一種單晶爐的爐蓋的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明專利涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐的爐蓋。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。單晶硅需要在高壓的環(huán)境下進(jìn)行制備，但是當(dāng)單晶爐內(nèi)的壓力過大后很容易造成自身結(jié)構(gòu)的損壞，所以設(shè)計一種具有壓力保護(hù)功能的單晶爐爐蓋就顯得尤為重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的就是通過過流閥來對單晶爐起到自我保護(hù)的功能，防止單晶爐內(nèi)氣體壓強(qiáng)過大而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞;發(fā)明了一種單晶爐的爐蓋。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種單晶爐的爐蓋，包括
[0005]爐蓋主體，所述的爐蓋主體呈向上凸的弧形，所述的爐蓋主體內(nèi)設(shè)置有空心腔體，所述的爐蓋主體下端的兩側(cè)設(shè)置有連接座，所述的爐蓋主體通過兩側(cè)的連接座安裝在爐體的上沿處，
[0006]過流閥，所述的爐蓋主體的弧形內(nèi)壁上開設(shè)有過流通道，所述的過流通道與空心腔體相連通，所述的過流閥安裝在過流通道內(nèi)，
[0007]出氣管，所述的出氣管穿過爐蓋主體的上側(cè)壁與空心腔體相連通，
[0008]氣體處理裝置，所述的氣體處理裝置安裝在出氣管的出氣口處，
[0009]定位機(jī)構(gòu)，所述的定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在連接座與爐體的上沿之間。
[0010]進(jìn)一步:所述的過流閥包括閥筒、閥蓋、彈簧和閥芯，所述的閥筒位于過流通道內(nèi)，所述的閥蓋連接在閥筒的上端，所述的閥芯活動連接在閥筒內(nèi)，所述的閥芯通過彈簧與閥蓋相連，所述的閥筒的側(cè)壁上開設(shè)有溢流通道，所述的閥蓋上相對于溢流通道的位置設(shè)置有溢流孔，所述的溢流通道通過溢流孔與過流通道相連通。
[0011 ]進(jìn)一步:所述的氣體處理裝置為氣體采集袋。
[0012]又進(jìn)一步:所述的定位機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在連接座底部的導(dǎo)向槽、開設(shè)在爐體上沿表面的半圓形卡槽、球形卡頭和彈簧，所述的球形卡頭通過彈簧連接在導(dǎo)向槽內(nèi)，當(dāng)導(dǎo)向槽正對半圓形卡槽時，球形卡頭在彈簧的作用下會卡入半圓形卡槽內(nèi)。
[0013]采用上述結(jié)構(gòu)后本發(fā)明通過過流閥來對單晶爐起到自我保護(hù)的功能，防止單晶爐內(nèi)氣體壓強(qiáng)過大而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞;并且本設(shè)計還具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0015]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為過流閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3為圖1中A的放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1所示的一種單晶爐的爐蓋，包括爐蓋主體1、過流閥4、出氣管6、氣體處理裝置7和定位機(jī)構(gòu)，所述的爐蓋主體I呈向上凸的弧形，所述的爐蓋主體I內(nèi)設(shè)置有空心腔體2，所述的爐蓋主體I下端的兩側(cè)設(shè)置有連接座3，所述的爐蓋主體I通過兩側(cè)的連接座3安裝在爐體的上沿處，所述的爐蓋主體I的弧形內(nèi)壁上開設(shè)有過流通道5，所述的過流通道5與空心腔體2相連通，所述的過流閥安裝在過流通道5內(nèi)，所述的出氣管6穿過爐蓋主體I的上側(cè)壁與空心腔體2相連通，所述的氣體處理裝置7安裝在出氣管6的出氣口處，所述的定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在連接座3與爐體的上沿之間，所述的氣體處理裝置7為氣體采集袋。工作時，把爐蓋主體I放置在爐體的上沿處，然后旋轉(zhuǎn)爐蓋主體I利用定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行定位，然后通過兩側(cè)的連接座3對爐蓋主體I和爐體進(jìn)行固定，當(dāng)單晶爐內(nèi)的壓強(qiáng)過大時，過流閥4會自行啟動降低單晶爐內(nèi)的氣壓，防止單晶爐受到過大的壓力而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞。
[0019]如圖2所示的過流閥4包括閥筒9、閥蓋10、彈簧12和閥芯11，所述的閥筒9位于過流通道3內(nèi)，所述的閥蓋10連接在閥筒9的上端，所述的閥芯11活動連接在閥筒9內(nèi)，所述的閥芯11通過彈簧12與閥蓋10相連，所述的閥筒9的側(cè)壁上開設(shè)有溢流通道13，所述的閥蓋10上相對于溢流通道13的位置設(shè)置有溢流孔14，所述的溢流通道13通過溢流孔14與過流通道5相連通。當(dāng)單晶爐內(nèi)的壓強(qiáng)過大時，單晶爐內(nèi)的氣體會自動擠壓閥芯11，使閥芯11擠壓彈簧12沿著閥筒9向上運(yùn)動，隨著閥芯11不斷向上運(yùn)動，當(dāng)溢流通道13與單晶爐的內(nèi)部空間相連通后，單晶爐內(nèi)的高壓氣體會依次通過溢流通道13和溢流孔14流入密封腔體5內(nèi)，然后再通過出氣通道6流入氣體處理裝置7內(nèi)，從而起到降低單晶爐內(nèi)壓強(qiáng)的作用。當(dāng)單晶爐內(nèi)的壓強(qiáng)降低后，此時彈貪12提尚的彈力大于氣體提尚的壓力時，彈貪12會推著閥芯11向反方向運(yùn)動，重新堵塞溢流通道13，此時單晶爐內(nèi)的氣體就不會在自動流出。本設(shè)計通過過流閥來對單晶爐起到自我保護(hù)的功能，防止單晶爐內(nèi)氣體壓強(qiáng)過大而造成自身結(jié)構(gòu)的損壞。
[0020]如圖3所示的定位機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在連接座3底部的導(dǎo)向槽15、開設(shè)在爐體上沿表面的半圓形卡槽16、球形卡頭17和彈簧18，所述的球形卡頭17通過彈簧18連接在導(dǎo)向槽15內(nèi)，當(dāng)導(dǎo)向槽15正對半圓形卡槽16時，球形卡頭17在彈簧18的作用下會卡入半圓形卡槽16內(nèi)。本設(shè)計通過定位機(jī)構(gòu)對爐蓋主體I進(jìn)行定位，從而更加準(zhǔn)確方便地安裝在爐體的上沿處;并且其具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
【主權(quán)項】
1.一種單晶爐的爐蓋，其特征在于:包括 爐蓋主體(I)，所述的爐蓋主體(I)呈向上凸的弧形，所述的爐蓋主體(I)內(nèi)設(shè)置有空心腔體(2)，所述的爐蓋主體(I)下端的兩側(cè)設(shè)置有連接座(3)，所述的爐蓋主體(I)通過兩側(cè)的連接座(3)安裝在爐體的上沿處， 過流閥(4)，所述的爐蓋主體(I)的弧形內(nèi)壁上開設(shè)有過流通道(5)，所述的過流通道(5)與空心腔體(2)相連通，所述的過流閥安裝在過流通道(5)內(nèi)， 出氣管(6)，所述的出氣管(6)穿過爐蓋主體(I)的上側(cè)壁與空心腔體2相連通， 氣體處理裝置(7)，所述的氣體處理裝置(7)安裝在出氣管(6)的出氣口處， 定位機(jī)構(gòu)，所述的定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在連接座(3)與爐體的上沿之間。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐蓋，其特征在于:所述的過流閥(4)包括閥筒(9)、閥蓋(10)、彈簧(12)和閥芯(11)，所述的閥筒(9)位于過流通道(3)內(nèi)，所述的閥蓋(10)連接在閥筒(9)的上端，所述的閥芯(11)活動連接在閥筒(9)內(nèi)，所述的閥芯(11)通過彈簧(12)與閥蓋(10)相連，所述的閥筒(9)的側(cè)壁上開設(shè)有溢流通道(13)，所述的閥蓋(10)上相對于溢流通道(13)的位置設(shè)置有溢流孔(14)，所述的溢流通道(13)通過溢流孔(14)與過流通道(5)相連通。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐蓋，其特征在于:所述的氣體處理裝置(7)為氣體采集袋。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐蓋，其特征在于:所述的定位機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在連接座(3)底部的導(dǎo)向槽(15)、開設(shè)在爐體上沿表面的半圓形卡槽(16)、球形卡頭(17)和彈簧(18)，所述的球形卡頭(17)通過彈簧(18)連接在導(dǎo)向槽(15)內(nèi)，當(dāng)導(dǎo)向槽(15)正對半圓形卡槽(16)時，球形卡頭(17)在彈簧(18)的作用下會卡入半圓形卡槽(16)內(nèi)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種單晶爐的爐蓋，包括爐蓋主體、過流閥、出氣管、氣體處理裝置和定位機(jī)構(gòu)，所述的爐蓋主體呈向上凸的弧形，所述的爐蓋主體內(nèi)設(shè)置有空心腔體，所述的爐蓋主體下端的兩側(cè)設(shè)置有連接座，所述的爐蓋主體通過兩側(cè)的連接座安裝在爐體的上沿處，所述的爐蓋主體的弧形內(nèi)壁上開設(shè)有過流通道，所述的過流通道與空心腔體相連通，所述的過流閥安裝在過流通道內(nèi)，所述的出氣管穿過爐蓋主體的上側(cè)壁與空心腔體相連通，所述的氣體處理裝置安裝在出氣管的出氣口處，所述的定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在連接座與爐體的上沿之間。本設(shè)計具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C30B35/00
【公開號】CN105671643
【申請?zhí)枴緾N201610151794
【發(fā)明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請日】2016年3月16日