技術編號：9725835
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。現(xiàn)有的MEMS陀螺儀，主要采用石英音叉式結構，其對稱性較差，品質因數低，且存在輸入輸出軸之間的交叉耦合現(xiàn)象，精度很難提高。并且石英材料加工困難，批量化生產存在一定的難度。發(fā)明內容針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明由解決的主要問題是提供一種高對稱性、高品質因數、高精度、易于批量化生產的MEMS陀螺儀。該陀螺儀基于軸對稱結構諧振原理，提高了器件的軸對稱性，減小了頻率分裂;同時采用高品質因數的金剛石材料作為諧振子材料，提高了器件的品質因數，從而提高了器件的精度;在加工工...
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