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電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法以及電子設(shè)備的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10653098

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作為電子設(shè)備,已知例如通過被稱為DMD(數(shù)字微鏡器件)的電光學(xué)裝置的多個反射鏡(微鏡)將光源射出的光調(diào)制后,通過利用投射光學(xué)系統(tǒng)將調(diào)制光放大投射,在熒幕上顯示圖像的投射型顯示裝置等。如圖18所示,用于這種投射型顯示裝置等的電光學(xué)裝置例如,包括一個面Is上設(shè)置有反射鏡50的元件基板1、在俯視圖上以包圍反射鏡50的方式與元件基板I的一個面Is側(cè)粘接的間隔部件28、被間隔部件28的與元件基板I相反的相反側(cè)的端部支撐的板狀的透光性蓋29。而且,電光學(xué)裝置具有例如由...
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