使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法
【專利摘要】一種使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物(以下，簡稱為“切削液組合物”。)的處理方法，其中，使用前的切削液組合物含有特定的聚醚化合物(成分A)25～75重量％、特定的表面活性劑(成分B)1～9重量％、和水(成分C)，切削液組合物的濁點(diǎn)為30～80℃，從排油液中至少除去切削粉末的粉末除去工序包括：第一工序，將排油液加熱至切削液組合物的濁點(diǎn)以上的溫度，分離成以聚醚化合物為主要成分的上層、及以水和切削粉末為主要成分的下層；以及第二工序，從分離后的所述排油液中除去下層。
【專利說明】使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法、使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的再生方法、及固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為利用磨料并采用鋼絲鋸對硅鑄塊等進(jìn)行切斷時(shí)所使用的切削液組合物，已知有含有聚醚化合物作為油分的物質(zhì)(參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。
[0003]近年來，從環(huán)境應(yīng)對、經(jīng)濟(jì)性的提高的觀點(diǎn)出發(fā)，對于使用過的切削液組合物的廢棄處理，嘗試了使其容易化。另外，從環(huán)境性、生產(chǎn)性及經(jīng)濟(jì)性的提高的觀點(diǎn)出發(fā)，嘗試了再利用使用過的切削液組合物。例如，在下述專利文獻(xiàn)3中公開了如下方案:通過離心分離將磨料、鑄塊的切削粉末等分散物與切削液組合物分離，對切削液組合物加以再利用。
[0004]另一方面，已知的是代替游離磨料鋼絲鋸而使用了固定磨料鋼絲鋸來切斷硅鑄塊等的方法。該方法由于能夠使鑄塊的切割后的廢料(切割后的廢料的英文為“reservefor slicing”)減少，因而具有能夠有效使用鑄塊的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于在切削液組合物中不會(huì)混入磨料，因而該方法能夠穩(wěn)定地生產(chǎn)晶片而不易改變切削時(shí)的切削液組合物的粘度等性狀，并且晶片的清洗也變得容易，因此，該方法比使用了游離磨料鋼絲鋸的切斷方法更有利。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開平11-286693號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-323376號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)3:日本特開平01-316170號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的問題
[0011]然而，即使是在鑄塊的切斷中使用了固定磨料鋼絲鋸的情況下，鑄塊的切削粉末混入切削液組合物中，因而在廢棄處理、再利用時(shí)，需要將所述切削粉末從切削液組合物中除去的操作。在作為通常的除去方法的離心分離法中，即使進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)，切削粉末的分離也需要非常長的時(shí)間，而且分離效率也差，因而切削液組合物的再生效率低成為課題。該課題成為硅晶片的生產(chǎn)性提高的阻礙。另外，即使使用專利文獻(xiàn)2中記載的技術(shù)，切削粉末的分離性也不充分。其理由是因?yàn)榍邢鞣勰┚哂信c切削液組合物中的水分相比而言與油分的親和性更高的性質(zhì)。另外，在廢棄使用過的切削液組合物的情況下，例如為了通過燃燒處理而進(jìn)行廢棄，期望盡量從使用過的切削液組合物中除去切削粉末。
[0012]本發(fā)明提供使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，該方法通過簡單的操作，能夠以高分離效率從由鑄塊的切斷所產(chǎn)生的、包含使用過的切削液組合物和切削粉末的排油液中分離切削粉末，使用過的切削液組合物的廢棄處理變得容易化。另外，本發(fā)明提供使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的再生方法，該方法通過簡單的操作，能夠以高分離效率從上述排油液中分離切削粉末，由此能夠提高再生效率。另外，本發(fā)明提供被供給到上述處理方法及再生方法的實(shí)施中的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物。
[0013]用于解決問題的方法
[0014]本發(fā)明的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法是在利用固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中使用后的、使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，
[0015]使用前的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物含有:
[0016]25~75重量％的選自下述通式(I)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一種聚醚化合物(成分A)、
[0017]1~9重量％的選自具有碳原子數(shù)12~22的烴基的HLB為17.0~20.0的非離子性表面活性劑、及下述通式(3)所示的陽離子性表面活性劑中的至少一種表面活性劑(成分B)、以及
[0018]水(成分C)，
[0019]所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的濁點(diǎn)為30~80°C，
[0020]所述使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法包括如下所述的粉末除去工序:從在使用所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物并利用所述固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中產(chǎn)生的、包含使用過的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物和所述鑄塊的切削粉末的排油液中，至少除去所述切削粉末，
[0021]所述粉末除去工序包括:
[0022]第一工序，將所述排油液加熱至所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的所述濁點(diǎn)以上的溫度，分離為以所述聚醚化合物作為主要成分的上層、及以水和所述切削粉末為主要成分的下層，以及
[0023]第二工序，從在所述第一工序中分離出的所述排油液中，至少除去所述下層，
[0024]R1-O-(AO)n-R1' (I)
[0025]其中，上述通式⑴中，R1為碳原子數(shù)I~8的可以含有羥基的烴基、Rk為氫原子或甲基、AO為碳原子數(shù)2~4的氧化亞烷基、η為AO的平均加成摩爾數(shù)且為表示2~20的數(shù)。
[0026]
【權(quán)利要求】
1.一種使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，所述組合物已被用于利用固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中， 使用前的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物含有: 25~75重量％的選自下述通式(1)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一種聚醚化合物即成分A、 1~9重量％的選自具有碳原子數(shù)12~22的烴基的HLB為17.0~20.0的非離子性表面活性劑、及下述通式(3)所示的陽離子性表面活性劑中的至少一種表面活性劑即成分B、以及 水即成分C， 所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的濁點(diǎn)為30~80°C， 所述處理方法包括下述的粉末除去工序:從在使用所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物并利用所述固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中產(chǎn)生的、包含使用過的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物和所述鑄塊的切削粉末的排油液中，至少除去所述切削粉末， 所述粉末除去工序包括: 第一工序，將所述排油液加熱至所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的所述濁點(diǎn)以上的溫度，分離為以所述聚醚化合物作為主要成分的上層、及以水和所述切削粉末作為主要成分的下層，以及 第二工序，從在所述第一工序中分離出的所述排油液中，至少除去所述下層，
R1-O- (AO)n-R1 (I) 其中，所述通式(I)中，R1為碳原子數(shù)I~8的可以含有羥基的烴基、R1 ‘為氫原子或甲基、AO為碳原子數(shù)2~4的氧化亞烷基、η為AO的平均加成摩爾數(shù)且為表示2~20的數(shù)，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述鑄塊為硅鑄塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在所述第一工序中，將所述排油液加熱至40~90°C。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述第一工序中，將所述排油液加熱至比所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的濁點(diǎn)高出10~50°C的溫度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物中，所述成分C的含量為16~74重量％。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述成分B為具有選自月桂基即正十二烷基、異十二烷基、肉豆蘧基、棕櫚基、硬脂基、油基及苯乙烯化苯酚基中的I種以上的烴基的非離子性表面活性劑。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述成分B為選自棕櫚基三甲基銨鹽及硬脂基三甲基銨鹽中的I種以上的陽離子表面活性劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述成分A的通式(1)的AO具有氧化亞丙基。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，所述成分A的通式(2)的AO為氧化亞丙基。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在第一工序中，將排油液加熱至比所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的濁點(diǎn)高出10~50°C的溫度。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在第二工序中，對從所述排油液中除去的下層進(jìn)行離心分離。
12.根據(jù)權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其還包括下述的第三工序:向在所述第二工序中從所述排油液中至少除去所述下層而得的殘液中，添加所述成分A、所述成分B、及所述成分C中的至少一種成分，獲得固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在所述第三工序中，測定殘液中的成分A的含量、成分B及成分C的含量，基于該測定結(jié)果，確定所述殘液中的、選自成分A、成分B、及成分C中的至少一種成分的添加量。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的處理方法，其中，在所述第三工序中，分別預(yù)先估計(jì)與使用固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物并利用固定磨料鋼絲鋸來切斷鑄塊的切斷工序及所述粉末除去工序相伴的成分A的減少量、成分B的減少量、及成分C的減少量，將選自成分A、成分B及成分C中的至少一種成分補(bǔ)給到排油液或殘液中。
15.一種使用過的固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的再生方法，所述組合物已被用于利用固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中， 使用前的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物含有: 25~75重量％的選自下述通式(1)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一種聚醚化合物即成分A、 I~9重量％的選自具有碳原子數(shù)12~22的烴基的HLB為17.0~20.0的非離子性表面活性劑、及下述通式(3)所示的陽離子性表面活性劑中的至少一種表面活性劑即成分B、以及 水即成分C， 所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的濁點(diǎn)為30~80°C， 所述再生方法包括: 第一工序，將在使用所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物并利用所述固定磨料鋼絲鋸而進(jìn)行的鑄塊的切斷中產(chǎn)生的、包含使用過的所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物和所述鑄塊的切削粉末的排油液，加熱至所述固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物的所述濁點(diǎn)以上的溫度，分離為以所述聚醚化合物作為主要成分的上層、及以水和所述切削粉末作為主要成分的下層， 第二工序，從在所述第一工序中分離出的所述排油液中，至少除去所述下層，以及 第三工序，向在所述第二工序中從所述排油液中至少除去所述下層而獲得的殘液中，添加所述成分A、所述成分B、及所述成分C中的至少一種成分，獲得固定磨料鋼絲鋸用切削液組合物，
R1-O- (AO)n-R1 (1) 其中，所述通式(I)中，R1為碳原子數(shù)I~8的可以含有羥基的烴基、R1 ‘為氫原子或甲基、AO為碳原子數(shù)2~4的氧化亞烷基、η為AO的平均加成摩爾數(shù)且為表示2~20的數(shù)，

【文檔編號(hào)】C10N40/22GK103945986SQ201280055989
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月15日
【發(fā)明者】土井康廣, 樫原榮二, 鈴木清史 申請人:花王株式會(huì)社, 帕萊斯化學(xué)株式會(huì)社