真空泵的固定部件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種環(huán)狀的固定部件，該環(huán)狀的固定部件作為真空栗的構(gòu)成部件，被收納于栗殼內(nèi)，前述真空栗將借助該栗殼內(nèi)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)吸入的氣體排出。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為將借助栗殼內(nèi)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)吸入的氣體排出的真空栗，例如已知有專利文獻I中記載的渦輪分子栗。該文獻I的渦輪分子栗構(gòu)成為，借助轉(zhuǎn)子(R)的旋轉(zhuǎn)從吸氣口(凸緣14a附近)吸入氣體，將吸入的氣體從排氣口(15a)排出(參照該文獻I的0024段的記載)。
[0003]另外，在該文獻I的禍輪分子栗中，米用在栗機殼(14)的內(nèi)側(cè)設(shè)置內(nèi)側(cè)機殼(142)、進而在該內(nèi)側(cè)機殼(142)的內(nèi)側(cè)收納前述轉(zhuǎn)子(R)的結(jié)構(gòu)，并采用以下結(jié)構(gòu):作為借助內(nèi)側(cè)機殼(142)吸收由轉(zhuǎn)子(R)在旋轉(zhuǎn)中破損產(chǎn)生的破壞性的能量(以下稱為破壞能)的機構(gòu)，在前述內(nèi)側(cè)機殼(142)和前述栗機殼(14)之間形成間隙(T)，由此使由破壞能引起的內(nèi)側(cè)機殼(142)的變形變得可能，借助該變形吸收破壞能。
[0004]但是，根據(jù)該文獻I中記載的渦輪分子栗，雖然轉(zhuǎn)子(R)的破壞能被轉(zhuǎn)化為內(nèi)側(cè)機殼(142)的變形能，但是沒有考慮構(gòu)成該內(nèi)側(cè)機殼(142)的材料的伸長量來設(shè)定前述間隙(T)。因此，雖然設(shè)置了前述間隙(T)，但是有無法充分吸收破壞能的情況。另外，從省空間化的觀點來看，在實現(xiàn)渦輪分子栗的緊湊化的方面，不考慮材料的伸長量的前述間隙(T)的設(shè)定是實現(xiàn)緊湊化時造成障礙的主要原因之一。
[0005]此外，前述括弧內(nèi)的附圖標記是專利文獻I使用的附圖標記。
[0006]專利文獻1:日本特許第4197819號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是為了解決前述問題點做出的發(fā)明，其目的是提供一種適用于實現(xiàn)破壞能(由于轉(zhuǎn)子在旋轉(zhuǎn)中破損產(chǎn)生的破壞性的能量)的降低的真空栗的固定部件和具備該固定部件的真空栗。
[0008]為了實現(xiàn)前述目的，本發(fā)明是一種真空栗的固定部件，是作為真空栗的構(gòu)成部件被收納于栗殼內(nèi)的環(huán)狀的固定部件，前述真空栗將借助該栗殼內(nèi)的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)吸入的氣體排出，其特征在于，前述固定部件在被收納于前述栗殼內(nèi)的狀態(tài)下，在該固定部件的外周面與前述栗殼的內(nèi)周面之間形成有滿足下述條件的間隙，條件:2d/D< emax，D:前述固定部件的外徑，2d:前述間隙的寬度，前述固定部件的斷裂伸長率。
[0009]在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件借助鑄造制成。
[0010]在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是借助金屬模具鑄造制成的金屬模具鑄件。
[0011 ]在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件是在砂型鑄造后實施了熱處理的砂型鑄件。
[0012]在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件在借助前述鑄造制造時，加入添加劑，使前述斷裂伸長率與原材機加工件等同。
[0013]在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述固定部件由鋁合金構(gòu)成。
[0014]另外，本發(fā)明是具備前述固定部件的真空栗。
[0015]在本發(fā)明中，作為被收納于栗殼內(nèi)的環(huán)狀的固定部件的具體結(jié)構(gòu)，該固定部件在被收納于栗殼內(nèi)的狀態(tài)下，在其外周面和栗殼的內(nèi)周面之間形成有滿足前述條件的間隙。因此，即使在由于破壞能導(dǎo)致固定部件發(fā)生最大伸長變形的情況下，即，在固定部件發(fā)生伸長變形至與其斷裂伸長率大致相同程度的附近的情況下，伸長變形的固定部件也不接觸栗殼的內(nèi)表面，或者僅是輕輕接觸的程度，因此，能夠提供一種真空栗的固定部件和具備該固定部件的真空栗，前述固定部件能夠有效防止破壞能經(jīng)由伸長變形的固定部件傳遞至栗殼側(cè)的現(xiàn)象，能夠在固定部件處充分吸收破壞能，并且，適用于在實現(xiàn)栗殼的小型化的同時實現(xiàn)破壞能的降低。
【附圖說明】
[0016]圖1是具備涉及本發(fā)明的真空栗的固定部件的真空栗的剖視圖。
[0017]圖2(a)是構(gòu)成圖1的真空栗的間隔件(一半)的剖視圖，(b)是該間隔件的俯視圖。
[0018]圖3是鋁合金的應(yīng)力應(yīng)變曲線圖。
【具體實施方式】
[0019]以下參照附圖對用于實施本發(fā)明的最優(yōu)的實施方式進行詳細說明。
[0020]圖1是具備涉及本發(fā)明的真空栗的固定部件的真空栗的剖視圖，在圖2中，(a)是構(gòu)成圖1的真空栗的間隔件(一半)的剖視圖，(b)是該間隔件的俯視圖。
[0021]圖1的真空栗P作為例如半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能電池板制造裝置中的處理腔或其它密閉腔的氣體排出機構(gòu)等被利用。
[0022]在圖1的真空栗P中，外殼I通過將筒狀的栗殼C和栗基座B在其筒軸向上借助緊固機構(gòu)E—體連結(jié)，構(gòu)成為有底的圓筒形狀。
[0023]栗殼C的上端部側(cè)(圖1中紙面上方)作為氣體吸氣口IA開口，另外，在栗基座B上設(shè)置氣體排氣口 2。此外，氣體吸氣口 IA連接于例如半導(dǎo)體制造裝置的處理腔等高真空的未圖示的密閉腔，氣體排氣口 2連通并連接于未圖示的輔助栗。
[0024]在栗殼C內(nèi)的中央部設(shè)置有圓筒狀的定子柱3。該定子柱3立設(shè)在栗基座B上，在定子柱3的外側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)子4，在定子柱3的內(nèi)側(cè)內(nèi)置有磁軸承MB和驅(qū)動馬達MT等各種電裝部件，前述磁軸承MB作為支承轉(zhuǎn)子4的機構(gòu)，前述驅(qū)動馬達MT作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該轉(zhuǎn)子4的機構(gòu)。此夕卜，磁軸承MB和驅(qū)動馬達MT是公知的，因此省略其具體結(jié)構(gòu)的詳細說明。
[0025]轉(zhuǎn)子4在栗基座B上能夠旋轉(zhuǎn)地配置，被栗基座B和栗殼C包圍在內(nèi)部。另外，該轉(zhuǎn)子4為包圍定子柱3的外周的圓筒形狀，構(gòu)成為下述結(jié)構(gòu):由連結(jié)部4A將直徑不同的兩個筒體(第I筒體4B和第2筒體4C)在其筒軸向上連結(jié)，并且，由端部件4D將該第I筒體4B的上端面?zhèn)榷氯?br>[0026]在轉(zhuǎn)子4的內(nèi)側(cè)安裝有旋轉(zhuǎn)軸41，由內(nèi)置于前述定子柱3的磁軸承MB支承旋轉(zhuǎn)軸41，以及，由內(nèi)置于前述定子柱3的驅(qū)動馬達MT旋轉(zhuǎn)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸41，由此，轉(zhuǎn)子4構(gòu)成為，圍繞其軸心(前述旋轉(zhuǎn)軸41)能夠旋轉(zhuǎn)地被支承，并且圍繞其軸心被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。在該結(jié)構(gòu)的情況下，前述旋轉(zhuǎn)軸41、內(nèi)置于定子柱3的前述磁軸承MB及驅(qū)動馬達MT作為轉(zhuǎn)子4的支承及驅(qū)動機構(gòu)發(fā)揮功能。也可以借助與此不同的結(jié)構(gòu)將轉(zhuǎn)子4圍繞其軸心能夠旋轉(zhuǎn)地支承并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
[0027]圖1的真空栗P具備氣體流路R作為將氣體引導(dǎo)至排氣口2來從該排氣口 2向外部排出的機構(gòu)，前述氣體借助栗殼C內(nèi)的轉(zhuǎn)子4的旋轉(zhuǎn)被從吸氣口 IA吸入。
[0028]作為前述氣體流路R的一實施方式，在圖1的真空栗P中，該氣體流路R整體的前半段的吸氣側(cè)氣體流路RU比轉(zhuǎn)子4的連結(jié)部4A更靠上游的上游側(cè))由多個旋轉(zhuǎn)翼6和多個固定翼7形成，前述多個固定翼6被配設(shè)在轉(zhuǎn)子4的外周面，前述多個固定翼7經(jīng)由間隔件9被固定在栗殼C的內(nèi)周面，后半段的排氣側(cè)氣體流路R2(比轉(zhuǎn)子4的連結(jié)部4A更靠下游的下游側(cè))借助轉(zhuǎn)子4的外周面(具體來說是第2筒體4C的外周面)和與之對置的螺紋槽栗定子8形成為螺紋槽狀的流路。
[0029]若進一步詳細地說明吸氣側(cè)氣體流路Rl的結(jié)構(gòu)，則在圖1的真空栗P中，構(gòu)成吸氣側(cè)氣體流路Rl的旋轉(zhuǎn)翼6以轉(zhuǎn)子4旋轉(zhuǎn)中心等栗軸心為中心放射狀地排列配置多個。另一方面，構(gòu)成吸氣側(cè)氣體流路Rl的固定翼7以經(jīng)由間隔件9在栗徑向及栗軸向上被定位的形式固定配置于栗殼C的內(nèi)周側(cè)，并且，以栗軸心為中心放射狀地排列配置多個。
[0030]而且，在圖1的真空栗P中，構(gòu)成為，如前述那樣放射狀地配置的旋轉(zhuǎn)翼6和固定翼7沿著栗軸心交替多層配置，由此吸氣側(cè)氣體流路Rl被形成。
[0031]在由以上的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的吸氣側(cè)氣體流路Rl中，借助驅(qū)動馬達MT的開動，轉(zhuǎn)子4及多個旋轉(zhuǎn)翼6—體地高速旋轉(zhuǎn)，由此旋轉(zhuǎn)翼6將朝下方向的動量施加給從氣體吸氣口 IA入射的氣體分子。具有該朝下方向的動量的氣體分子借助固定翼7被向下層的旋轉(zhuǎn)翼側(cè)送入。如以上這樣的對氣體分子的動量的施加動作和送入動作重復(fù)多層地進行，由此氣體吸氣口側(cè)的氣體分子通過吸氣側(cè)氣體流路Rl，以向排氣側(cè)氣體流路R2的方向依次移動的方式被排出。
[0032]接下來，若進一步詳細地說明前述排氣側(cè)氣體流路R2的結(jié)構(gòu)，則在圖1的真空栗P中，構(gòu)成排氣側(cè)氣體流路R2的螺紋槽栗定子8為將轉(zhuǎn)子4的下游側(cè)外周面(具體來說為第2筒體4C的外周面，以下也一樣)包圍的環(huán)狀的固定部件，并且，配置為其內(nèi)周面?zhèn)雀糸_既定間隙地與轉(zhuǎn)子4的下游側(cè)外周面(具體來說為第2筒體4C的外周面)對置。
[0033]另外，在該螺紋槽栗定子8的內(nèi)周部形成有螺紋槽8A，螺紋槽8A的深度以朝向下方小徑化的圓錐形變化，從螺紋槽栗定子8的上端到下端螺旋狀地刻設(shè)。
[0034]而且，在圖1的真空栗P中