用于晶圓盒的氣體傳遞裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于晶圓盒的氣體傳遞裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有晶圓盒用以放置多個(gè)晶圓，且可于半導(dǎo)體制造過程間傳輸。現(xiàn)有晶圓盒可為前開式標(biāo)準(zhǔn)盒(Front Opening Unified Pod, F0UP)。在現(xiàn)有晶圓盒內(nèi)必須維持潔凈度，以避免在現(xiàn)有晶圓盒內(nèi)的晶圓受到污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決上述問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于晶圓盒的氣體傳遞裝置。
[0004]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為:在一實(shí)施例中，該氣體傳遞裝置包括一多孔性管壁、一氣體輸入口及一晶圓側(cè)。該多孔性管壁具有一中空通道。該氣體輸入口連通該中空通道，以輸入氣體至該中空通道。該晶圓側(cè)設(shè)置于該多孔性管壁的一外側(cè)面，朝向該晶圓盒內(nèi)的晶圓，該晶圓側(cè)的該多孔性管壁的管壁厚度小于該多孔性管壁的其他管壁的厚度。
[0005]優(yōu)選地，所述用于晶圓盒的氣體傳遞裝置還包括多個(gè)凹槽，所述凹槽設(shè)置于該晶圓側(cè)，所述凹槽間隔設(shè)置，且設(shè)置于晶圓間的空隙的相對(duì)位置。
[0006]優(yōu)選地，所述凹槽為三角形、半圓形、方形或弧形。
[0007]優(yōu)選地，所述多孔性管壁呈圓柱狀，該晶圓側(cè)為一平面。
[0008]優(yōu)選地，所述多孔性管壁呈四邊形，該晶圓側(cè)為該四邊形的一側(cè)面。
[0009]優(yōu)選地，所述中空通道為四邊形。
[0010]優(yōu)選地，所述多孔性管壁呈方形，該晶圓側(cè)為該方形的一側(cè)面。
[0011]優(yōu)選地，所述中空通道為圓形。
[0012]優(yōu)選地，所述多孔性管壁具有一封閉端。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果在于:利用本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置，該晶圓側(cè)輸出的氣體大于該多孔性管壁的其他外側(cè)面，使得較多的氣體能傳遞至晶圓，有效地將該晶圓盒內(nèi)的雜質(zhì)或微粒(particle)排出該晶圓盒外。且在相同的輸入氣體條件下，能使較多的氣體由該晶圓側(cè)傳遞至晶圓，可提高氣體的使用效率。
【附圖說明】
[0014]圖1顯不本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置應(yīng)用于晶圓盒的一實(shí)施例的不意圖；
[0015]圖2顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的立體示意圖；
[0016]圖3顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖；
[0017]圖4顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的沿圖3的A-A剖面線的剖面示意圖；
[0018]圖5顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖；
[0019]圖6顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖。
[0020]主要部件符號(hào)說明:
[0021]10氣體傳遞裝置
[0022]11多孔性管壁
[0023]12氣體輸入口
[0024]13晶圓側(cè)
[0025]20氣體傳遞裝置
[0026]21多孔性管壁
[0027]23晶圓側(cè)
[0028]30氣體傳遞裝置
[0029]31多孔性管壁
[0030]33晶圓側(cè)
[0031]60晶圓盒
[0032]61前開口
[0033]63排氣口
[0034]71、72晶圓
[0035]111中空通道
[0036]112內(nèi)側(cè)面
[0037]113外側(cè)面
[0038]114封閉端
[0039]131、132凹槽
[0040]211中空通道
[0041]213外側(cè)面
[0042]311中空通道
[0043]313外側(cè)面。
【具體實(shí)施方式】
[0044]圖1顯不本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置應(yīng)用于晶圓盒的一實(shí)施例的不意圖；圖2顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的立體示意圖；圖3顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖；圖4顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的沿圖3的A-A剖面線的剖面示意圖。配合參考圖1至圖4，在一實(shí)施例中，本實(shí)用新型的該氣體傳遞裝置10可設(shè)置于一晶圓盒60內(nèi)。該晶圓盒60可為前開式標(biāo)準(zhǔn)盒(Front Opening UnifiedPod, FOUP)。在其他實(shí)施例中，該晶圓盒可為包覆及容置該前開式標(biāo)準(zhǔn)盒的晶圓傳遞盒。
[0045]該晶圓盒60具有一前開口 61，以容置晶圓71、72于該晶圓盒60內(nèi)。至少一氣體傳遞裝置10設(shè)置于該晶圓盒60的內(nèi)側(cè)，在一實(shí)施例中，兩氣體傳遞裝置10分別設(shè)置于該晶圓盒60的兩內(nèi)側(cè)的角落。
[0046]該氣體傳遞裝置10包括一多孔性管壁11、一氣體輸入口 12及一晶圓側(cè)13。該多孔性管壁11具有一中空通道111。該多孔性管壁11還包括一內(nèi)側(cè)面112及一外側(cè)面113，該內(nèi)側(cè)面112形成該中空通道111，在一實(shí)施例中，該中空通道111為圓形，且該多孔性管壁11呈圓柱狀。
[0047]該氣體輸入口 12連通該中空通道111，以輸入氣體至該中空通道111。該氣體輸入口 12位于該多孔性管壁11的一端，該多孔性管壁11的另一端為一封閉端114。在一實(shí)施例中，該氣體輸入口 12設(shè)置于該多孔性管壁11的底部，且該氣體輸入口 12連接至一管路，以輸入氣體，例如:氮?dú)狻?br>[0048]該晶圓側(cè)13設(shè)置于該多孔性管壁11的該外側(cè)面113，朝向該晶圓盒60內(nèi)的晶圓71、72。該晶圓側(cè)13的該多孔性管壁11的管壁厚度T1小于該多孔性管壁11的其他管壁的厚度T2。在一實(shí)施例中，該晶圓側(cè)13為一平面。該晶圓側(cè)13還包括多個(gè)凹槽131、132，所述凹槽131、132間隔設(shè)置，且設(shè)置于晶圓71、72間的空隙的相對(duì)位置。所述凹槽131、132可為三角形、半圓形、方形或弧形等形狀，且橫向設(shè)置于該晶圓側(cè)13。
[0049]該多孔性管壁11具有多個(gè)微孔洞(圖中未示出)，貫穿該多孔性管壁11的該內(nèi)側(cè)面112及該外側(cè)面113，使得該氣體輸入口 12輸入的氣體可由該中空通道111經(jīng)由所述微孔洞，傳遞至該多孔性管壁11的該外側(cè)面113及該晶圓側(cè)13，且由該多孔性管壁11的該外側(cè)面113及該晶圓側(cè)13輸出氣體至該晶圓盒60內(nèi)。在一實(shí)施例中，該多孔性管壁11可為陶瓷或玻璃燒結(jié)而成，所述微孔洞的孔徑可為lnm至10 μπι。
[0050]因該晶圓側(cè)13的該多孔性管壁11的管壁厚度Τ1小于該多孔性管壁11的其他管壁的厚度Τ2，故該晶圓側(cè)13輸出的氣體大于該多孔性管壁11的其他外側(cè)面113，使得較多的氣體能傳遞至晶圓71、72，有效地將該晶圓盒60內(nèi)的雜質(zhì)或微粒(particle)經(jīng)由排氣口63或前開口 61排出該晶圓盒60外。
[0051]由于設(shè)置所述凹槽131、132于該晶圓側(cè)13，在所述凹槽131、132的該多孔性管壁11的管壁厚度T3小于該晶圓側(cè)13的該多孔性管壁11的管壁厚度T1，故所述凹槽131、132輸出的氣體大于該晶圓側(cè)13其他部分輸出的氣體，使得較多的氣體能傳遞至晶圓71、72之間，有效地將晶圓71、72間或該晶圓盒60內(nèi)的雜質(zhì)或微粒經(jīng)由排氣口 63或前開口 61排出該晶圓盒60外。
[0052]利用本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置，在相同的輸入氣體條件下，能使較多的氣體由該晶圓側(cè)13傳遞至晶圓71、72，可提高氣體的使用效率，且可有效地將該晶圓盒60內(nèi)的雜質(zhì)或微粒排出。
[0053]參考圖5，其顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖。該氣體傳遞裝置20的該多孔性管壁21呈四邊形，該晶圓側(cè)23為該四邊形的一側(cè)面，且該中空通道211為四邊形。該晶圓側(cè)23的該多孔性管壁21的管壁厚度小于該多孔性管壁21的其他管壁的厚度，使得該晶圓側(cè)23輸出的氣體大于該多孔性管壁21的其他外側(cè)面213，較多的氣體能傳遞至晶圓，有效地將該晶圓盒內(nèi)的雜質(zhì)或微粒排出該晶圓盒外。且在相同的輸入氣體條件下，能使較多的氣體由該晶圓側(cè)傳遞至晶圓，可提高氣體的使用效率。
[0054]參考圖6，其顯示本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置一實(shí)施例的俯視示意圖。該氣體傳遞裝置30的該多孔性管壁31呈方形，該晶圓側(cè)33為該方形的一側(cè)面，且該中空通道311為圓形，該中空通道311亦可為方形或其他形狀。該晶圓側(cè)33的該多孔性管壁31的管壁厚度小于該多孔性管壁31的其他管壁的厚度，使得該晶圓側(cè)33輸出的氣體大于該多孔性管壁31的其他外側(cè)面313，較多的氣體能傳遞至晶圓，有效地將該晶圓盒內(nèi)的雜質(zhì)或微粒排出該晶圓盒外。且在相同的輸入氣體條件下，能使較多的氣體由該晶圓側(cè)傳遞至晶圓，可提高氣體的使用效率。
[0055]上述實(shí)施例僅為說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非限制本實(shí)用新型。本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)上述實(shí)施例所做的修改及變化仍不違背本實(shí)用新型的精神。本實(shí)用新型的權(quán)利范圍應(yīng)如所附的權(quán)利要求書的范圍所列。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述用于晶圓盒的氣體傳遞裝置包括: 一多孔性管壁，所述多孔性管壁具有一中空通道； 一氣體輸入口，所述氣體輸入口連通該中空通道，以輸入氣體至該中空通道； 一晶圓側(cè)，所述晶圓側(cè)設(shè)置于該多孔性管壁的一外側(cè)面，朝向該晶圓盒內(nèi)的晶圓，該晶圓側(cè)的該多孔性管壁的管壁厚度小于該多孔性管壁的其他管壁的厚度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述用于晶圓盒的氣體傳遞裝置還包括多個(gè)凹槽，所述凹槽設(shè)置于該晶圓側(cè)，所述凹槽間隔設(shè)置，且設(shè)置于晶圓間的空隙的相對(duì)位置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述凹槽為三角形、半圓形、方形或弧形。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述多孔性管壁呈圓柱狀，該晶圓側(cè)為一平面。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述多孔性管壁呈四邊形，該晶圓側(cè)為該四邊形的一側(cè)面。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述中空通道為四邊形。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述多孔性管壁呈方形，該晶圓側(cè)為該方形的一側(cè)面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述中空通道為圓形。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓盒的氣體傳遞裝置，其特征在于:所述多孔性管壁具有一封閉端。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于晶圓盒的氣體傳遞裝置。在一實(shí)施例中，該氣體傳遞裝置包括一多孔性管壁、一氣體輸入口及一晶圓側(cè)。該多孔性管壁具有一中空通道。該氣體輸入口連通該中空通道，以輸入氣體至該中空通道。該晶圓側(cè)設(shè)置于該多孔性管壁的一外側(cè)面，朝向該晶圓盒內(nèi)的晶圓，該晶圓側(cè)的該多孔性管壁的管壁厚度小于該多孔性管壁的其他管壁的厚度。利用本實(shí)用新型的氣體傳遞裝置，該晶圓側(cè)輸出的氣體大于該多孔性管壁的其他外側(cè)面，使得較多的氣體能傳遞至晶圓，有效地將該晶圓盒內(nèi)的雜質(zhì)或微粒排出該晶圓盒外。且在相同的輸入氣體條件下，能使較多的氣體由該晶圓側(cè)傳遞至晶圓，可提高氣體的使用效率。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號(hào)】CN205122549
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520778228
【發(fā)明人】楊豐文
【申請(qǐng)人】楊豐文
【公開日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月9日