1.一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,包括床體(1),所述床體(1)上部安裝有靜壓導向臺(2),且床體(1)上部安裝有z軸滑臺(3),所述靜壓導向臺(2)位于z軸滑臺(3)下方,其特征在于:所述靜壓導向臺(2)上部安裝有副臺,所述副臺上部固定連接有傾角調節(jié)機構(4),所述傾角調節(jié)機構(4)表面固定連接有b軸旋轉工作臺(5),所述b軸旋轉工作臺(5)位于z軸滑臺(3)下方,所述z軸滑臺(3)上部固定連接有形狀測量儀(8),所述形狀測量儀(8)位于b軸旋轉工作臺(5)上方,所述床體(1)表面固定連接有激光振蕩器(12),所述激光振蕩器(12)位于b軸旋轉工作臺(5)側面,所述床體(1)上部固定連接有控制機構(9),所述靜壓導向臺(2)表面安裝有電容式位移計(11),所述電容式位移計(11)位于副臺側面,所述副臺表面固定連接有光學直線發(fā)射器(13),所述b軸旋轉工作臺(5)用于對非球面工件進行固定,所述傾角調節(jié)機構(4)用于對b軸旋轉工作臺(5)的傾角進行調節(jié),所述電容式位移計(11)用于檢測副臺移動時的擺動距離,所述激光振蕩器(12)用于檢測對非球面工件在加工過程中非球面工件和b軸旋轉工作臺(5)的振動幅度,所述光學直線發(fā)射器(13)用于在副臺表面投射出光學直線,所述形狀測量儀(8)用于對加工過程中的非球面工件切削部位進行檢測,且形狀測量儀(8)對光學直線發(fā)射器(13)在副臺表面投射出光學直線與b軸旋轉工作臺(5)上部固定的非球面工件在豎直方向的角度進行檢測,所述控制機構(9)用于收集形狀測量儀(8)、電容式位移計(11)、激光振蕩器(12)和光學直線發(fā)射器(13)的檢測數(shù)據(jù),且控制機構(9)用于對收集的數(shù)據(jù)進行處理并發(fā)出控制指令。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述z軸滑臺(3)表面安裝有刀具定位裝置,所述刀具定位裝置位于刀具組件(6)側面。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述傾角調節(jié)機構(4)側面安裝有磨削砂輪機構(7),所述床體(1)上部固定連接有照明裝置(10)。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述控制機構(9)包括數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)、伺服驅動系統(tǒng)(902)、糾偏控制系統(tǒng)(903)和通信系統(tǒng)(904),所述數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)用于采集和處理形狀測量儀(8)、電容式位移計(11)、激光振蕩器(12)和光學直線發(fā)射器(13)的檢測數(shù)據(jù),且數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)對采集的數(shù)據(jù)進行分析并形成控制參數(shù)和可視化數(shù)據(jù),所述數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)包括控制模塊(908),所述控制模塊(908)根據(jù)控制參數(shù)對伺服驅動系統(tǒng)(902)進行控制,所述伺服驅動系統(tǒng)(902)用于控制靜壓導向臺(2)、z軸滑臺(3)、傾角調節(jié)機構(4)和b軸旋轉工作臺(5)的運動,所述糾偏控制系統(tǒng)(903)用于對伺服驅動系統(tǒng)(902)的運行結果與設定結果的誤差進行修正,所述通信系統(tǒng)(904)用于將運行數(shù)據(jù)傳遞至外部的數(shù)據(jù)中心。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)包括數(shù)據(jù)采集與處理模塊(905),所述數(shù)據(jù)采集與處理模塊(905)包括信號處理單元、實時數(shù)據(jù)采集與處理單元模塊和數(shù)據(jù)同步單元,所述信號處理單元用于對采集的數(shù)據(jù)進行濾波和放大,所述實時數(shù)據(jù)采集與處理單元模塊用于設定數(shù)據(jù)采集頻率并對采樣數(shù)據(jù)進行處理,所述數(shù)據(jù)同步單元用于將數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)的控制參數(shù)同步給糾偏控制系統(tǒng)(903)。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)包括數(shù)據(jù)分析模塊(906),所述數(shù)據(jù)分析模塊(906)包括實時分析單元和后期分析,所述實時分析單元用于分析采樣數(shù)據(jù)進行實時分析單元并生成控制參數(shù),所述后期分析用于對歷史數(shù)據(jù)進行趨勢分析,并根據(jù)趨勢分析對運行的故障進行預測。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)包括可視化與報警模塊模塊(907),所述可視化與報警模塊模塊(907)包括數(shù)據(jù)顯示單元和報警機制單元,所述數(shù)據(jù)顯示單元通過儀表盤對控制參數(shù)和趨勢分析數(shù)據(jù)進行顯示,所述報警機制單元是根據(jù)非球面工件的加工精度需求設定最大誤差的閾值,當實時非球面工件加工的過程中誤差超過設定的閾值時觸發(fā)報警。
8.根據(jù)權利要求7所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述伺服驅動系統(tǒng)(902)包括驅動控制模塊(909)和信號反饋模塊(910),所述驅動控制模塊(909)用于控制驅動設備的運行,所述信號反饋模塊(910)用于實時反饋驅動設備的位置、速度。
9.根據(jù)權利要求8所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述糾偏控制系統(tǒng)(903)包括驅動結果比較模塊(911)、控制算法模塊(912)和執(zhí)行模塊(913),所述驅動結果比較模塊(911)用于對數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)的控制參數(shù)與伺服驅動系統(tǒng)(902)的控制結果進行對比,所述控制算法模塊(912)根據(jù)對比結果進行計算,并生成糾偏參數(shù),所述執(zhí)行模塊(913)將糾偏參數(shù)傳遞給數(shù)據(jù)控制系統(tǒng)(901)。
10.根據(jù)權利要求4所述的一種用于磨削或切削表面形狀的cnc超精密非球面加工機床,其特征在于:所述通信系統(tǒng)(904)采用無線通信設備。