專利名稱：多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，尤其涉及一種適用于激光刻膜機(jī)中的精密多級(jí)等能量分光系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
非晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)流程中，涉及底層電極、中間光伏效應(yīng)層和表面歐姆接觸電極層的薄膜沉積，以及各個(gè)膜層的刻蝕，激光刻蝕技術(shù)相比傳統(tǒng)的掩膜法具有更高的生產(chǎn)效率以及穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量，已較好地應(yīng)用于太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝流程中。目前，為了提高激光刻膜機(jī)的生產(chǎn)效率，通常采用幾套激光刻蝕系統(tǒng)進(jìn)行刻蝕。這些激光刻蝕系統(tǒng)可以采用幾套激光頭進(jìn)行刻蝕，也可采用一激光頭分多路激光進(jìn)行刻蝕。 同時(shí)用幾套激光頭進(jìn)行刻蝕操作簡(jiǎn)單，但成本很高；而采用一套激光頭進(jìn)行分光，激光分光系統(tǒng)一般是在激光總光路進(jìn)行一次擴(kuò)束，然后進(jìn)行光學(xué)分光，由于分光鏡片精度不一，分光之后每路輸出功率不一樣，只能在聚焦加工前面加不同通光孔直徑的光闌進(jìn)行功率調(diào)整， 實(shí)現(xiàn)功率一樣。由于使用不同的通孔孔直徑的光纜，這樣在調(diào)整時(shí)很不方便，且由于光斑大小不一，使刻線也大小不一最終影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、布局緊湊合理、調(diào)整快速精確，且分光誤差小的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)來(lái)克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、布局緊湊合理、調(diào)整快速精確，且分光誤差小的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，適用于激光刻膜機(jī)中對(duì)激光頭發(fā)出的激光進(jìn)行分光，其包括激光頭、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、全反系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、至少兩第二擴(kuò)束系統(tǒng)及至少兩光闌，所述光闌設(shè)置于一條直線上，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)與所述光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述分光系統(tǒng)間隔地與所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述全反系統(tǒng)與其余的所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且所述全反系統(tǒng)與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)，所述激光頭的出射端與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的入光端相對(duì)應(yīng)，所述激光頭發(fā)出的激光經(jīng)所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后進(jìn)入所述分光系統(tǒng)，所述激光經(jīng)所述分光系統(tǒng)分光后，一部分進(jìn)入與之相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)，另一部分經(jīng)所述全反系統(tǒng)后進(jìn)入與所述全反射系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)。較佳地，所述光闌包括呈直線排列的第一光闌、第二光闌、第三光闌、第四光闌、第五光闌、第六光闌、第七光闌及第八光闌，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)與所述第一、第二、第三、第四、 第五、第六、第七、第八光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，經(jīng)所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后的激光，經(jīng)所述分光系統(tǒng)及所述全反系統(tǒng)后分別對(duì)應(yīng)進(jìn)入所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)，經(jīng)所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后的激光分別對(duì)應(yīng)進(jìn)入所述光闌。
較佳地，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)包括第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)及第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)分別與所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。較佳地，所述分光系統(tǒng)包括第一分光機(jī)構(gòu)、第二分光機(jī)構(gòu)、第三分光機(jī)構(gòu)、第四分光機(jī)構(gòu)、第五分光機(jī)構(gòu)、第六分光機(jī)構(gòu)及第七分光機(jī)構(gòu)，所述第一分光機(jī)構(gòu)、第二分光機(jī)構(gòu)及第三分光機(jī)構(gòu)依次呈直線排列，所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一光闌、第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)、第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第一光闌排列于一條直線上；所述第四分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第二分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第四分光機(jī)構(gòu)、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、 第三光闌排列于一條直線上；所述第五分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第五分光機(jī)構(gòu)、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第五光闌排列于一條直線上；所述第六分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第五分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且位于所述第五分光機(jī)構(gòu)與所述第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)之間；所述第七分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第七分光機(jī)構(gòu)、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第七光闌排列于一條直線上。較佳地，所述全反系統(tǒng)包括第一全反機(jī)構(gòu)、第二全反機(jī)構(gòu)、第三全反機(jī)構(gòu)及第四全反機(jī)構(gòu)，所述第一全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第一全反機(jī)構(gòu)、第七分光機(jī)構(gòu)、第五分光機(jī)構(gòu)、第一分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上；所述第二全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第六分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第二全反機(jī)構(gòu)、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第六光闌依次排列于一條直線上；所述第三全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第四分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第三全反機(jī)構(gòu)、第四分光機(jī)構(gòu)、第二分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上，所述第三全反機(jī)構(gòu)、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第四光闌依次排列于一條直線上；所述第四全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第三分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第四全反機(jī)構(gòu)、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第二光闌依次排列于一條直線上。較佳地，所述全反系統(tǒng)還包括第五全反機(jī)構(gòu)，所述第五全反機(jī)構(gòu)與所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上，且所述第五全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端。較佳地，所述全反系統(tǒng)還包括第六全反機(jī)構(gòu)及第七全反機(jī)構(gòu)，所述第六、第七全反機(jī)構(gòu)相對(duì)地設(shè)置于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的入光端，且與所述激光頭的出射端相對(duì)應(yīng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其包括激光頭、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、全反系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、第二擴(kuò)束系統(tǒng)及至少兩光闌，所述光闌設(shè)置于一條直線上，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)與所述光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述分光系統(tǒng)間隔地與所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述全反系統(tǒng)與其余的所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)，且所述全反系統(tǒng)與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)，所述激光頭的出射端與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的入光端相對(duì)應(yīng)，因此，工作時(shí)，所述激光頭發(fā)出的激光經(jīng)調(diào)整后進(jìn)入所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)，通過(guò)第一擴(kuò)束系統(tǒng)中心擴(kuò)束后出射，擴(kuò)束后的激光進(jìn)入所述分光系統(tǒng)，所述激光經(jīng)所述分光系統(tǒng)分光后，一部分進(jìn)入與分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)，另一部分經(jīng)所述全反系統(tǒng)反射后進(jìn)入與之相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)，這樣，分光后的每一路激光都進(jìn)入第二擴(kuò)束系統(tǒng)再次擴(kuò)束，再經(jīng)過(guò)與第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)的光闌出射，二次擴(kuò)束使獲得的每一路激光的能量和光斑都大小一致，分光誤差小，最終提高產(chǎn)品質(zhì)量；而采用一個(gè)激光頭進(jìn)行多次分光，調(diào)整快速簡(jiǎn)單、且精確穩(wěn)定，同時(shí)也使得該多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、布局緊湊合理。


圖1是本發(fā)明多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的使用狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號(hào)代表類似的元件。本發(fā)明所提供的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)適用于激光刻膜機(jī)中，對(duì)一個(gè)激光頭發(fā)出的激光進(jìn)行分光，并使分光之后的每一路激光輸出的功率均相同，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。如圖1、圖2所示，本發(fā)明多級(jí)等能量分光系統(tǒng)包括激光頭10、第一擴(kuò)束系統(tǒng)20、全反系統(tǒng)30、分光系統(tǒng)40、至少兩第二擴(kuò)束系統(tǒng)50及至少兩光闌60，所述光闌60設(shè)置于一條直線上，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50與所述光闌60 —一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述分光系統(tǒng)40間隔地與所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述全反系統(tǒng)30間隔地與其余的所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的出光端與所述分光系統(tǒng)40相對(duì)應(yīng)，所述激光頭10的出射端與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的入光端相對(duì)應(yīng)，所述激光頭10發(fā)出的激光經(jīng)所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20擴(kuò)束后進(jìn)入所述分光系統(tǒng)40，所述激光經(jīng)所述分光系統(tǒng)40分光后，一部分進(jìn)入與之相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)50，另一部分經(jīng)所述全反系統(tǒng)30后進(jìn)入與所述全反射系統(tǒng)30相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)50，進(jìn)入第二擴(kuò)束系統(tǒng)50的激光經(jīng)再次擴(kuò)束后出射到相對(duì)應(yīng)的光闌60 中。繼續(xù)結(jié)合圖1、圖2所示，所述光闌60包括呈直線排列的第一光闌61、第二光闌 62、第三光闌63、第四光闌64、第五光闌65、第六光闌66、第七光闌67及第八光闌68，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50包括第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)51、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)52、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)53、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu) M、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)55、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)56、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)57及第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)58，所述第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)51、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)52、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)53、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)M、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)55、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)56、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)57及第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)58分別與所述第一光闌61、第二光闌62、第三光闌63、第四光闌64、第五光闌65、第六光闌66、第七光闌67及第八光闌68 —一對(duì)應(yīng)設(shè)置。而所述全反系統(tǒng)30包括七套全反機(jī)構(gòu)，所述分光系統(tǒng)40也包括七套分光機(jī)構(gòu)；具體地，所述分光系統(tǒng)40包括第一分光機(jī)構(gòu)41、第二分光機(jī)構(gòu)42、第三分光機(jī)構(gòu)43、第四分光機(jī)構(gòu)44、第五分光機(jī)構(gòu)45、第六分光機(jī)構(gòu)46及第七分光機(jī)構(gòu)47，所述第一分光機(jī)構(gòu)41、第二分光機(jī)構(gòu)42及第三分光機(jī)構(gòu)43依次呈直線排列，且對(duì)應(yīng)所述第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)51、第一光闌61設(shè)置，因此，所述第一分光機(jī)構(gòu)41、第二分光機(jī)構(gòu)42、第三分光機(jī)構(gòu)43、第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu) 51、第一光闌61排列于一條直線上；所述第四分光機(jī)構(gòu)44對(duì)應(yīng)所述第二分光機(jī)構(gòu)42設(shè)置， 且所述第四分光機(jī)構(gòu)44、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)53、第三光闌63排列于一條直線上；所述第五分光機(jī)構(gòu)45對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)41設(shè)置，且所述第五分光機(jī)構(gòu)45、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)55、第五光闌65排列于一條直線上；所述第六分光機(jī)構(gòu)46對(duì)應(yīng)所述第五分光機(jī)構(gòu)45設(shè)置，且位于所述第五分光機(jī)構(gòu)45與所述第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)55之間；所述第七分光機(jī)構(gòu)47對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)41設(shè)置，且所述第七分光機(jī)構(gòu)47、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)57、第七光闌67排列于一條直線上。所述全反系統(tǒng)30則包括第一全反機(jī)構(gòu)31、第二全反機(jī)構(gòu)32、第三全反機(jī)構(gòu)33、第四全反機(jī)構(gòu)34、第五全反機(jī)構(gòu)35、第六全反機(jī)構(gòu)36及第七全反機(jī)構(gòu)37，所述第一全反機(jī)構(gòu) 31對(duì)應(yīng)所述第七分光機(jī)構(gòu)47設(shè)置，且所述第八光闌68、第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)58、第一全反機(jī)構(gòu)31 排列于一條直線上，且所述第一全反機(jī)構(gòu)31、第七分光機(jī)構(gòu)47、第五分光機(jī)構(gòu)45、第一分光機(jī)構(gòu)41也依次排列于一條直線上；所述第二全反機(jī)構(gòu)32對(duì)應(yīng)所述第六分光機(jī)構(gòu)46設(shè)置， 且第二全反機(jī)構(gòu)32、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)56、第六光闌66設(shè)置于一條直線上；所述第三全反機(jī)構(gòu) 33對(duì)應(yīng)所述第四分光機(jī)構(gòu)44設(shè)置，且與第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)M、第四光闌64位于一條直線上，且所述第三全反機(jī)構(gòu)33、第四分光機(jī)構(gòu)44、第二分光機(jī)構(gòu)42也依次排列于一條直線上；所述第四全反機(jī)構(gòu)34對(duì)應(yīng)所述第三分光機(jī)構(gòu)43設(shè)置，且第四全反機(jī)構(gòu)34、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)52、第二光闌62排列于一條直線上；所述第五全反機(jī)構(gòu)35與所述第一分光機(jī)構(gòu)41、第二分光機(jī)構(gòu)42、第三分光機(jī)構(gòu)43依次排列于一條直線上，且所述第五全反機(jī)構(gòu)35對(duì)應(yīng)于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的出光端；所述第六全反機(jī)構(gòu)36、第七全反機(jī)構(gòu)37相對(duì)地設(shè)置于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的入光端，所述第六全反機(jī)構(gòu)36與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的入光端相對(duì)應(yīng)，所述第七全反機(jī)構(gòu)37的一端與所述第六全反機(jī)構(gòu)36相對(duì)應(yīng)，第七全反機(jī)構(gòu)37的另一端與所述激光頭10的出射端相對(duì)應(yīng)。下面結(jié)合圖1、圖2對(duì)本發(fā)明多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的工作原理進(jìn)行說(shuō)明。激光頭10發(fā)出的激光經(jīng)第七全反機(jī)構(gòu)37、第六全反機(jī)構(gòu)36的調(diào)整后進(jìn)入第一擴(kuò)束系統(tǒng)20進(jìn)行擴(kuò)束處理，通過(guò)第一擴(kuò)束系統(tǒng)20中心擴(kuò)束后經(jīng)其出光端出射；擴(kuò)束后的激光經(jīng)第五全反機(jī)構(gòu)35的反射后進(jìn)入第一分光機(jī)構(gòu)41，第一分光機(jī)構(gòu)41將激光分為兩路，其中一路進(jìn)入第二分光機(jī)構(gòu)42，另一路進(jìn)入第五分光機(jī)構(gòu)45 ；第二分光機(jī)構(gòu)42再將激光分為兩路，其中一路進(jìn)入第三分光機(jī)構(gòu)43，另一路進(jìn)入第四分光機(jī)構(gòu)44 ；第三分光機(jī)構(gòu)43再將激光分為兩路，其中一路直接進(jìn)入第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)51，另一路則經(jīng)過(guò)第四全反機(jī)構(gòu)34后進(jìn)入第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)52 ；與此同時(shí)，進(jìn)入第四分光機(jī)構(gòu)44的激光也被分為兩路，其中一路直接進(jìn)入第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)53，另一路則經(jīng)過(guò)第三全反機(jī)構(gòu)33的反射后進(jìn)入第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)M ；而進(jìn)入第五分光機(jī)構(gòu)45的激光被分為兩路后，其中一路進(jìn)入第六分光機(jī)構(gòu)46，另一路則進(jìn)入第七分光機(jī)構(gòu)47 ；其中，第六分光機(jī)構(gòu)46將激光再次分為兩路，其中一路直接進(jìn)入第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu) 55,另一路則經(jīng)過(guò)第二全反機(jī)構(gòu)32的反射后進(jìn)入第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)56 ；而第七分光機(jī)構(gòu)47也將激光又一次地分為兩路，其中一路直接進(jìn)入第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)57，另一路則經(jīng)過(guò)第一全反機(jī)構(gòu)31的反射后進(jìn)入第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)58。接著，進(jìn)入第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)51、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)52、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)53、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)M、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)55、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)56、第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)57及第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)58的激光被再次擴(kuò)束，再經(jīng)與之相對(duì)應(yīng)的第一光闌61、第二光闌62、第三光闌 63、第四光闌64、第五光闌65、第六光闌66、第七光闌67及第八光闌68輸出，從而獲得八路能量和光斑大小一樣的激光，且每一路激光的能量、光斑大小的誤差均控制在2%以內(nèi)，用于激光刻蝕工藝中能提高產(chǎn)品質(zhì)量，且多級(jí)等能量分光系統(tǒng)調(diào)整快速精準(zhǔn)。由于本發(fā)明的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其包括激光頭10、第一擴(kuò)束系統(tǒng)20、全反系統(tǒng)30、分光系統(tǒng)40、第二擴(kuò)束系統(tǒng)50及至少兩光闌60，所述光闌60設(shè)置于一條直線上，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50與所述光闌60 —一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述分光系統(tǒng)40間隔地與所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述全反系統(tǒng)30與其余的所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)50相對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的出光端與所述分光系統(tǒng)40相對(duì)應(yīng)，所述激光頭10的出射端與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20的入光端相對(duì)應(yīng)，因此，工作時(shí)，所述激光頭10發(fā)出的激光經(jīng)調(diào)整后進(jìn)入所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)20，通過(guò)第一擴(kuò)束系統(tǒng)20中心擴(kuò)束后出射，擴(kuò)束后的激光進(jìn)入所述分光系統(tǒng) 40，所述激光經(jīng)所述分光系統(tǒng)40分光后，一部分進(jìn)入與分光系統(tǒng)40相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng) 50，另一部分經(jīng)所述全反系統(tǒng)30后進(jìn)入與所述全反射系統(tǒng)30相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)50，這樣，分光后的每一路激光都進(jìn)入第二擴(kuò)束系統(tǒng)50再次擴(kuò)束，再經(jīng)過(guò)與第二擴(kuò)束系統(tǒng)50相對(duì)應(yīng)的光闌60出射，從而使獲得的每一路激光的能量和光斑都大小一致，分光誤差小，最終提高激光刻蝕時(shí)的產(chǎn)品質(zhì)量；而采用一個(gè)激光頭10進(jìn)行多次分光，調(diào)整快速簡(jiǎn)單、且精確穩(wěn)定，同時(shí)也使得該多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、布局緊湊合理。本發(fā)明平多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的激光頭10、第一擴(kuò)束系統(tǒng)20、全反系統(tǒng)30、分光系統(tǒng)40、第二擴(kuò)束系統(tǒng)50及光闌60的結(jié)構(gòu)及工作原理等均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知， 在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，適用于激光刻膜機(jī)中對(duì)激光頭發(fā)出的激光進(jìn)行分光，其特征在于，包括至少兩光闌，所述光闌設(shè)置于一條直線上； 第二擴(kuò)束系統(tǒng)，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)與所述光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置； 分光系統(tǒng)，所述分光系統(tǒng)間隔地與所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置； 全反系統(tǒng)，所述全反系統(tǒng)與其余的所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且所述全反系統(tǒng)與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置；第一擴(kuò)束系統(tǒng)，所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端與所述分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)； 激光頭，所述激光頭的出射端與所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的入光端相對(duì)應(yīng)； 所述激光頭發(fā)出的激光經(jīng)所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后進(jìn)入所述分光系統(tǒng)，所述激光經(jīng)所述分光系統(tǒng)分光后，一部分進(jìn)入與之相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)，另一部分經(jīng)所述全反系統(tǒng)后進(jìn)入與所述全反射系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)的第二擴(kuò)束系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于，所述光闌包括呈直線排列的第一光闌、第二光闌、第三光闌、第四光闌、第五光闌、第六光闌、第七光目及第Λ光闌，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)與所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置， 經(jīng)所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后的激光，經(jīng)所述分光系統(tǒng)及所述全反系統(tǒng)后分別對(duì)應(yīng)進(jìn)入所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)，經(jīng)所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)擴(kuò)束后的激光分別對(duì)應(yīng)進(jìn)入所述光闌。
3.如權(quán)利要求2所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于，所述第二擴(kuò)束系統(tǒng)包括第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、 第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)及第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)分別與所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于，所述分光系統(tǒng)包括 依次呈直線排列的第一分光機(jī)構(gòu)、第二分光機(jī)構(gòu)及第三分光機(jī)構(gòu)，所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一光闌、第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)、第一擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第一光闌排列于一條直線上；第四分光機(jī)構(gòu)，所述第四分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第二分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第四分光機(jī)構(gòu)、 第三擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第三光闌排列于一條直線上；第五分光機(jī)構(gòu)，所述第五分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第五分光機(jī)構(gòu)、 第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第五光闌排列于一條直線上；第六分光機(jī)構(gòu)，所述第六分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第五分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且位于所述第五分光機(jī)構(gòu)與所述第五擴(kuò)束機(jī)構(gòu)之間；及第七分光機(jī)構(gòu)，所述第七分光機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第一分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第七分光機(jī)構(gòu)、 第七擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第七光闌排列于一條直線上。
5.如權(quán)利要求4所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于，所述全反系統(tǒng)包括 第一全反機(jī)構(gòu)，所述第一全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第八擴(kuò)束機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第一全反機(jī)構(gòu)、第七分光機(jī)構(gòu)、第五分光機(jī)構(gòu)、第一分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上；第二全反機(jī)構(gòu)，所述第二全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第六分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第二全反機(jī)構(gòu)、 第六擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第六光闌依次排列于一條直線上；第三全反機(jī)構(gòu)，所述第三全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第四分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第三全反機(jī)構(gòu)、第四分光機(jī)構(gòu)、第二分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上，所述第三全反機(jī)構(gòu)、第四擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、 第四光闌依次排列于一條直線上；及第四全反機(jī)構(gòu)，所述第四全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)所述第三分光機(jī)構(gòu)設(shè)置，且所述第四全反機(jī)構(gòu)、 第二擴(kuò)束機(jī)構(gòu)、第二光闌依次排列于一條直線上。
6.如權(quán)利要求5所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于所述全反系統(tǒng)還包括第五全反機(jī)構(gòu)，所述第五全反機(jī)構(gòu)與所述第一、第二、第三分光機(jī)構(gòu)依次排列于一條直線上，且所述第五全反機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端。
7.如權(quán)利要求6所述的多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，其特征在于所述全反系統(tǒng)還包括第六全反機(jī)構(gòu)及第七全反機(jī)構(gòu)，所述第六、第七全反機(jī)構(gòu)相對(duì)地設(shè)置于所述第一擴(kuò)束系統(tǒng)的入光端，且與所述激光頭的出射端相對(duì)應(yīng)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種多級(jí)等能量分光系統(tǒng)，包括激光頭、第一擴(kuò)束系統(tǒng)、全反系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、第二擴(kuò)束系統(tǒng)及至少兩光闌，光闌設(shè)置于一條直線上，第二擴(kuò)束系統(tǒng)與光闌一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，分光系統(tǒng)、全反系統(tǒng)相間隔地與第二擴(kuò)束系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)設(shè)置，且全反系統(tǒng)與分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)，第一擴(kuò)束系統(tǒng)的出光端與分光系統(tǒng)相對(duì)應(yīng)，入光端與激光頭相對(duì)應(yīng)，激光頭發(fā)出的激光經(jīng)第一擴(kuò)束系統(tǒng)中心擴(kuò)束后進(jìn)入分光系統(tǒng)，經(jīng)分光系統(tǒng)分光及全反系統(tǒng)的反射后，每一路激光都進(jìn)入第二擴(kuò)束系統(tǒng)再次擴(kuò)束，再經(jīng)光闌出射，二次擴(kuò)束使每一路激光的能量和光斑都大小一致，分光誤差小，提高產(chǎn)品質(zhì)量；采用一個(gè)激光頭進(jìn)行多次分光，調(diào)整快速簡(jiǎn)單、且精確穩(wěn)定，同時(shí)也使多級(jí)等能量分光系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、布局緊湊合理。
文檔編號(hào)G02B27/10GK102380712SQ20111033701
公開(kāi)日2012年3月21日 申請(qǐng)日期2011年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月31日
發(fā)明者葉健, 楊明生, 藍(lán)劾, 覃海 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司