與吊桿以及放置器轉(zhuǎn)動(dòng)45°，在放置器轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，啟動(dòng)噴水裝置中的水箱與噴水裝置中的風(fēng)機(jī),水箱通過(guò)增壓頭與固定管將水增壓至噴水頭內(nèi)部，上下端的噴水頭對(duì)晶圓進(jìn)行清洗，在清洗后，風(fēng)機(jī)通過(guò)出風(fēng)口對(duì)晶圓進(jìn)行烘干，可以一次對(duì)多片晶圓進(jìn)行清洗，并且在清洗后直接進(jìn)行烘干，避免費(fèi)時(shí)費(fèi)力，同時(shí)避免晶圓在多次轉(zhuǎn)移時(shí)發(fā)生損壞，提高清洗效率。

技術(shù)特征：

1.一種高效清洗設(shè)備，包括水槽(2)，其特征在于：所述水槽(2)的頂部設(shè)有支撐框(3)，支撐框(3)的頂部設(shè)有電機(jī)(4)，電機(jī)(4)的一側(cè)噴水裝置，支撐框(3)的一端吹風(fēng)裝置，支撐框(3)的頂部?jī)?nèi)壁上設(shè)置有間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，水槽(2)的上端設(shè)有吊桿(16)，吊桿(16)的一側(cè)設(shè)有放置器(17)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效清洗設(shè)備，其特征在于：所述間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括圓盤(1)、撥盤(11)、圓銷(12)、弓形板(13)、固定桿(14)以及槽輪(15)，電機(jī)(4)的底部與支撐框(3)的頂部固定連接在一起，電機(jī)(4)的輸出端延伸至支撐框(3)的內(nèi)部與撥盤(11)的頂部固定連接在一起，撥盤(11)的底部一側(cè)與弓形板(13)的頂部固定連接在一起，撥盤(11)的底部另一側(cè)與圓銷(12)的頂部固定連接在一起，槽輪(15)的中心與固定桿(14)的底部固定連接在一起，固定桿(14)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支撐框(3)的頂部?jī)?nèi)壁中心，槽輪(15)的底部與圓盤(1)的頂部固定連接在一起。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高效清洗設(shè)備，其特征在于：所述槽輪(15)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有弧形開(kāi)槽，弧形開(kāi)槽內(nèi)部開(kāi)設(shè)有直線開(kāi)槽，弓形板(13)遠(yuǎn)離圓銷(12)的一端對(duì)應(yīng)弧形開(kāi)槽弧度設(shè)置，圓銷(12)對(duì)應(yīng)直線開(kāi)槽的直徑設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效清洗設(shè)備，其特征在于：所述吊桿(16)設(shè)置有四個(gè)，四個(gè)吊桿(16)的底部分別與放置器(17)的頂部固定連接在一起，放置器(17)呈弧形設(shè)置，放置器(17)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有凹槽，放置器(17)的底部固定連接有底板(18)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效清洗設(shè)備，其特征在于：所述噴水裝置包括水箱(5)、增壓頭(6)、固定管(7)以及噴水頭(8)，水箱(5)的底部與支撐框(3)的頂部固定連接在一起，增壓頭(6)對(duì)應(yīng)放置器(17)平行設(shè)置，增壓頭(6)的一端與支撐框(3)的外壁固定連接在一起，水箱(5)通過(guò)水管與增壓頭(6)插接固定在一起，增壓頭(6)的上下端分別與固定管(7)固定連接在一起，固定管(7)的另一端延伸至放置器(17)的上下端分別與噴水頭(8)固定連接在一起，噴水頭(8)的輸出口分別對(duì)應(yīng)放置器(17)設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效清洗設(shè)備，其特征在于：所述吹風(fēng)裝置包括風(fēng)機(jī)(9)和出風(fēng)口(10)，風(fēng)機(jī)(9)的一側(cè)固定連接在支撐框(3)的外壁上，風(fēng)機(jī)(9)輸出口延伸至對(duì)應(yīng)放置器(17)的位置，并且延伸至支撐框(3)內(nèi)部與出風(fēng)口(10)固定插接在一起。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及清洗技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種高效清洗設(shè)備，包括水槽，水槽的頂部設(shè)有支撐框，支撐框的頂部設(shè)有電機(jī)，電機(jī)的一側(cè)噴水裝置，支撐框的一端吹風(fēng)裝置，支撐框的頂部?jī)?nèi)壁上設(shè)置有間歇轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，水槽的上端設(shè)有吊桿，吊桿的一側(cè)設(shè)有放置器，該技術(shù)可以一次對(duì)多片晶圓進(jìn)行清洗，并且在清洗后直接進(jìn)行烘干，避免費(fèi)時(shí)費(fèi)力，同時(shí)避免晶圓在多次轉(zhuǎn)移時(shí)發(fā)生損壞，提高清洗效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王中兵,單磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建中偉半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231212
技術(shù)公布日：2024/10/21