技術(shù)編號(hào):10727477
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在最近的一個(gè)世紀(jì)上,帶電粒子顯微鏡(CPM)的發(fā)展已經(jīng)導(dǎo)致在遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于可在光學(xué)顯微鏡中實(shí)現(xiàn)的放大率下的自然現(xiàn)象的觀察。基本電子顯微鏡已經(jīng)發(fā)展成幾種類別的設(shè)備例如透射電子顯微鏡(TEM)、掃描電子顯微鏡(SEM)和掃描透射電子顯微鏡(STEM),并且也發(fā)展成組合顯微鏡與“機(jī)器加工”聚焦離子束(FIB)的各種亞種,例如所謂的“雙波束”工具(例如FIB-SEM),其允許例如支持性活動(dòng),例如離子束銑削或離子束誘導(dǎo)沉積(IBID)。在SEM的操作中,由掃描電子束對(duì)樣品...
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