硅棒粘棒機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅棒粘棒機(jī)，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的工藝大部分都是常規(guī)三氯氫硅氫還原法，即改良西門子法，改良西門子法或其他類似方法生產(chǎn)大直徑多晶硅的主要設(shè)備是多晶硅還原爐，多晶硅還原爐在細(xì)長(zhǎng)的硅芯上通上電源，使硅芯加熱發(fā)紅，直至表面溫度達(dá)到1100攝氏度，通入高純的三氯氫硅和氫氣，使其在高溫下發(fā)生氫還原反應(yīng)，使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上，使其的直徑不斷地增大，通常，硅芯的直徑在7-10毫米，可以是圓形也可以是方型，或是其他形狀，最終通過氫還原反應(yīng)使直徑不斷地增大到120-200毫米，生產(chǎn)出高純太陽(yáng)能級(jí)6N或電子級(jí)IlN的多晶硅。
[0003]現(xiàn)硅芯的制備方法有二種，傳統(tǒng)的方法是用CZ法(區(qū)熔提拉法)，即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內(nèi)用高頻感應(yīng)加熱，使其頂部局部熔化，從上部放入I根直徑在5-10毫米的籽晶，然后慢慢向上提拉，使其成為直徑在7-10毫米，長(zhǎng)度在1900-3000毫米之間的細(xì)長(zhǎng)硅芯，其缺點(diǎn)是提拉速度慢，一般為8-12毫米/分鐘，拉制I根2米的硅芯需要4小時(shí)，生產(chǎn)效率低，電力消耗大，設(shè)備投資大。
[0004]另一種是用金剛石工具切割法，美國(guó)Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數(shù)控多晶硅細(xì)長(zhǎng)硅芯多線切割機(jī)床，用于硅芯的制備。通過利用電鍍上金剛石微粒的細(xì)鋼絲線在被加工工件上高速地往復(fù)運(yùn)動(dòng)或單向移動(dòng)，將硅棒壓在該機(jī)床用金剛石線交叉組成的方形線網(wǎng)上，從而將該硅棒切割成細(xì)長(zhǎng)的硅芯。其優(yōu)點(diǎn)十分明顯，10-12小時(shí)可以切割出200根左右2米長(zhǎng)的7X7或8X8毫米的方形硅芯，電力消耗小，加工效率高。
[0005]硅芯切割時(shí)需要將硅棒懸掛至切割機(jī)上，硅棒懸掛前需要通過粘合膠將硅棒與晶座連接在一起，由于硅棒和晶座重量很重，因此整個(gè)粘棒過程操作十分不便，并且無法有效保證硅棒與晶座的同軸度，從而影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提高了最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。
[0007]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種硅棒粘棒機(jī)，它包括工作平臺(tái)，所述工作平臺(tái)上設(shè)置有晶座固定座，所述晶座固定座后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座，所述前后兩個(gè)娃棒固定座之間設(shè)置有兩個(gè)娃棒支撐墊。
[0008]所述晶座固定座包括底座，所述底座上設(shè)置有左右兩條第一滑軌，所述左右兩條第一滑軌上設(shè)置有滑座，所述滑座上設(shè)置有第一支座和第二支座，所述第一支座位于第二支座前方，所述第一支座和第二支座頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座上設(shè)置有壓塊，所述第一支座前側(cè)設(shè)置有固定支架，所述固定支架上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓，所述左右兩條第一滑軌之間設(shè)置有第一螺桿支座，所述第一螺桿支座上穿裝有第一連接螺桿，所述第一連接螺桿前端設(shè)置有第一手輪，所述第一連接螺桿后端通過螺紋與滑座底部相連接。
[0009]所述第一滑軌前端設(shè)置有擋板。
[0010]所述硅棒固定座包括底板，所述底板上設(shè)置有豎直支撐板，所述豎直支撐板前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌，所述上下兩條第二滑軌上左右對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座，所述第二螺桿支座上穿裝有第二連接螺桿，所述第二連接螺桿左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板相連接，所述第二連接螺桿右端設(shè)置有第二手輪，所述移動(dòng)夾板后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽，所述上下兩個(gè)滑槽分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽內(nèi)設(shè)置有夾塊，所述夾塊外側(cè)設(shè)置有固定塊，所述固定塊上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓，所述夾塊上沿水平方向開設(shè)有限位孔，所述限位孔內(nèi)設(shè)置有限位螺栓。
[0011]所述硅棒支撐墊包括上下兩個(gè)弧形支撐墊，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊相對(duì)布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊之間設(shè)置有水平支撐墊。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0013]本實(shí)用新型一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提高了最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型一種硅棒粘棒機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2為圖1中硅棒固定座的局部示意圖。
[0016]其中:
[0017]工作平臺(tái)I
[0018]晶座固定座2
[0019]底座2.1
[0020]滑座2.2
[0021]第一滑軌2.3
[0022]擋板2.4
[0023]第一支座2.5
[0024]第二支座2.6
[0025]壓塊2.7
[0026]固定支架2.8
[0027]第一調(diào)節(jié)螺栓2.9
[0028]第一手輪2.10
[0029]第一螺桿支座2.11
[0030]第一連接螺桿2.12
[0031]娃棒固定座3
[0032]底板3.1
[0033]豎直支撐板3.2
[0034]第二螺桿支座3.3
[0035]第二滑軌3.4
[0036]第二連接螺桿3.5
[0037]第二手輪3.6
[0038]移動(dòng)夾板3.7
[0039]滑槽3.8
[0040]固定塊3.9
[0041]夾塊3.10
[0042]限位孔3.11
[0043]限位螺栓3.12
[0044]第二調(diào)節(jié)螺栓3.13
[0045]硅棒支撐墊4
[0046]弧形支撐墊4.1
[0047]水平支撐墊4.2
[0048]晶座5
[0049]娃棒6。
【具體實(shí)施方式】
[0050]參見圖1、圖2，本實(shí)用新型一種硅棒粘棒機(jī)，它包括工作平臺(tái)1，所述工作平臺(tái)I上設(shè)置有晶座固定座2，所述晶座固定座2后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座3，所述前后兩個(gè)娃棒固定座3之間設(shè)置有兩個(gè)娃棒支撐墊4 ；
[0051]所述晶座固定座2包括底座2.1，所述底座2.1上設(shè)置有左右兩條第一滑軌2.3，所述左右兩條第一滑軌2.3上設(shè)置有滑座2.2，所述滑座2.2上設(shè)置有第一支座2.5和第二支座2.6，所述第一支座2.5位于第二支座2.6前方，所述第一支座2.5和第二支座2.6頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座2.5上設(shè)置有壓塊2.7，所述第一支座2.5前側(cè)設(shè)置有固定支架2.8，所述固定支架2.8上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓2.9，所述左右兩條第一滑軌2.3之間設(shè)置有第一螺桿支座2.11，所述第一螺桿支座2.11上穿裝有第一連接螺桿2.12，所述第一連接螺桿2.12前端設(shè)置有第一手輪2.10，所述第一連接螺桿2.12后端通過螺紋與滑座2.2底部相連接，所述第一滑軌2.3前端設(shè)置有擋板2.4 ；
[0052]所述硅棒固定座3包括底板3.1，所述底板3.1上設(shè)置有豎直支撐板3.2，所述豎直支撐板3.2前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌3.4，所述上下兩條第二滑軌3.4上左右對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌3.4右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座3.3，所述第二螺桿支座3.3上穿裝有第二連接螺桿3.5，所述第二連接螺桿3.5左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿3.5通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7相連接，所述第二連接螺桿3.5右端設(shè)置有第二手輪3.6，通過第二手輪3.6轉(zhuǎn)動(dòng)第二連接螺紋3.5可以實(shí)現(xiàn)左右兩個(gè)移動(dòng)夾板3.7同時(shí)向內(nèi)或向外移動(dòng)，所述移動(dòng)夾板3.7后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽3.8，所述上下兩個(gè)滑槽3.8分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽3.8內(nèi)設(shè)置有夾塊3.10，所述夾塊3.10外側(cè)設(shè)置有固定塊3.9，所述固定塊3.9上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓3.13，所述夾塊3.10上沿水平方向開設(shè)有限位孔3.11，所述限位孔3.11內(nèi)設(shè)置有限位螺栓3.12 ;
[0053] 所述硅棒支撐墊4包括上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1相對(duì)布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊4.1之間設(shè)置有水平支撐墊4.2。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:它包括工作平臺(tái)(1)，所述工作平臺(tái)(I)上設(shè)置有晶座固定座(2)，所述晶座固定座(2)后方設(shè)置有前后兩個(gè)娃棒固定座(3)，所述前后兩個(gè)娃棒固定座(3)之間設(shè)置有兩個(gè)娃棒支撐墊(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述晶座固定座(2)包括底座(2.1)，所述底座(2.1)上設(shè)置有左右兩條第一滑軌(2.3)，所述左右兩條第一滑軌(2.3)上設(shè)置有滑座(2.2)，所述滑座(2.2)上設(shè)置有第一支座(2.5)和第二支座(2.6)，所述第一支座(2.5)位于第二支座(2.6)前方，所述第一支座(2.5)和第二支座(2.6)頂部開設(shè)有弧形支撐槽，所述第一支座(2.5)上設(shè)置有壓塊(2.7)，所述第一支座(2.5)前側(cè)設(shè)置有固定支架(2.8)，所述固定支架(2.8)上設(shè)置有第一調(diào)節(jié)螺栓(2.9)，所述左右兩條第一滑軌(2.3)之間設(shè)置有第一螺桿支座(2.11)，所述第一螺桿支座(2.11)上穿裝有第一連接螺桿(2.12)，所述第一連接螺桿(2.12)前端設(shè)置有第一手輪(2.10)，所述第一連接螺桿(2.12)后端通過螺紋與滑座(2.2)底部相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述硅棒固定座(3)包括底板(3.1)，所述底板(3.1)上設(shè)置有豎直支撐板(3.2)，所述豎直支撐板(3.2)前側(cè)設(shè)置有上下兩條第二滑軌(3.4)，所述上下兩條第二滑軌(3.4)上左右對(duì)稱設(shè)置有兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)，所述兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)內(nèi)側(cè)開設(shè)有弧形卡槽，所述上下兩條第二滑軌(3.4)右側(cè)設(shè)置有第二螺桿支座(3.3)，所述第二螺桿支座(3.3)上穿裝有第二連接螺桿(3.5)，所述第二連接螺桿(3.5)左段設(shè)置有兩段反向螺紋，所述第二連接螺桿(3.5)通過該兩段反向螺紋分別與左右兩個(gè)移動(dòng)夾板(3.7)相連接，所述第二連接螺桿(3.5)右端設(shè)置有第二手輪(3.6)，所述移動(dòng)夾板(3.7)后側(cè)開設(shè)有上下兩個(gè)滑槽(3.8)，所述上下兩個(gè)滑槽(3.8)分別位于弧形卡槽的上下兩側(cè)，所述上下兩個(gè)滑槽(3.8)內(nèi)設(shè)置有夾塊(3.10)，所述夾塊(3.10)外側(cè)設(shè)置有固定塊(3.9)，所述固定塊(3.9)上設(shè)置有第二調(diào)節(jié)螺栓(3.13)，所述夾塊(3.10)上沿水平方向開設(shè)有限位孔(3.11)，所述限位孔(3.11)內(nèi)設(shè)置有限位螺栓(3.12)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒粘棒機(jī)，其特征在于:所述硅棒支撐墊(4)包括上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)相對(duì)布置，所述上下兩個(gè)弧形支撐墊(4.1)之間設(shè)置有水平支撐墊(4.2)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅棒粘棒機(jī)，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。它包括工作平臺(tái)（1），所述工作平臺(tái)（1）上設(shè)置有晶座固定座（2），所述晶座固定座（2）后方設(shè)置有前后兩個(gè)硅棒固定座（3），所述前后兩個(gè)硅棒固定座（3）之間設(shè)置有兩個(gè)硅棒支撐墊（4）。本實(shí)用新型一種硅棒粘棒機(jī)，它大大方便了硅棒的粘棒過程，保證了硅棒與晶座的同軸度，從而提高了最終產(chǎn)品的質(zhì)量和成材率。
【IPC分類】C01B33-035
【公開號(hào)】CN204569437
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520242683
【發(fā)明人】陳大春, 袁鄭堂, 薛榮國(guó), 孫勇
【申請(qǐng)人】江陰東升新能源有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月21日