一種機(jī)械掃描裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，即注入機(jī)，特別地，涉及一種用于離子注入機(jī)機(jī)械掃描裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，機(jī)械掃描能否穩(wěn)定對(duì)于離子注入系統(tǒng)愈發(fā)重要，對(duì)注入產(chǎn)品的質(zhì)量和離子注入機(jī)的產(chǎn)業(yè)化有著很大的影響。如果離子注入機(jī)引出束流能量很低時(shí)，特別是大束流、傳輸路徑長(zhǎng)的場(chǎng)合，由于空間電荷效應(yīng)的影響，離子束發(fā)散嚴(yán)重，其傳輸效率極低，使得最后到達(dá)注入晶片的束流小，束品質(zhì)差，不能滿足注入工藝要求；機(jī)械掃描裝置對(duì)于超低能大束流離子束的傳輸有著特殊的意義。
[0003]機(jī)械掃描裝置的精準(zhǔn)度是最終得到高品質(zhì)產(chǎn)品的基礎(chǔ)，已然成為離子注入機(jī)向前發(fā)展的必要因素。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械掃描裝置，可用于離子注入機(jī)系統(tǒng)；其運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定，對(duì)束流掃描精準(zhǔn)，良好的控制上下運(yùn)動(dòng)，從而使靶臺(tái)接到的束流質(zhì)量最為良好。
[0005]本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0006]1.一種束流檢測(cè)及分析裝置，包括:轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)、側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其特征在于:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)氣浮軸上下運(yùn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械掃描束流。
[0007]2.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)包括一個(gè)伺服電機(jī)及一個(gè)諧波減速組件，一個(gè)角度限制塊，保證電極平穩(wěn)的運(yùn)行，旋轉(zhuǎn)角度不會(huì)超過(guò)極限位置。
[0008]3.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)通過(guò)電機(jī)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)氣浮軸運(yùn)動(dòng)。
[0009]4.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置,氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結(jié)構(gòu)組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，也起到導(dǎo)向的作用。
[0010]5.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過(guò)沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。
[0011]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0012]1.噪音小，干凈無(wú)污染。
[0013]2.功能可靠，穩(wěn)定性好。
[0014]3.易于控制，不需經(jīng)常維護(hù)和更換。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1機(jī)械掃描裝置總結(jié)構(gòu)圖
[0016]圖2氣浮墊模塊結(jié)構(gòu)圖
[0017]圖3旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)圖
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖1、附圖2和附圖3對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0019]參見(jiàn)圖1、圖2和圖3，一種機(jī)械掃描裝置分四部分，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)、側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)。其中旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)帶動(dòng)側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)運(yùn)動(dòng)，從而使氣浮軸模塊(4)上下穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，而氣浮墊模塊(3)保證軸承穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，也起到導(dǎo)向的作用。
[0020]在該實(shí)施方式中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)由一個(gè)伺服電機(jī)和一個(gè)諧波減速器主要部件構(gòu)成，電機(jī)為驅(qū)動(dòng)部件，來(lái)驅(qū)動(dòng)側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，采用諧波減速器是為了更好地保障側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。
[0021]在該實(shí)施方式中，氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結(jié)構(gòu)組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，也起到導(dǎo)向的作用。
[0022]在該實(shí)施方式中，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過(guò)沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。
[0023]本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種機(jī)械掃描裝置，包括:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)、側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其特征在于:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)氣浮軸上下運(yùn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)機(jī)械掃描束流。2.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(I)包括一個(gè)伺服電機(jī)及一個(gè)諧波減速組件，一個(gè)角度限制塊，保證電極平穩(wěn)的運(yùn)行，旋轉(zhuǎn)角度不會(huì)超過(guò)極限位置。3.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)通過(guò)電機(jī)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)氣浮軸運(yùn)動(dòng)。4.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，氣浮墊模塊(3)由一氣浮墊及其安裝結(jié)構(gòu)組成，其特征在于可保證軸承穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，也起到導(dǎo)向的作用。5.如權(quán)利要求1所述的一種機(jī)械掃描裝置，氣浮軸模塊(4)由氣浮軸承及其氣浮軸套，其特征在于:氣浮軸套通過(guò)沖氣保證其本身在軸承上平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)械掃描裝置，包括：旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(1)、側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)、氣浮墊模塊(3)、氣浮軸模塊(4)，其中旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(1)驅(qū)動(dòng)側(cè)向調(diào)節(jié)連桿機(jī)構(gòu)(2)帶動(dòng)氣浮軸模塊(4)上下運(yùn)動(dòng)，其中氣浮墊模塊(3)在其中起導(dǎo)向作用。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
【IPC分類】H01J37/317, H01J37/20
【公開(kāi)號(hào)】CN105097395
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410209360
【發(fā)明人】梁旭
【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2014年5月19日