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源極側(cè)邊植入硼以減少溝道摻雜的深次0.18微米閃存單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6902558

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本發(fā)明涉及制作例如EEPROM等快閃存儲元件的改進(jìn)方法。更確切地說,本發(fā)明涉及具有不同植入的源極與漏極摻雜以及具有較低的溝道摻雜的非揮發(fā)性快閃存儲元件,以增進(jìn)執(zhí)行速度并將該快閃存儲單元的短溝道效應(yīng)減至最低。背景技術(shù) 半導(dǎo)體組件一般包括在一底材之上或之中形成多重個(gè)別部件。這些組件通常包含一高密度區(qū)塊及一低密度區(qū)塊。舉例而言,如圖1a所示的已有技術(shù),諸如閃存10的存儲元件在單一底材13上由一個(gè)或多個(gè)高密度核心區(qū)域11及一低密度外圍部份12所構(gòu)成。該高密度核心區(qū)...
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