技術(shù)編號：39677674
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及超聲換能器，具體為一種具有高k絕緣層增強結(jié)構(gòu)的cmut及其工藝。背景技術(shù)、超聲換能器元件及傳感器是實現(xiàn)生物組織成像、設(shè)備結(jié)構(gòu)健康檢測的核心元器件，廣泛應(yīng)用于臨床醫(yī)學(xué)診療、重大裝備無損檢測等領(lǐng)域。傳統(tǒng)超聲換能器存在體積大、帶寬窄、二維陣列制備困難、不易與集成電路(integrated?circuit，ic)集成等問題，難以滿足航空航天重大裝備健康檢測、個性化超聲診療等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Τ晸Q能器微型化和集成化的需求?；谖C電系統(tǒng)(micro?electromechanical?system，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。