本發(fā)明涉及半導體晶元檢測，尤其涉及一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備。

背景技術：

1、半導體晶元檢測是指對半導體晶元進行質(zhì)量和性能檢測的過程，半導體晶元是制造集成電路和其他半導體器件的基礎材料，其質(zhì)量和性能直接影響到半?導體器件的性能和可靠性，在半導體生產(chǎn)過程中，對晶元進行檢測是非常重要的環(huán)節(jié)，以確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能符合要求。

2、但上述專利和現(xiàn)有技術還存在以下缺陷：在對晶圓片進行實際檢測的過程中，傳統(tǒng)的檢測方式是利用人工進行取樣檢測，人工對半導體晶元進行檢測時，人工檢測容易受個體主觀因素的影響，不同的操作者可能會有不同的判斷標準，導致結果不一致，且人工檢測需要耗費大量人力和時間，尤其在大批量生產(chǎn)的情況下，效率較低，從而導致降低了對半導體晶元檢測的檢測效率。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，包括機身和機臺，所述機臺固定安裝在機?身的內(nèi)側(cè)，所述機臺上設置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設置有堆疊待檢測的?晶圓片，升降供料倉一側(cè)設置有二軸定位平臺，二軸定位平臺上方設置有三軸?機械手，三軸機械手的一側(cè)設置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構一側(cè)設置四軸取料機械手，四軸取料機械手一側(cè)設置有收料機構。

2、優(yōu)選的，升降供料倉包括與機臺固定連接的底盤，所述底盤上滑動連接有多個導柱，多個所述導柱的頂端固定連接有升降倉，多個所述導柱之間設置有絲桿，所述絲桿頂端驅(qū)動連接升降倉，多個所述導柱及絲桿底端連接有升降電機，當升降電機啟動時，通過絲桿驅(qū)動升降倉做上下升降。

3、優(yōu)選的，二軸定位平臺包括一對平行設置的第一x軸直線模組，所述第一x軸直線模組上橫跨連接有第一y軸直線模組，所述第一y軸直線模組上設置有定位臺，所述定位臺一側(cè)安裝有x軸氣缸，所述x軸氣缸驅(qū)動一夾子氣缸沿x?軸方向運動，所述定位臺另一側(cè)設置有晶圓片固定位，所述定位臺下方設置有上頂氣缸。

4、優(yōu)選的，三軸機械手包括與機臺固定連接的龍門支架，所述龍門支架上設置有第二y軸直線模組，所述第二y軸直線模組上設置有第二z軸直線模組，所述第二z軸直線模組上安裝有升降支架，所述升降支架上安裝有ccd相機，所述ccd相機一側(cè)安裝有第一旋轉(zhuǎn)電機，所述第一旋轉(zhuǎn)電機通過皮帶傳動連接一真空吸嘴。

5、優(yōu)選的，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構包括轉(zhuǎn)動設置在機臺的玻璃轉(zhuǎn)盤，玻璃轉(zhuǎn)盤周側(cè)設置有多個ccd相機檢測單元。

6、優(yōu)選的，收料機構包括一輸送帶，所述輸送帶上放置有多個產(chǎn)品載盤托板，所述產(chǎn)品載盤托板的四周具有導孔，所述輸送帶的上方在產(chǎn)品載盤托板的兩側(cè)?設置導向擋邊，所述輸送帶的下方安裝有一升降托臺，所述升降托臺一側(cè)設置?有阻擋氣缸，所述阻擋氣缸驅(qū)動一擋輪轉(zhuǎn)動對產(chǎn)品載盤托板的運動進行阻擋。

7、優(yōu)選的，軸取料機械手一側(cè)設置二次ccd定位相機。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的優(yōu)點和積極效果在于：

8、1、本發(fā)明中，四軸取料機械手從玻璃轉(zhuǎn)盤上吸取檢測完畢的良品料，并放置到二次ccd定位相機的上方進行拍照，讀取其位置及角度，隨后四軸機械手控制調(diào)整其角度并放置到收料機構上的載盤內(nèi)。

9、2、本發(fā)明中，四個定位柱再次伸入到上方的產(chǎn)品載盤托板內(nèi)進行定位，并?再次將載盤裝滿，如此進行循環(huán)，將檢測后的良品進行包裝裝盤，方便后續(xù)操?作，通過上述對半導體晶元的自動化檢測工作，一定程度上提高了對半導體晶元檢測的效率。

技術特征：

1.一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，包括機身（1）和機臺（2），其特征在于，所述機臺（2）固定安裝在機身（1）的內(nèi)側(cè)，所述機臺（2）上設置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設置有堆疊待檢測的晶圓片（8），升降供料倉一側(cè)設置有二軸定位平臺，二軸定位平臺上方設置有三軸機械手，三軸機械手的一側(cè)設置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構一側(cè)設置四軸取料機械手，四軸取料機械手一側(cè)設置有收料機構。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：升降供料倉包括與機臺（2）固定連接的底盤（6），所述底盤（6）上滑動連接有多個導柱（5），多個所述導柱（5）的頂端固定連接有升降倉（7），多個所述導柱（5）之間設置有絲桿（4），所述絲桿（4）頂端驅(qū)動連接升降倉（7），多個所述導柱（5）及絲桿（4）底端連接有升降電機（3），當升降電機（3）啟動時，通過絲桿（4）驅(qū)動升降倉（7）做上下升降。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：二軸定位平臺包括一對平行設置的第一x軸直線模組（10），所述第一x軸直線模組（10）上橫跨連接有第一y軸直線模組（11），所述第一y軸直線模組（11）上設置有定位臺，所述定位臺一側(cè)安裝有x軸氣缸（9），所述x軸氣缸（9）驅(qū)動一夾子氣缸（13）沿ｘ軸方向運動，所述定位臺另一側(cè)設置有晶圓片（8）固定位，所述定位臺下方設置有上頂氣缸（12）。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：三軸機械手包括與機臺（2）固定連接的龍門支架（14），所述龍門支架（14）上設置有第二y軸直線模組（15），所述第二y軸直線模組（15）上設置有第二z軸直線模組（16），所述第二z軸直線模組（16）上安裝有升降支架（18），所述升降支架（18）上安裝有ccd相機（17），所述ccd相機（17）一側(cè)安裝有第一旋轉(zhuǎn)電機（19），所述第一旋轉(zhuǎn)電機（19）通過皮帶傳動連接一真空吸嘴（20）。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構包括轉(zhuǎn)動設置在機臺（2）的玻璃轉(zhuǎn)盤，玻璃轉(zhuǎn)盤周側(cè)設置有多個ccd相機（17）檢測單元。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：收料機構包括一輸送帶（22），所述輸送帶（22）上放置有多個產(chǎn)品載盤托板（21），所述產(chǎn)品載盤托板（21）的四周具有導孔，所述輸送帶（22）的上方在產(chǎn)品載盤托板（21）的兩側(cè)設置導向擋邊，所述輸送帶（22）的下方安裝有一升降托臺（23），所述升降托臺（23）一側(cè)設置有阻擋氣缸，所述阻擋氣缸驅(qū)動一擋輪轉(zhuǎn)動對產(chǎn)品載盤托板（21）的運動進行阻擋。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種用于半導體晶元的ccd水平式自動檢測設備，其特征在于：軸取料機械手一側(cè)設置二次ccd定位相機。

技術總結
本發(fā)明提供一種用于半導體晶元的CCD水平式自動檢測設備，涉及半導體晶元檢測技術領域，包括機身和機臺，所述機臺固定安裝在機身的內(nèi)側(cè)，所述機臺上設置有升降供料倉，升降供料倉內(nèi)設置有堆疊待檢測的晶圓片，升降供料倉一側(cè)設置有二軸定位平臺，二軸定位平臺上方設置有三軸機械手，三軸機械手的一側(cè)設置有玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構，玻璃轉(zhuǎn)盤檢測機構一側(cè)設置四軸取料機械手，四軸取料機械手一側(cè)設置有收料機構。本發(fā)明中四個定位柱再次伸入到上方的產(chǎn)品載盤托板內(nèi)進行定位，并再次將載盤裝滿，如此進行循環(huán)，將檢測后的良品進行包裝裝盤，方便后續(xù)操作，通過上述對半導體晶元的自動化檢測工作，一定程度上提高了對半導體晶元檢測的效率。

技術研發(fā)人員：盧運保
受保護的技術使用者：東莞市瑞科智能科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/10/21