本技術(shù)涉及鍍膜機(jī)，具體為一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置。

背景技術(shù)：

1、鍍膜機(jī)的主要作用是在各種材料表面鍍覆金屬、合金、化學(xué)化合物、復(fù)合材料等薄膜，以增加耐磨、抗腐蝕、導(dǎo)電、光學(xué)等性能；利用磁控濺射方式沉積鍍膜是主流鍍膜技術(shù)之一，這種方式多數(shù)選用圓柱磁控濺射靶，因為圓柱磁控濺射靶工藝可調(diào)性高，靶材利用率高，最節(jié)約成本。磁場裝置是圓柱磁控濺射靶的核心機(jī)構(gòu)，它直接影響圓柱磁控濺射靶的使用性能，圓柱磁控濺射靶在使用過程中會產(chǎn)生高溫，高溫會使其使用過程中的磁鐵消磁，導(dǎo)致圓柱磁控濺射靶無法使用，因此需要向其中通入冷卻水，使其降溫。

2、傳統(tǒng)的磁場裝置分為兩種形式，一種形式將磁鐵與冷卻水直接接觸，磁鐵長期浸泡在冷卻水中，會受到冷卻水的腐蝕，造成磁鐵的損壞和水道堵塞，影響圓柱磁控濺射靶的使用，因此需要經(jīng)常更換磁鐵和維護(hù)水道，由于結(jié)構(gòu)拆卸復(fù)雜且磁鐵數(shù)量很多，造成時間和成本的浪費(fèi)，影響工作效率；另一種形式通過焊接的方式將磁鐵密封在磁場裝置內(nèi)，使磁鐵與冷卻水隔離，保護(hù)磁鐵，但這種方式如果出現(xiàn)問題時，無法局部更換部件，需要將整套磁場裝置進(jìn)行更換，由于整套磁場裝置造價很高，造成極大的維修成本浪費(fèi)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供了一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，以解決背景技術(shù)中的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，包括靶材連接裝置，所述靶材連接裝置的內(nèi)部設(shè)置有磁場裝置，所述靶材連接裝置的頂部設(shè)置有配合機(jī)構(gòu)；

3、所述磁場裝置包括磁芯，所述磁芯兩端分別焊接有上封板和下封板，所述磁芯的外側(cè)安裝有磁鐵一和磁鐵二，所述上封板和下封板的外圈分別設(shè)置有磁鐵密封圈一和磁鐵密封圈二，所述上封板和下封板的外圈共同套設(shè)有內(nèi)壁與磁鐵密封圈一和磁鐵密封圈二外圈相貼合的隔水管，實現(xiàn)對所述磁鐵一和磁鐵二的密封。

4、進(jìn)一步的，所述靶材連接裝置包括靶材主體、設(shè)置于靶材主體底部的靶管密封端頭以及設(shè)置于靶管密封端頭內(nèi)部的圓柱孔調(diào)心球軸承。

5、進(jìn)一步的，所述靶材主體的底部設(shè)置有與靶管密封端頭外圈相套接的靶材密封圈一。

6、進(jìn)一步的，所述靶管密封端頭的內(nèi)部設(shè)置有用于對圓柱孔調(diào)心球軸承限位的孔用彈性擋圈，所述靶材主體的底部螺紋套設(shè)有用于將靶管密封端頭壓緊在靶材主體底部的的靶材固定螺母。

7、進(jìn)一步的，所述磁芯設(shè)置于靶材主體的內(nèi)部，所述下封板的底部與圓柱孔調(diào)心球軸承的內(nèi)部相套接。

8、進(jìn)一步的，所述上封板的頂部內(nèi)孔處安裝有冷卻水密封圈，且內(nèi)孔處還焊接有位于冷卻水密封圈下方的定位銷。

9、進(jìn)一步的，所述磁鐵一為一列，所述磁鐵二為兩列，所述磁鐵一位于兩列磁鐵二之間。

10、進(jìn)一步的，所述密封圈一和密封圈二的數(shù)量均為兩個，所述上封板的外圈還套設(shè)有位于兩個密封圈一之間的隔套，所述上封板的頂部通過內(nèi)六角平圓頭螺釘固定有壓蓋，用于對所述隔水管的頂部限位。

11、進(jìn)一步的，所述配合機(jī)構(gòu)包括配合件一、配合件二和配合件三，所述配合件三底部插入上封板的頂部內(nèi)孔中，且配合件三的底部開設(shè)有與定位銷相卡接的缺口。

12、進(jìn)一步的，所述配合件二的底部延伸至靶材主體的內(nèi)部，所述配合件二的外圈套設(shè)有與靶材主體頂部相接觸的靶材密封圈二，所述配合件一螺紋套設(shè)于靶材主體的頂部，用于將所述配合件二壓緊在靶材主體的頂部。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，具備以下有益效果：

14、該圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，使用過程中，磁鐵一和磁鐵二都不與水直接接觸，不會被冷卻水腐蝕、損壞，不需要經(jīng)常更換，降低成本，水道也不會堵塞，使用性能更穩(wěn)定，維護(hù)周期更長，節(jié)約時間，提高工作效率，磁場裝置如果出現(xiàn)問題時，可以將裝置的各組成部件進(jìn)行拆裝，找出原因后，只需要更換有問題的部件即可，降低維修成本。

技術(shù)特征：

1.一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，包括靶材連接裝置(1)，其特征在于：所述靶材連接裝置(1)的內(nèi)部設(shè)置有磁場裝置(2)，所述靶材連接裝置(1)的頂部設(shè)置有配合機(jī)構(gòu)(3)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述靶材連接裝置(1)包括靶材主體(14)、設(shè)置于靶材主體(14)底部的靶管密封端頭(13)以及設(shè)置于靶管密封端頭(13)內(nèi)部的圓柱孔調(diào)心球軸承(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述靶材主體(14)的底部設(shè)置有與靶管密封端頭(13)外圈相套接的靶材密封圈一(16)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述靶管密封端頭(13)的內(nèi)部設(shè)置有用于對圓柱孔調(diào)心球軸承(12)限位的孔用彈性擋圈(11)，所述靶材主體(14)的底部螺紋套設(shè)有用于將靶管密封端頭(13)壓緊在靶材主體(14)底部的靶材固定螺母(15)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述磁芯(28)設(shè)置于靶材主體(14)的內(nèi)部，所述下封板(212)的底部與圓柱孔調(diào)心球軸承(12)的內(nèi)部相套接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述上封板(21)的頂部內(nèi)孔處安裝有冷卻水密封圈(25)，且內(nèi)孔處還焊接有位于冷卻水密封圈(25)下方的定位銷(22)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述磁鐵一(210)為一列，所述磁鐵二(213)為兩列，所述磁鐵一(210)位于兩列磁鐵二(213)之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述密封圈一和密封圈二的數(shù)量均為兩個，所述上封板(21)的外圈還套設(shè)有位于兩個密封圈一之間的隔套(27)，所述上封板(21)的頂部通過內(nèi)六角平圓頭螺釘(23)固定有壓蓋(26)，用于對所述隔水管(29)的頂部限位。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述配合機(jī)構(gòu)(3)包括配合件一(31)、配合件二(33)和配合件三(34)，所述配合件三(34)底部插入上封板(21)的頂部內(nèi)孔中，且配合件三(34)的底部開設(shè)有與定位銷(22)相卡接的缺口。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，其特征在于：所述配合件二(33)的底部延伸至靶材主體(14)的內(nèi)部，所述配合件二(33)的外圈套設(shè)有與靶材主體(14)頂部相接觸的靶材密封圈二(32)，所述配合件一(31)螺紋套設(shè)于靶材主體(14)的頂部，用于將所述配合件二(33)壓緊在靶材主體(14)的頂部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種圓柱磁控濺射靶中可拆卸的隔離磁場裝置，涉及鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。包括靶材連接裝置，靶材連接裝置的內(nèi)部設(shè)置有磁場裝置，靶材連接裝置的頂部設(shè)置有配合機(jī)構(gòu)；磁場裝置包括磁芯，磁芯兩端分別焊接有上封板和下封板，磁芯的外側(cè)安裝有磁鐵一和磁鐵二，上封板和下封板的外圈分別設(shè)置有磁鐵密封圈一和磁鐵密封圈二。使用過程中，磁鐵一和磁鐵二都不與水直接接觸，不會被冷卻水腐蝕、損壞，不需要經(jīng)常更換，降低成本，水道也不會堵塞，使用性能更穩(wěn)定，維護(hù)周期更長，節(jié)約時間，提高工作效率，磁場裝置如果出現(xiàn)問題時，可以將裝置的各組成部件進(jìn)行拆裝，找出原因后，只需要更換有問題的部件即可，降低維修成本。

技術(shù)研發(fā)人員：程威,陳良錦,趙先坤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：寧波市丹科真空科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240305
技術(shù)公布日：2024/10/21