技術(shù)編號：39728625
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微等離子體超快開關(guān)，具體為一種功函數(shù)調(diào)制超快等離子體組件、制備及調(diào)控方法。背景技術(shù)、隨著超緊湊型高功率太赫茲源的設(shè)計(jì)需求，等離子體超快開關(guān)的尺寸逐漸縮小到微納量級，逼近掃描投影式光刻機(jī)的極限工作精度，器件工作壽命受限于電極兩端電壓工作閾值，微納等離子體超快器件急需更低電極兩端工作電壓、更長工作壽命的調(diào)制與制備方法。、微納等離子體超快器件通常由平面微納加工工藝蝕刻出平面金屬電極或由微機(jī)電系統(tǒng)(mems)方法制作出平面(垂直)電極，當(dāng)器件電極兩端電壓達(dá)到工作閾值時(shí)，器件自啟動，在極短的...
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該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。