技術(shù)編號(hào)：39678986
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)(micro?electromechanical?system，mems)器件及其制造方法。背景技術(shù)、基于mems技術(shù)制作的慣性傳感器由于其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、與微電子制作工藝兼容性好、可大批量制造等優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛使用。但是，慣性傳感器的尺寸是當(dāng)前mems器件制造的挑戰(zhàn)。在一些情況下，由于可移動(dòng)結(jié)構(gòu)的接觸面積減小，慣性傳感器的性能隨著慣性傳感器的尺寸減小而降低。、因此，目前急需在提高慣性傳感器的精度的同時(shí)減小慣性傳感器的尺寸和制造成本。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。