專利名稱：插板閥的密封結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種夾入電子紙、有機(jī)EL、薄膜太陽電池、液晶顯示裝置的濾色器等的基底材料以及其他片狀部件而進(jìn)行密封的插板閥的密封結(jié)構(gòu)，尤其涉及可以以小型的機(jī)械配置來提高插板閥的密封性能的插板閥的密封結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：


圖12是將上述的片狀部件間歇性地移送至真空腔或密封腔(下面統(tǒng)稱為“腔”)中，在停止于該腔內(nèi)的片狀部件的部件表面進(jìn)行PVD或CVD等加工的例如真空加工裝置的概念圖。
圖12的真空加工裝置在通過真空泵抽吸成真空的腔的出入口設(shè)置插板閥。該插板閥通過夾入片狀部件而封住該部件表面，從而隔開腔內(nèi)與其外部，使腔內(nèi)保持真空。關(guān)于 具有這種功能、構(gòu)成的插板閥，已被例如專利文獻(xiàn)I (參照該文獻(xiàn)I的圖2和圖3)所公開。
該文獻(xiàn)I中公開的插板閥(下面稱為“現(xiàn)有的插板閥”)具有使片狀部件插入而通過的彈性筒體35、使弾性筒體35在徑向發(fā)生彈性變形的上下活塞71A、71B(參照該文獻(xiàn)的圖2和圖3)。并且，在該插板閥中，通過上下活塞71A、71B使弾性筒體35向內(nèi)側(cè)撓曲，用撓 曲的彈性筒體35夾入片狀部件10，用彈性筒體35的內(nèi)表面封住所夾入的片狀部件10的部件兩面。
但是，在現(xiàn)有的插板閥中，用弾性筒體35夾入片狀部件10時(shí)，弾性筒體35的上下沒有硬度差，片狀部件可能發(fā)生變形，并且彈性筒體35必須分別與上部活塞71A和下部活塞71B連接，因此在維修等過程中需要更換彈性筒體35吋，更換作業(yè)非常費(fèi)事。并且，用彈性筒體35夾入片狀部件10時(shí)，弾性筒體35與片狀部件10的兩端肯定會(huì)產(chǎn)生微小間隙，因此用設(shè)置在腔的兩側(cè)的兩個(gè)插板閥保持腔內(nèi)高度真空是困難的。
作為保持腔內(nèi)的高真空的方法，可以采用除設(shè)置在腔的插板閥之外，增設(shè)差壓排氣腔和插板閥以及真空泵而進(jìn)行差壓排氣的方法，但這種方法存在因增設(shè)部件而導(dǎo)致裝置的機(jī)械構(gòu)成大規(guī)?；娜秉c(diǎn)。
需要說明的是，上述符號(hào)是專利文獻(xiàn)I中使用的符號(hào)。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-30754號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
本發(fā)明是為了解決如上所述的問題而提出的，其目的在于提供ー種以小型的設(shè)備配置適合獲得密封性和維護(hù)性良好的插板閥的插板閥密封結(jié)構(gòu)。
技術(shù)方案
為了解決上述目的，本發(fā)明所提供的夾入片狀部件進(jìn)行密封的插板閥的密封結(jié)
全文摘要
本發(fā)明提供適合以小型的設(shè)備配置得到密封性能良好的插板閥的插板閥的密封結(jié)構(gòu)。夾入片狀部件W進(jìn)行密封的插板閥密封結(jié)構(gòu)GV，包含具有擠推面(1)的擠推部件(2)；具有與擠推面(1)面對的承受面(3)的承受部件(4)；將一端開口到承受面(3)的通道(5)；對通道(5)的開口端周圍的間隙進(jìn)行密封的環(huán)狀的第一密封件(6)；在將擠推面(1)擠推到承受面(3)的狀態(tài)下觀察時(shí)，與第一密封件(6)相鄰的第二密封件(7)；將擠推面(1)擠推到承受面(3)時(shí)，由該擠推面(1)、承受面(3)、所述第一密封部件(6)和第二密封件(7)以及穿插通道(5)的片狀部件W包圍的空間(8)；與空間(8)連通的差壓排氣通道(9)，該空間(8)通過差壓排氣通道(9)進(jìn)行排氣，由此成為以差壓排氣對片狀部件W周圍的微小間隙進(jìn)行密封的差壓排氣密封的差壓室。
文檔編號(hào)F16K51/02GK102762905SQ20108006243
公開日2012年10月31日 申請日期2010年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月26日
發(fā)明者吉田秀彥 申請人:入江工研株式會(huì)社