一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種制備鎳帶材的方法，具體涉及一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]純金屬鎳主要用于制備微電子工業(yè)濺射靶材及離子鍍膜、制造高純試劑、標樣、以及高級合金，廣泛應(yīng)用于電子、化工、軍工、航空、航天等領(lǐng)域。目前國內(nèi)主要的制備方法是以電解鎳做主要原料，加入必要的輔助材料，進行冶煉、鍛造、乳制等過程。工藝流程為電解鎳經(jīng)過真空感應(yīng)爐冶煉提純、澆注、扒皮、加熱鍛造、方坯、乳制、退火、酸洗等，存在著工藝流程長、操作復(fù)雜、技術(shù)要求高、能耗高缺點。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明提供一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，此方法工藝周期短，且能耗低。
[0004]上述目的是通過下述方案實現(xiàn)的:
一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，其特征在于，在該方法中，使用熱解爐對帶狀鎳基材進行加熱;將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器汽化，氣態(tài)羰基鎳與C0氣體混合后通入熱解爐中，氣態(tài)羰基鎳在帶狀鎳基材表面生成鎳和C0氣體，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，即得到鎳帶材。
[0005]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，所述熱解爐的帶狀鎳基材的入料口和出料口處設(shè)有輥軸，同時，所述熱解爐的底部和頂部設(shè)置有紅外加熱裝置。
[0006]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，帶狀鎳基材的加熱溫度為140°C?300°C ο
[0007]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，所述氣態(tài)羰基鎳與CO氣體混合的質(zhì)量比為1:1?4。
[0008]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，在制備鎳帶材的過程中，控制熱解爐內(nèi)的壓力為1?lOkPa。
[0009]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，經(jīng)72?120小時后，即得到鎳帶材。
[0010]根據(jù)上述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，反應(yīng)完成后的C0氣體由所述熱解爐底部排出并進行處理。
[0011]本發(fā)明的有益效果:
本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，具有工藝周期短的優(yōu)點，操作簡單，且能耗低。
【具體實施方式】
[0012]本發(fā)明用化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材，首先使用熱解爐對帶狀鎳基材進行加熱，然后將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，氣態(tài)羰基鎳與CO氣體混合后通入熱解爐中，氣態(tài)羰基鎳在帶狀鎳基材表面生成鎳和C0氣體，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，即得到鎳帶材。反應(yīng)完成后的C0氣體由熱解爐底部排出并進行收集和處理。其中，在制備鎳帶材的過程中，對帶狀鎳基材加熱至140°c?300°C，氣態(tài)羰基鎳與⑶氣體混合的質(zhì)量比為1:1?4，控制熱解爐內(nèi)的壓力為1?lOkPa，制備鎳帶材的反應(yīng)時間為72?120小時。
[0013]在本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材使用的熱解爐中，帶狀鎳基材的入料口和出料口處設(shè)有輥軸，使帶狀鎳基材運動，同時，熱解爐的底部和頂部設(shè)置有紅外加熱裝置，用于對帶狀鎳基材進行加熱。
[0014]下面用具體實施例對本發(fā)明進行進一步說明。
[0015]實施例1
啟動熱解爐，使帶狀鎳基材加熱到200°C，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，將質(zhì)量流量為1900g/min的羰基鎳蒸氣和質(zhì)量流量為7600g /min—氧化碳氣體通入混合槽，使羰基鎳蒸氣和一氧化碳氣體以質(zhì)量比1:4的配比通入熱解爐?？刂茻峤鉅t壓力3KPa，經(jīng)過72小時后，得到長度2.4米直徑約800毫米的鎳帶材。
[0016]實施例2
啟動熱解爐，使帶狀鎳基材加熱到200°C，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，將質(zhì)量流量為1900g /min的羰基鎳蒸氣和質(zhì)量流量為7600g/min—氧化碳氣體通入混合槽，使羰基鎳蒸氣和一氧化碳氣體以質(zhì)量比1:4的配比通入熱解爐?？刂茻峤鉅t壓力3KPa，經(jīng)過96小時后，得到長度2.4米直徑約1000毫米的鎳帶材。
[0017]實施例3
啟動熱解爐，使帶狀鎳基材加熱到200°C，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，將質(zhì)量流量為1900g/min的羰基鎳蒸氣和質(zhì)量流量為7600g/min—氧化碳氣體通入混合槽，使羰基鎳蒸氣和一氧化碳氣體以質(zhì)量比1:4的配比通入熱解爐?？刂茻峤鉅t壓力3KPa，經(jīng)過120小時后，得到長度2.4米直徑約1200毫米的鎳帶材。
[0018]實施例4
啟動熱解爐，使帶狀鎳基材加熱到140°C，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，將羰基鎳蒸氣和一氧化碳氣體以質(zhì)量比1:1的配比混合后通入熱解爐?？刂茻峤鉅t壓力lOKPa，經(jīng)過72小時后，即得到鎳帶材。
[0019]實施例5
啟動熱解爐，使帶狀鎳基材加熱到300°C，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器進行汽化，將羰基鎳蒸氣和一氧化碳氣體以質(zhì)量比1:4的配比混合后通入熱解爐?？刂茻峤鉅t壓力lKPa，經(jīng)過120小時后，即得到鎳帶材。
【主權(quán)項】
1.一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，其特征在于，在該方法中，使用熱解爐對帶狀鎳基材進行加熱；將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器汽化，氣態(tài)羰基鎳與C0氣體混合后通入熱解爐中，氣態(tài)羰基鎳在帶狀鎳基材表面生成鎳和C0氣體，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，即得到鎳帶材。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，所述熱解爐的帶狀鎳基材的入料口和出料口處設(shè)有輥軸，同時，所述熱解爐的底部和頂部設(shè)置有紅外加熱裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，帶狀鎳基材的加熱溫度為140°C ?300°C。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，所述氣態(tài)羰基鎳與CO氣體混合的質(zhì)量比為1:1?4。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，在制備鎳帶材的過程中，控制熱解爐內(nèi)的壓力為1?1 OkPa。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，經(jīng)72?120小時后，即得到鎳帶材。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備鎳帶材的方法，其特征在于，反應(yīng)完成后的C0氣體由所述熱解爐底部排出并進行處理。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，使用熱解爐對帶狀鎳基材進行加熱，將液態(tài)羰基鎳經(jīng)汽化器汽化，氣態(tài)羰基鎳與CO氣體混合后通入熱解爐中，氣態(tài)羰基鎳在帶狀鎳基材表面生成鎳和CO氣體，鎳沉積在帶狀鎳基材表面，即得到鎳帶材。本發(fā)明的化學(xué)氣相沉積法制備鎳帶材的方法，具有工藝周期短的優(yōu)點，操作簡單，且能耗低。
【IPC分類】C23C16/16
【公開號】CN105463400
【申請?zhí)枴緾N201510848713
【發(fā)明人】楊志強, 王芳鎮(zhèn), 肖冬明, 禹松濤, 李登瑞, 冀文利, 王大窩, 陳旭軍, 白玉婷, 陳菊華, 宋曉紅
【申請人】金川集團股份有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年11月30日