本發(fā)明涉及慣性傳感器和具備該慣性傳感器的慣性測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

1、近年來(lái)，開(kāi)發(fā)了利用mems(micro?electro?mechanical?system：微電子機(jī)械系統(tǒng))結(jié)構(gòu)的慣性傳感器。作為這樣的慣性傳感器，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載有檢測(cè)z軸方向的加速度的加速度傳感器。

2、專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的加速度傳感器具備：第一導(dǎo)電部、被保持在第一導(dǎo)電部的第一電極、第二導(dǎo)電部、以及被保持在第二導(dǎo)電部的第二電極，第一電極的高度方向的長(zhǎng)度比第一導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短，第二電極的高度方向的長(zhǎng)度比第二導(dǎo)電部的高度方向的長(zhǎng)度短。

3、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2021-32819號(hào)公報(bào)

4、在對(duì)這樣的加速度傳感器施加了過(guò)度的加速度的情況下，有可能在第一導(dǎo)電部、第一電極等mems結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生龜裂或缺口等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的一個(gè)方案的慣性傳感器具有：基板；蓋，與所述基板對(duì)置設(shè)置；可動(dòng)框架，設(shè)置在所述基板與所述蓋之間；梳齒可動(dòng)電極，設(shè)置在所述可動(dòng)框架；以及突起，設(shè)置在所述基板或所述蓋中的至少一方，俯視時(shí)與所述梳齒可動(dòng)電極的前端或根部重疊。

2、本申請(qǐng)的一個(gè)方式的慣性測(cè)量裝置具備上述記載的慣性傳感器。

技術(shù)特征：

1.一種慣性傳感器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的慣性傳感器，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的慣性傳感器，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，

14.一種慣性測(cè)量裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
提供慣性傳感器和慣性測(cè)量裝置，能夠降低由過(guò)度的加速度導(dǎo)致的MEMS結(jié)構(gòu)的破損。慣性傳感器(100)包括：支承基板(1)，作為基板；蓋(2)，與支承基板(1)對(duì)置設(shè)置；可動(dòng)框架(21)，設(shè)置在支承基板(1)與蓋(2)之間；第一梳齒可動(dòng)電極(22a)和/或第二梳齒可動(dòng)電極(22b)，作為設(shè)置在可動(dòng)框架(21)的梳齒可動(dòng)電極；以及突起(31)和/或突起(30)，設(shè)置在支承基板(1)或蓋(2)中的至少一方，俯視時(shí)與第一梳齒可動(dòng)電極(22a)和/或第二梳齒可動(dòng)電極(22b)的前端或根部重疊。

技術(shù)研發(fā)人員：小林知永
受保護(hù)的技術(shù)使用者：精工愛(ài)普生株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/17