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一種多晶硅片用夾具的制作方法

文檔序號:11085043閱讀:492來源:國知局
一種多晶硅片用夾具的制造方法與工藝

本實用新型涉及太陽能設備領域,具體涉及一種多晶硅片用夾具。



背景技術:

現(xiàn)在隨著科技的發(fā)展,使得在一些裝置上常常會用到太陽能多晶硅片,由于多晶硅片能夠在極小的面積上,集成數(shù)千萬的晶體管,工程精細極高,特別是在現(xiàn)在的微電子技術領域,航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)以及商業(yè)上也被廣泛應用。

對于現(xiàn)在生產(chǎn)太陽能多晶硅片的方法中,常常需要對多晶硅片在生產(chǎn)時進行轉移進行進一步加工,但是現(xiàn)在轉移多晶硅片的夾具過于粗糙,僅僅是通過機械的夾持件進行夾持轉移,這樣會對多晶硅片的內(nèi)部結構造成進一步的損害,損壞率高,不僅會增加成本,還會使得制備的工期受到影響。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種多晶硅片用夾具。

為解決上述技術問題,本實用新型采用的一個技術方案是:一種多晶硅片用夾具,包括:圓形支架、抽氣管和吸盤,所述抽氣管安裝在所述圓形支架上;

所述圓形支架頂端設有圓孔,所述抽氣管貫穿所述圓孔,所述抽氣管外壁設有齒條,所述圓孔上端安裝有電機,所述電機上安裝有齒輪;

所述吸盤與所述抽氣管相連接,所述吸盤安裝在所述抽氣管底端;

所述圓形支架側面安裝有若干勾爪。

在本實用新型一個較佳實施例中,所述齒條與所述齒輪相配合。

在本實用新型一個較佳實施例中,所述勾爪內(nèi)側設有一層橡膠層。

本實用新型的有益效果是:本實用新型一種多晶硅片用夾具,該夾具能夠有效的將加工時的多晶硅片進行黏吸,防止了普通機械夾持件會對多晶硅片夾持造成多晶硅片的損壞。

附圖說明

圖1是本實用新型一種多晶硅片用夾具的結構示意圖。

附圖中各部件的標記如下:1、圓形支架;2、抽氣管;3、吸盤;4、圓孔;5、齒條;6、電機;7、齒輪;8、勾爪;9、橡膠層。

具體實施方式

請參閱圖1,本實用新型實施例包括:一種多晶硅片用夾具,包括:圓形支架1、抽氣管2和吸盤3,所述抽氣管2安裝在所述圓形支架1上;

所述圓形支架1頂端設有圓孔4,所述抽氣管2貫穿所述圓孔4,所述圓孔4用于所述抽氣管2的通過。

所述抽氣管2外壁設有齒條5,所述圓孔4上端安裝有電機6,所述電機6上安裝有齒輪7,所述齒條5與所述齒輪7相配合,使得所述抽氣管2可以上下的移動,從而將被所述吸盤3吸住的多晶硅片提起。

所述吸盤3與所述抽氣管2相連接,所述吸盤3安裝在所述抽氣管2底端,所述抽氣管2通過對所述吸盤3和多晶硅片上表面形成的空間內(nèi)抽氣,從而將多晶硅片吸起。

所述圓形支架1側面安裝有若干勾爪8,所述勾爪8用于對吸起的多晶硅片側面進行夾緊固定。

所述勾爪8內(nèi)側設有一層橡膠層9,所述橡膠層9可以避免所述勾爪8對多晶硅片夾持造成多晶硅片的損壞。

與現(xiàn)有技術相比,本實用新型一種多晶硅片用夾具,該夾具能夠有效的將加工時的多晶硅片進行黏吸,防止了普通機械夾持件會對多晶硅片夾持造成多晶硅片的損壞。

以上所述僅為本實用新型的實施例,并非因此限制本實用新型的專利范圍,凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結構或等效流程變換,或直接或間接運用在其他相關的技術領域,均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。

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