本發(fā)明涉及一種迷宮式密封件、清洗單元及方法、溶液制膜方法。

背景技術(shù)：
作為清洗表面被污染的部件的方法有干冰清洗。干冰清洗為向附著有污染物的被清洗物的表面噴吹固體干冰顆粒(干冰雪)，通過(guò)干冰顆粒的碰撞及升華來(lái)從被清洗物的表面去除污染物的清洗方法。干冰清洗中，從清洗機(jī)噴出的干冰顆?；蚺鲎驳奖磺逑次锏谋砻娑鴱椈氐母杀w粒及氣體二氧化碳、從被清洗物剝離的污染物容易飛散到被清洗物或清洗機(jī)周圍。另一方面，作為薄膜的制造方法有溶液制膜方法。溶液制膜方法如公知，為如下方法：將包含聚合物與溶劑的濃液(dope)流延到移動(dòng)的流延支承體的表面來(lái)形成流延膜，從流延支承體剝?nèi)≡摿餮幽げ⑦M(jìn)行干燥，從而制造薄膜。工業(yè)方面較多情況下將薄膜制造成長(zhǎng)形，因此環(huán)狀的流延支承體上反復(fù)進(jìn)行流延與剝?nèi)?。通過(guò)該反復(fù)操作，在流延支承體上析出濃液中尤其聚合物成分中所含的物質(zhì)，而污染流延支承體。流延支承體大多為金屬制，為了去除污染物，有時(shí)在各種清洗方法中也優(yōu)選干冰清洗。并且，若每次清洗流延支承體時(shí)停止流延支承體的驅(qū)動(dòng)，則薄膜的生產(chǎn)率下降，因此清洗時(shí)優(yōu)選不停止流延支承體的驅(qū)動(dòng)，而進(jìn)行流延與剝?nèi)〉耐瑫r(shí)進(jìn)行清洗。因此，在日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)提出有進(jìn)行流延與剝?nèi)〉耐瑫r(shí)進(jìn)行流延支承體的干冰清洗，而抑制上述飛散的清洗方法。日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)所記載的清洗方法中，對(duì)從剝離流延膜的剝?nèi)∥恢贸蛄餮訚庖旱牧餮游恢玫牧餮又С畜w噴吹包含干冰顆粒的清洗氣體，來(lái)清洗流延支承體的表面。該日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)的方法中，噴吹清洗氣體的清洗噴嘴被腔室包圍，在腔室的與流延支承體對(duì)置的對(duì)置部設(shè)置有迷宮式密封件。日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)所記載的方法通過(guò)腔室抑制飛散，且通過(guò)迷宮式密封件的密封效果即通過(guò)阻止流體的流動(dòng)來(lái)進(jìn)一步抑制上述飛散。并且，日本專利公開(kāi)2011-067768號(hào)公報(bào)的涂布裝置中，在進(jìn)行簾式涂布的涂布裝置的上游設(shè)置迷宮式密封件，在迷宮式密封件的上游設(shè)置有吸引氣體的狹縫及吸引機(jī)構(gòu)。將從涂布對(duì)象物到狹縫開(kāi)口與迷宮式密封件前端的距離設(shè)為大致相同。日本專利公開(kāi)2011-067768號(hào)公報(bào)的涂布裝置通過(guò)迷宮式密封件得到密封效果，并且通過(guò)狹縫及吸引機(jī)構(gòu)吸引空氣的流動(dòng)，從而更有效地防止空氣流對(duì)簾式膜的影響。日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)的方法中，對(duì)于防止上述飛散有一定的效果。然而，日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)的方法中存在如下問(wèn)題：在繼續(xù)進(jìn)行流延與剝?nèi)〉倪^(guò)程中，迷宮式密封件上附著并凝固干冰顆?；驓怏w二氧化碳，凝固的干冰向迷宮式密封件及腔室的外部漏出。有時(shí)漏出到外部的固體干冰附著到流延支承體等部件或流延膜上。并且，如日本專利公開(kāi)2011-067768號(hào)公報(bào)所記載，在迷宮式密封件的上游設(shè)置狹縫及吸引機(jī)構(gòu)能夠示出比日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)更高的密封效果。但是，吸引力較弱，因此依然產(chǎn)生干冰顆?；驓怏w二氧化碳附著到迷宮式密封件和向外部飛出的問(wèn)題。并且，在流延制膜的流延環(huán)境中，有時(shí)迷宮式密封件在高溫下暴曬等、迷宮式密封件隨著溫度變化而膨脹。有時(shí)因該膨脹迷宮式密封件的外部尺寸變大，在繼續(xù)進(jìn)行流延與剝?nèi)〉倪^(guò)程中迷宮式密封件與流延支承體接觸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種迷宮式密封件，其不會(huì)使干冰顆?；驓饣亩趸几街⒐袒S持較高的密封效果，且抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。并且，本發(fā)明的目的在于提供一種具備這種迷宮式密封件且進(jìn)行干冰清洗的清洗單元及使用迷宮式密封件的清洗方法。并且，本發(fā)明的目的在于提供一種溶液制膜方法，其即使對(duì)連續(xù)進(jìn)行流延及剝?nèi)〉牧餮又С畜w進(jìn)行干冰清洗，也能夠抑制在迷宮式密封件的外部固化的干冰飛散，且即使升溫迷宮式密封件也不會(huì)與流延支承體碰撞。本發(fā)明的迷宮式密封件具備多個(gè)密封凸片與孔。多個(gè)密封凸片相互分開(kāi)而平行設(shè)置?？棕灤┬纬梢允箽怏w通過(guò)。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開(kāi)口。孔的另一端連接有吸引氣體的吸引部。優(yōu)選孔沿槽的長(zhǎng)邊方向形成有多個(gè)。本發(fā)明的清洗單元具備清洗機(jī)、殼體、迷宮式密封件及吸引部。清洗機(jī)通過(guò)使干冰顆粒噴出而與被清洗物的表面接觸來(lái)清洗被清洗物的表面。殼體覆蓋干冰顆粒所接觸的被清洗物的表面。迷宮式密封件設(shè)置于殼體的與被清洗物對(duì)置的對(duì)置部。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開(kāi)而平行設(shè)置?？棕灤┟詫m式密封件而形成以使氣體通過(guò)。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開(kāi)口。孔的另一端與殼體的內(nèi)部連接。吸引部通過(guò)吸引殼體內(nèi)部的氣體來(lái)回收從被清洗物的表面脫離的污染物。吸引部通過(guò)孔吸引密封凸片周圍的氣體。優(yōu)選孔的另一端經(jīng)由設(shè)置于殼體的管與殼體的內(nèi)部連接。優(yōu)選孔沿槽的長(zhǎng)邊方向形成有多個(gè)。優(yōu)選被清洗物為環(huán)狀的流延支承體，流延支承體上反復(fù)進(jìn)行溶液制膜的濃液的流延與通過(guò)流延形成的流延膜的剝?nèi)　?yōu)選清洗單元與從剝離流延膜的剝?nèi)∥恢贸蛄餮訚庖旱牧餮游恢玫牧餮又С畜w的表面對(duì)置而設(shè)置，槽的長(zhǎng)邊方向與流延支承體的寬度方向一致。優(yōu)選迷宮式密封件配設(shè)于流延支承體的表面的移動(dòng)方向上的清洗機(jī)的上游與下游中的至少任一方。本發(fā)明的清洗方法具備清洗步驟(A步驟)及吸引步驟(B步驟)。A步驟通過(guò)使干冰顆粒與被清洗物的表面接觸來(lái)清洗被清洗物的表面。B步驟通過(guò)在A步驟中吸引殼體內(nèi)部的氣體來(lái)回收從被清洗物的表面脫離的污染物。殼體設(shè)置成覆蓋干冰顆粒所接觸的被清洗物的表面。殼體的與被清洗物對(duì)置的對(duì)置部設(shè)置有迷宮式密封件。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開(kāi)而平行設(shè)置?？棕灤┟詫m式密封件而形成以使氣體通過(guò)。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開(kāi)口。孔的另一端與殼體的內(nèi)部連接。通過(guò)吸引并通過(guò)孔吸引多個(gè)密封凸片周圍的氣體。本發(fā)明的溶液制膜方法具備流延步驟(C步驟)、剝?nèi)〔襟E(D步驟)、干燥步驟(E步驟)、清洗步驟(F步驟)及吸引步驟(G步驟)。C步驟在沿長(zhǎng)邊方向移動(dòng)的環(huán)狀的流延支承體上流延包含聚合物與溶媒的濃液。D步驟從流延支承體剝?nèi)⊥ㄟ^(guò)C步驟形成的流延膜。E步驟對(duì)通過(guò)D步驟剝?nèi)〉牧餮幽みM(jìn)行干燥而作成薄膜。F步驟通過(guò)使干冰顆粒與從剝?nèi)∥恢贸蛄餮游恢玫牧餮又С畜w的流延濃液的表面接觸來(lái)清洗表面。剝?nèi)∥恢脼閯內(nèi)×餮幽さ奈恢?。流延位置為流延濃液的位置。G步驟回收在F步驟中通過(guò)吸引殼體內(nèi)部的氣體而從流延支承體的表面脫離的污染物。殼體設(shè)置成覆蓋干冰顆粒所接觸的流延支承體的表面。殼體的與流延支承體對(duì)置的對(duì)置部設(shè)置有迷宮式密封件。迷宮式密封件具有孔與多個(gè)密封凸片。多個(gè)密封凸片相互分開(kāi)而平行設(shè)置。孔貫穿迷宮式密封件而形成以使氣體通過(guò)。孔的一端向多個(gè)密封凸片之間的槽開(kāi)口?？椎牧硪欢伺c殼體的內(nèi)部連接。通過(guò)吸引并通過(guò)孔吸引多個(gè)密封凸片周圍的氣體。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的迷宮式密封件，即使用于干冰清洗，也不會(huì)使干冰顆粒或氣化的二氧化碳等附著并固化而維持較高的密封效果，且抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的清洗單元，不會(huì)使干冰顆?；驓饣亩趸嫉雀街⒐袒S持較高的密封效果，并且迷宮式密封件抑制因基于升溫導(dǎo)致的膨脹而外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的清洗方法，干冰清洗中固化的二氧化碳不會(huì)附著到迷宮式密封件而維持較高的密封效果，并且即使迷宮式密封件在高溫下暴曬也防止外部尺寸變大。根據(jù)本發(fā)明的溶液制膜方法，即使對(duì)連續(xù)進(jìn)行流延及剝?nèi)〉牧餮又С畜w進(jìn)行干冰清洗，也可抑制在迷宮式密封件的外部固化的干冰飛散，即使升溫迷宮式密封件也不會(huì)與流延支承體碰撞。附圖說(shuō)明圖1是表示溶液制膜設(shè)備的概略圖。圖2是表示清洗單元的概略的局部截面?zhèn)纫晥D。圖3是表示迷宮式密封件的概略的截面圖。圖4是沿圖3的IV-IV線的截面圖。圖5是表示迷宮式密封件的概略的截面圖。具體實(shí)施方式參考圖1，對(duì)通過(guò)溶液制膜方法制造薄膜的溶液制膜設(shè)備的一例進(jìn)行說(shuō)明。圖1所示的溶液制膜設(shè)備10從上游側(cè)依次具備流延裝置11、拉幅機(jī)12、狹縫裝置16、干燥裝置17及卷取裝置18。流延裝置11具備滾筒21、流延模22、減壓腔室23、剝?nèi)≥?6、溫度控制器27、溫度控制器28、清洗單元31、流延腔室32。流延腔室32容納滾筒21、流延模22、減壓腔室23、剝?nèi)≥?6及清洗單元31。滾筒21為金屬制流延支承體。滾筒21具有驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)，其通過(guò)該驅(qū)動(dòng)裝置向恒定方向旋轉(zhuǎn)。圖1中對(duì)表示滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向的箭頭附加符號(hào)X。若供給聚合物溶解于溶媒的濃液33，則流延模22流出該濃液33。流延模22配設(shè)成濃液33的流出口即狹縫(未圖示)與滾筒21對(duì)置。通過(guò)從流延模22朝向旋轉(zhuǎn)中的滾筒21的周面21a流出濃液33，周面21a上形成由濃液33構(gòu)成的流延膜36。以下，將周面21a中流延濃液33的位置(開(kāi)始形成流延膜36的位置)稱為流延位置PC。減壓腔室23配設(shè)于滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的流延模22的上游。減壓腔室23將待減壓的空間與外部空間隔開(kāi)。減壓腔室23的與流延模22及滾筒21對(duì)置的對(duì)置部被開(kāi)放。若減壓腔室23通過(guò)吸引機(jī)(未圖示)其內(nèi)部的氣體被吸引，則內(nèi)部成為減壓狀態(tài)。由此，滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的上游側(cè)區(qū)被減壓，從流延模22流出的濃液33穩(wěn)定且連續(xù)地流延到周面21a。溫度控制器27調(diào)整流延腔室32內(nèi)部的溫度，且溫度控制器28調(diào)整滾筒21的周面21a的溫度。通過(guò)這些溫度調(diào)整，朝向剝?nèi)≥?6的流延膜36凝固成可進(jìn)行剝?nèi)∨c傳送的程度。例如，通過(guò)將滾筒21的周面21a冷卻為10℃以下，流延膜36被冷卻而凝膠化。并且，通過(guò)將滾筒21的周面21a與流延腔室32的溫度加熱成高于室溫的溫度，濃液33的溶劑成分從流延膜36蒸發(fā)而使流延膜36干燥而凝膠化。剝?nèi)≥?6配設(shè)于滾筒21的附近，由周面支承從滾筒21剝離的流延膜36即濕潤(rùn)薄膜37。由此剝?nèi)≥?6恒定保持從滾筒21剝離流延膜36的剝?nèi)∥恢肞P。滾筒21的周面21a以從流延位置PC通過(guò)剝?nèi)∥恢肞P而返回到流延位置PC的方式循環(huán)，因此為沿長(zhǎng)邊方向移動(dòng)的環(huán)狀的流延面。清洗單元31為用于清洗滾筒21的周面21a的單元，與從剝?nèi)∥恢肞P朝向流延位置PC的周面21a對(duì)置而配設(shè)。關(guān)于清洗單元31的詳細(xì)內(nèi)容利用另一附圖進(jìn)行后述。通過(guò)剝?nèi)⌒纬傻臐駶?rùn)薄膜37由輥38傳送而引導(dǎo)至拉幅機(jī)12。拉幅機(jī)12中，用作為保持構(gòu)件的例如針(未圖示)等保持濕潤(rùn)薄膜37的側(cè)端部，由該保持構(gòu)件傳送的同時(shí)對(duì)濕潤(rùn)薄膜37進(jìn)行干燥。作為保持構(gòu)件使用針時(shí)，通過(guò)使針貫穿濕潤(rùn)薄膜37的側(cè)端部，來(lái)保持濕潤(rùn)薄膜37。各側(cè)端部的保持構(gòu)件對(duì)濕潤(rùn)薄膜37的寬度方向施加適當(dāng)張力的同時(shí)沿傳送方向移動(dòng)。張力根據(jù)應(yīng)制造的薄膜41的光學(xué)性能(例如相位差)等設(shè)定。例如，為了在薄膜41中發(fā)現(xiàn)目標(biāo)光學(xué)性能，而以預(yù)定的加寬率擴(kuò)大濕潤(rùn)薄膜37的寬度時(shí)，以成為預(yù)定加寬率的方式對(duì)濕潤(rùn)薄膜37賦予寬度方向的張力。拉幅機(jī)12具有包圍傳送路的腔室(未圖示)，拉幅機(jī)12的腔室的內(nèi)部具備導(dǎo)管(未圖示)。導(dǎo)管(未圖示)上與濕潤(rùn)薄膜37的傳送路對(duì)置分別形成有多個(gè)進(jìn)氣噴嘴(未圖示)與吸引噴嘴(未圖示)。通過(guò)進(jìn)氣噴嘴送出干燥氣體和吸引噴嘴吸引氣體，拉幅機(jī)12的腔室內(nèi)部保持恒定的濕度及溶劑氣體濃度。通過(guò)使?jié)駶?rùn)薄膜37通過(guò)拉幅機(jī)12的腔室內(nèi)部來(lái)對(duì)其進(jìn)行的干燥。根據(jù)制造的薄膜41的光學(xué)性能，可串聯(lián)配設(shè)多個(gè)拉幅機(jī)12，由此可進(jìn)行在寬度方向的張力賦予或加熱或干燥等。當(dāng)串聯(lián)配設(shè)多個(gè)拉幅機(jī)12時(shí)，有如下形態(tài)，即將最上游的拉幅機(jī)12的保持構(gòu)件作為針，將其他拉幅機(jī)的保持構(gòu)件設(shè)為夾子。在狹縫裝置16中，經(jīng)過(guò)拉幅機(jī)12的濕潤(rùn)薄膜37由切斷刀具連續(xù)切斷并去除留有基于保持構(gòu)件的保持痕跡的各側(cè)端部。一方的側(cè)端部與另一方的側(cè)端部之間的中央部送到干燥裝置17。若濕潤(rùn)薄膜37送至干燥裝置17，則由沿傳送方向并列配設(shè)的多個(gè)輥42的周面支承。這些輥42中有沿周向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥，濕潤(rùn)薄膜37通過(guò)該驅(qū)動(dòng)輥的旋轉(zhuǎn)傳送。干燥裝置17具備流出已干燥的氣體的導(dǎo)管(未圖示)，且具有與外部隔開(kāi)送入干燥氣體的空間的腔室(未圖示)。多個(gè)輥42容納于該腔室內(nèi)。干燥裝置17的腔室內(nèi)形成有排氣口(未圖示)，通過(guò)從導(dǎo)管送出干燥氣體和從排出口排氣，干燥裝置17的腔室內(nèi)部保持恒定的濕度及溶劑氣體濃度。通過(guò)該干燥裝置17的腔室內(nèi)部，由此濕潤(rùn)薄膜37進(jìn)行干燥而成為薄膜41。在干燥裝置17中干燥的薄膜41送至卷取裝置18而卷取成輥狀。另外，可在干燥裝置17與卷取裝置18之間設(shè)置狹縫裝置(未圖示)，通過(guò)該狹縫裝置切斷去除各側(cè)端部。并且，也可在干燥裝置17與卷取裝置18之間設(shè)置滾花裝置(圖示)，通過(guò)該滾花裝置進(jìn)行對(duì)薄膜41的各側(cè)端部賦予微細(xì)的凹凸的滾花處理。圖1中示出作為流延支承體使用滾筒21的情況。但是，流延支承體也可為卷繞于多個(gè)輥(未圖示)的周面的環(huán)狀傳送帶(未圖示)。將傳送帶設(shè)為流延支承體時(shí)，將卷繞有傳送帶的多個(gè)輥中的至少1個(gè)輥設(shè)為沿周向旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)輥的旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)帶沿長(zhǎng)邊方向傳送，連續(xù)反復(fù)進(jìn)行環(huán)繞。將傳送帶設(shè)為流延支承體時(shí)，能夠?qū)⒕砝@有傳送帶的輥設(shè)為可調(diào)整周面溫度的輥，通過(guò)該輥控制傳動(dòng)帶的溫度即可。如此，本發(fā)明不將流延支承體限定為滾筒21。如圖2所示，清洗單元31與滾筒21對(duì)置配設(shè)。清洗單元31與在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的剝?nèi)≥?6的下游、減壓腔室23的上游即從剝?nèi)∥恢肞P朝向流延位置PC的周面21a對(duì)置配設(shè)。通過(guò)該清洗單元31去除附著于滾筒21的周面21a的污染物來(lái)清洗滾筒21。當(dāng)濃液33的聚合物成分為纖維素?；飼r(shí)，該污染物中主要含有從滾筒上的流延膜36析出的脂肪酸酯、脂肪酸、脂肪酸金屬鹽等。清洗單元31具備清洗機(jī)51和殼體52。清洗機(jī)51具有干冰生成部53、氣體供給部54及噴嘴55。噴嘴55上形成有第1供給口55a、第2供給口55b及噴出口55c。干冰生成部53通過(guò)管58與第1供給口55a連接。氣體供給部54通過(guò)管59與第2供給口55b連接。干冰生成部53生成具有預(yù)定范圍的粒徑的升華固體干冰顆粒62。生成的干冰顆粒62經(jīng)由管58供給到噴嘴55的第1供給口55a。氣體供給部54中填充有壓縮成預(yù)定壓力的氣體63。作為氣體供給部54例如有氣體罐。作為氣體63例如有氮等惰性氣體。氣體供給部54經(jīng)由管59將氣體63供給到噴嘴55的第2供給口55b。氣體供給部54具有控制器(未圖示)，通過(guò)該控制器控制供給的氣體63的量或供給時(shí)的氣體63的流量。另外，氣體63不限于惰性氣體，也可為例如空氣(Air)等。噴嘴55以相對(duì)周面21a站立的姿勢(shì)配設(shè)以使噴出口55c朝向滾筒21的周面21a。另外，本實(shí)施方式中，如圖2所示，從側(cè)面觀察滾筒21時(shí)，噴嘴55以相對(duì)周面21a沿垂直的方向站立的姿勢(shì)配設(shè)。噴嘴55的噴出口55c為細(xì)長(zhǎng)的矩形狹縫，但可以不是嚴(yán)格的矩形。噴嘴55配設(shè)成噴出口55c的長(zhǎng)邊方向與周面21a的寬度方向(圖2的紙面的縱深方向)Y(參考圖4)一致。一致可以不是嚴(yán)格的一致，也可大致一致。噴出口55c在周面21a的寬度方向Y的長(zhǎng)度與周面21a的寬度相等以便可清洗周面21a的全寬區(qū)域，但也可以比周面21a的寬度短。相等可以不是嚴(yán)格的相等，也可為大致相等。當(dāng)比周面21a的寬度短時(shí)，噴嘴55上設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(未圖示)，通過(guò)沿寬度方向Y移動(dòng)自如，來(lái)清洗周面21a的全寬區(qū)域。噴嘴口55c的形狀代替沿寬度方向Y延伸的狹縫可為圓形、大致圓形或多邊形、大致多邊形，此時(shí)也在噴嘴55設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(未圖示)而沿寬度方向Y移動(dòng)自如。另外，本實(shí)施方式中，噴嘴55插通于構(gòu)成殼體52的殼體主體64在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上的大致中央而被固定。噴嘴55的噴出口55c為比周面21a的寬度短的狹縫或者圓形、大致圓形、多邊形、大致多邊形時(shí)，殼體主體64上也設(shè)置位移機(jī)構(gòu)(圖示)，使其與固定于殼體主體64的噴嘴55同步移動(dòng)即可。噴嘴55上形成有連通第2供給口55b與噴出口55c之間的第1流路(未圖示)。并且，噴嘴55上形成有連通第1供給口55a與第1流路的第2流路(未圖示)。由此，引導(dǎo)至第1流路的氣體63在第1流路與來(lái)自第2流路的干冰顆粒62混合。在以下的說(shuō)明中，將通過(guò)混合干冰顆粒62與氣體63生成的氣體稱為清洗氣體67。清洗氣體67從噴出口55c噴出而與滾筒21的周面21a接觸。以下，將被噴吹該清洗氣體67的周面21a的區(qū)稱為清洗區(qū)。本實(shí)施方式中，由干冰生成部53預(yù)先生成干冰顆粒62，將該干冰顆粒62送入噴嘴55，但不限于此。例如，可將液態(tài)二氧化碳送入噴嘴(未圖示)，在該噴嘴內(nèi)生成固體干冰顆粒62。如此，可使用周知的干冰清洗構(gòu)件來(lái)代替清洗機(jī)51。若清洗氣體67噴吹到滾筒的周面21a，則該清洗氣體67中所含的干冰顆粒62與附著于滾筒周面21a的污染物碰撞。通過(guò)該碰撞，污染物被粉碎并從周面21a去除。由此，不會(huì)殘留清洗痕跡，去除滾筒21的周面21a上的污染物。被去除的污染物與清洗氣體67一同向滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X或與旋轉(zhuǎn)方向X相反的方向等流動(dòng)。殼體52具有殼體主體64、排氣部71、控制器73、迷宮式密封件76、77。殼體主體64為與周面21a對(duì)置開(kāi)放的箱型形狀，將寬度方向Y的長(zhǎng)度設(shè)為比滾筒21的周面21a的寬度稍微長(zhǎng)。由此，殼體主體64覆蓋清洗區(qū)，將清洗區(qū)的周圍空間與外部空間隔開(kāi)。由此，限制來(lái)自噴出口55c的清洗氣體67、與周面21a接觸而飄起的清洗氣體67及從周面21a脫離的污染物的飛散范圍。殼體主體64在寬度方向Y的長(zhǎng)度可根據(jù)噴出口55c在寬度方向Y的長(zhǎng)度設(shè)定，例如，噴出口55c在寬度方向Y的長(zhǎng)度較短時(shí)，也可與其對(duì)應(yīng)地縮短。與周面21a對(duì)置的殼體主體64的開(kāi)放口64a向滾筒21的周面21a的寬度方向延伸而形成，以便包圍形成有噴出口55c的噴嘴55的前端。開(kāi)放口64a以不妨礙從噴嘴55噴吹清洗氣體67的方式形成，并且成為從周面21a脫離的污染物引導(dǎo)至殼體主體64的內(nèi)部的引導(dǎo)路。殼體主體64的上部形成有第1排氣口64b，側(cè)部形成有第2排氣口64c。但是第1排氣口64b、第2排氣口64c的位置沒(méi)有特別限定。第1排氣口64b通過(guò)管78與排氣部71連接。排氣部71吸引殼體主體64內(nèi)部的氣體，將殼體主體64的內(nèi)部設(shè)為壓力低于外部的減壓狀態(tài)，并吸引清洗區(qū)附近的氣體。由此，從周面21a脫離的污染物與清洗氣體67一同被吸引。由此，殼體主體64將待減壓的空間與外部空間隔開(kāi)。排氣部71凈化吸引的氣體并排出并且回收通過(guò)凈化而從氣體分離的固體。由此，清洗氣體67中所含的氣體向外部排出，包含于清洗氣體67的固體即污染物被回收。通過(guò)排氣部71吸引的氣體流量可根據(jù)滾筒21的轉(zhuǎn)速或來(lái)自噴嘴55的清洗氣體67的噴出流量變化。并且來(lái)自噴嘴55的清洗氣體67的噴出流量可根據(jù)周面21a的污染程度等變化。迷宮式密封件76、77安裝于與周面21a對(duì)置的殼體主體64的對(duì)置面64d，密封殼體主體64與周面21a之間。由此，抑制清洗氣體67與從周面脫離的污染物向殼體主體64的外部流出。如上，通過(guò)與清洗氣體67一同吸引從周面21a剝離的污染物，抑制污染物向殼體主體64的外部飛散。并且，假設(shè)污染物不與清洗氣體67一同被吸引，也可通過(guò)迷宮式密封件76、77抑制包含污染物的清洗氣體67向殼體主體64的外部流出。因此，即使?jié)庖?3的流延期間，也不會(huì)影響流延膜36或從流延模22流出的濃液(流延液珠)33，而滾筒21的清洗順利地進(jìn)行。迷宮式密封件76、77可遍及殼體主體64的對(duì)置面64d的整體，即從圖2的下方觀察殼體主體64的包圍開(kāi)放口64a的整周來(lái)進(jìn)行設(shè)置。但是清洗移動(dòng)的滾筒21的周面21a時(shí)，只要在對(duì)置面64d中的旋轉(zhuǎn)方向X上的清洗機(jī)51的上游與下游中的至少任意一方設(shè)置即可。優(yōu)選的實(shí)施形態(tài)為如圖2所示在清洗機(jī)51的上游與下游的兩個(gè)對(duì)置面64d設(shè)置迷宮式密封件76、77的形態(tài)。對(duì)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)方向X上的清洗機(jī)51的上游的對(duì)置面64d的迷宮式密封件添加符號(hào)76，對(duì)設(shè)置于清洗機(jī)51的下游的對(duì)置面64d的迷宮式密封件添加符號(hào)77。如圖2所示，迷宮式密封件76、77設(shè)置成向殼體主體64的內(nèi)部側(cè)突出。并且，迷宮式密封件76的上游側(cè)側(cè)面設(shè)為與殼體主體64的上游側(cè)側(cè)面呈同一水平面，迷宮式密封件77的下游側(cè)側(cè)面設(shè)為與殼體主體64的下游側(cè)側(cè)面呈同一水平面，并且，迷宮式密封件76、77上貫穿形成有如后述氣體通過(guò)的孔101～104(參考圖3、圖4)，殼體52上設(shè)置有與該孔101～104連接的管82。管82的一端連接于第2排氣口64c，另一端連接于迷宮式密封件76、77。管82配設(shè)于殼體主體64及迷宮式密封件76、77的外部空間側(cè)。由此，迷宮式密封件76、77經(jīng)由殼體主體64的內(nèi)部與排氣部71連接。如上述排氣部71將殼體主體64的內(nèi)部設(shè)為減壓狀態(tài)，由此，從迷宮式密封件76、77的多個(gè)密封凸片(以下僅稱為凸片)85～88(參考圖3)之間吸引其周圍的氣體?？刂破?3控制基于排氣部71的氣體的吸引力。迷宮式密封件76與迷宮式密封件77具有相同結(jié)構(gòu)及功能，因此以下對(duì)迷宮式密封件77進(jìn)行說(shuō)明，而對(duì)迷宮式密封件76省略說(shuō)明。如圖3所示，迷宮式密封件77具有多個(gè)凸片85～88。在圖3中，對(duì)于凸片從靠近噴嘴55的側(cè)依次添加符號(hào)85、86、87、88。各凸片85～88向與周面21a的寬度方向Y大致一致的方向延伸，多個(gè)凸片85～88在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向X上相互分開(kāi)。由此在各凸片85～88之間向與周面21a的寬度方向Y大致一致的方向延伸形成槽91～93。與周面21a的寬度方向Y一致的方向可以不是嚴(yán)格一致的方向，也可大致一致。具體而言，是指與周面21a的寬度方向Y所成的角度大概在3°以內(nèi)。另外，圖3中對(duì)于槽從靠近噴嘴55的側(cè)依次添加符號(hào)91、92、93。凸片85為朝向周面21a尖端變細(xì)地形成且截面大致V字形，具有相對(duì)周面21a大致垂直的垂直面85a與如圖3從側(cè)方觀察時(shí)傾斜的斜面85b。凸片85配設(shè)成垂直面85a朝向噴嘴55。凸片86～88也與凸片85相同地具有大致V字形的截面，且具有垂直面86a～88a與斜面86b～88b。并且，凸片86～88的垂直面86a～88a朝向與凸片85的垂直面85a相同的方向，垂直面85a～88a相互大致平行，斜面85b～88b相互大致平行。從圖3的下方觀察凸片85～88時(shí)，凸片85～88的直線狀的前端也相互大致平行。如上，凸片85～88在厚度方向平行形成。平行不限于嚴(yán)格的平行，也可大致平行。具體而言，所成的角在大致0°以上3°以下的范圍內(nèi)。凸片的形狀或方向不限于上述形態(tài)，但通過(guò)如上述的凸片的形狀及方向密封效果更可靠，且更有效地抑制來(lái)自噴出口55c的清洗氣體67、碰撞到周面21a而向周面21a飄起的清洗氣體67及從周面21a脫離的污染物向外部流出。凸片85～88具有相互相同的高度，如圖3從側(cè)方觀察時(shí)凸片85～88的前端在直線上排列。如圖3從側(cè)方觀察時(shí)周面21a時(shí)呈圓弧，因此從凸片85～88各自的前端到周面21a的距離互不相同。優(yōu)選在凸片85～88中距周面21a的距離最短的凸片的周面21a到前端的距離大概設(shè)為1mm以上5mm以下。如圖3及圖4所示，迷宮式密封件77形成有截面為大致圓形的多個(gè)孔101～104?？?01貫穿形成以使氣體通過(guò)迷宮式密封77的內(nèi)部。孔101由第1通過(guò)路109a、從該第1通過(guò)路109a分支的3個(gè)第2通過(guò)路106a、107a、108a構(gòu)成。第2通過(guò)路106a的端部向槽91開(kāi)口，第2通過(guò)路107a的端部向槽92開(kāi)口，第2通過(guò)路108a的端部向槽93開(kāi)口。第1通過(guò)路109a的端部向迷宮式密封件77的與噴嘴55側(cè)相反的壁面77a開(kāi)口。本實(shí)施方式中，3個(gè)槽91～93上均設(shè)置有孔101的開(kāi)口，因此孔101的第2通過(guò)路的數(shù)量為3個(gè)，但是第2通過(guò)路的數(shù)量不限于3個(gè)。例如，僅在這些槽91～93的一部分設(shè)置第2通過(guò)路時(shí)、或?qū)⑼蛊臄?shù)量設(shè)為少于例如本實(shí)施方式時(shí)，如第2通過(guò)路的數(shù)量為1個(gè)或2個(gè)，少于本實(shí)施方式所示的情況。并且，將凸片的數(shù)量設(shè)為多于本實(shí)施方式時(shí)，第2通過(guò)路的數(shù)量也可為4以上。最優(yōu)選的形態(tài)為孔101的第2通過(guò)路以向所形成的所有槽91～93開(kāi)口的方式設(shè)置。優(yōu)選如圖3從側(cè)方觀察時(shí)第2通過(guò)路106a～108a在槽91～93中的開(kāi)口形成為成為槽91～93的各中央。但是，不限于該形態(tài)，例如也可將第2通過(guò)路106a～108a各自的開(kāi)口分別靠近凸片85側(cè)、凸片86側(cè)、凸片87側(cè)形成，或者也可靠近凸片86側(cè)、凸片87側(cè)、凸片88側(cè)形成?？?02～孔104也具有與孔101相同的結(jié)構(gòu)。即，孔102具有第1通過(guò)路109b與3個(gè)第2通過(guò)路106b～108b，孔103具有第1通過(guò)路109c與3個(gè)第2通過(guò)路106c～108c，孔104具有第1通過(guò)路109d與3個(gè)第2通過(guò)路106d～108d。如上，4個(gè)第2通過(guò)路106a～106d向槽91開(kāi)口，4個(gè)第2通過(guò)路107a～107d向槽92開(kāi)口，4個(gè)第2通過(guò)路108a～108d向槽93開(kāi)口。本實(shí)施方式中示出迷宮式密封件77具有4個(gè)孔101～104的情況，但是孔的數(shù)量不限于4個(gè)，也可為1以上3以下，或5以上。因此，向各槽91～93開(kāi)口的第2通過(guò)路的數(shù)量也可為1以上3以下，或5以上。迷宮式密封件77在朝向與噴嘴55相反側(cè)的壁面77a具有集合管111。集合管111與形成于壁面77a的第1通過(guò)路109a～109d各自的開(kāi)口連接，集合口111的內(nèi)部與第1通過(guò)路109a～109d連通。集合口111與管82連接。由此，各孔101～104經(jīng)由集合管111及管82與排氣部71(參考圖2)連接。通過(guò)以上的結(jié)構(gòu)，迷宮式密封件77具有以下的作用。若排氣部71吸引氣體，則殼體主體64的內(nèi)部被減壓，由此，集合管111的內(nèi)部、孔101～104的第1通過(guò)路109a～109d、第2通過(guò)路106a～108a、106b～108b、106c～108c、106d～108d被減壓。通過(guò)該減壓，包含槽91～93中的氣體在內(nèi)，凸片85～88周圍的氣體通過(guò)孔101～104引導(dǎo)至殼體主體64，被吸引到排氣部71。另一方面，若清洗氣體67從噴嘴55的噴出口55c噴出，則清洗氣體67與周面21a接觸，向清洗區(qū)上飄起。有時(shí)清洗氣體67的一部分不會(huì)與周面21a接觸而在周面21a上浮游。如此，在清洗區(qū)上的清洗氣體67的大部分通過(guò)殼體主體64的內(nèi)部由排氣部71吸引，但微量的清洗氣體67沒(méi)有引導(dǎo)至殼體主體64且因迷宮式密封件77的密封效果移動(dòng)速度減弱，在凸片85～88的周圍，尤其在槽91～93滯留。滯留的清洗氣體67含于凸片85～88周圍的氣體中，并且依次通過(guò)管82、殼體主體64的內(nèi)部，由排氣部71吸引。如此，沒(méi)有引導(dǎo)至殼體主體64的內(nèi)部而滯留在凸片85～88周圍的微量的清洗氣體67依次引導(dǎo)至一端向槽91～93開(kāi)口的孔101～104、管82、殼體主體64的內(nèi)部而被吸引到排氣部71。由此，清洗氣體67中所含的固體干冰顆粒或該干冰顆粒氣化的二氧化碳不會(huì)附著凝固到迷宮式密封件77上，且不會(huì)向殼體主體64的外部飛散。因此，不會(huì)因凝固的干冰或該干冰中所含的污染物而污染薄膜41或包括滾筒21在內(nèi)的流延裝置11。并且，排氣部71通過(guò)控制器73控制氣體的吸引力。因此，殼體主體64中有效地吸入較多清洗氣體67及污染物，并且根據(jù)向殼體主體64的吸引力而孔101～104的吸引力也被控制。并且，可根據(jù)周面21a的移動(dòng)速度設(shè)定排氣部71的吸引力。并且，即使迷宮式密封件77通過(guò)基于溫度控制器27、28的流延裝置11的內(nèi)部或滾筒21的加熱以及流延模22的加熱等而成為高溫，由于迷宮式密封件77形成有孔101～104，因此抑制迷宮式密封件77的外部尺寸的變化。由此，即使迷宮式密封件77成為高溫，凸片85～88也不會(huì)與周面21a接觸。另外，本實(shí)施方式的迷宮式密封件77形成有截面為圓形(包括大致圓形)的孔101～104，但孔的形態(tài)不限于此。例如可設(shè)為截面為矩形的孔來(lái)代替孔101～104。優(yōu)選第2通過(guò)路106a～108a、106b～108b、106c～108c、106d～108d的各直徑D1大概為3mm以上10mm以下的范圍，更優(yōu)選大概為5mm以上7mm以下的范圍。優(yōu)選第1通過(guò)路109a～109d的各直徑D1大概為5mm以上15mm以下的范圍內(nèi)，更優(yōu)選大概為8mm以上12mm以下的范圍。優(yōu)選第1通過(guò)路109a的直徑D1大于第2通過(guò)路106a～108a的直徑D2。由此第2通過(guò)路106a～108a更可靠地被減壓，使清洗氣體67更可靠地吸引到第2通過(guò)路106a～108a。關(guān)于第1通過(guò)路109b、109c、109d也相同，優(yōu)選分別使內(nèi)徑大于第2通過(guò)路106b～108b、106c～108c、106d～108d。設(shè)為截面不是圓形(包括大致圓形)形狀的孔，例如設(shè)為矩形孔來(lái)代替孔101～104時(shí)，優(yōu)選第1通過(guò)路的截面面積大于第2通過(guò)路的截面面積。優(yōu)選將集合管111的內(nèi)徑D3設(shè)為大于第1通過(guò)路109a～109d的直徑D1。由此，第1通過(guò)路109a～109d更可靠地被減壓，清洗氣體67更可靠地被吸引到排氣部71。優(yōu)選槽93的第2通過(guò)路108a～108d的間距L1大概為10mm以上50mm以下的范圍內(nèi)，更優(yōu)選大概為20mm以上40mm以下的范圍內(nèi)。槽91的第2通過(guò)路106a～106d的間距、槽92的第2通過(guò)路107a～107d的間距也相同。圖3、圖4示出集合管111上連接有2根管82的情況，但管82的數(shù)量沒(méi)有特別限定。管82的數(shù)量、或設(shè)置多個(gè)管82時(shí)的管82的間距根據(jù)周面21a的寬度方向Y上的凸片85～88的長(zhǎng)度L2、或集合管111的長(zhǎng)度、管82的內(nèi)徑等設(shè)定即可。例如，周面21a的寬度方向Y上的凸片85～88的長(zhǎng)度L2及集合管111的長(zhǎng)度大概為300mm時(shí)，沿周面21a的寬度方向Y并列配設(shè)2個(gè)內(nèi)徑大概為20mm的管82，且將管82的間距大概設(shè)在150mm的范圍內(nèi)即可。另外，管82的間距是指在周面21a的寬度方向Y上并列配設(shè)的管82與管82之間的距離。并且，也可代替第2通過(guò)路106a～106d，或者在其基礎(chǔ)上，設(shè)為如槽91具有向槽91的長(zhǎng)邊方向延伸的狹縫狀開(kāi)口的截面呈狹縫形狀的第2通過(guò)路(未圖示)。關(guān)于第2通過(guò)路107a～107d、108a～108d也相同。也可將迷宮式密封件77代替成圖5所示的迷宮式密封件120。迷宮式密封件120具備密封凸片部件(以下稱為凸片部件)121～125、位移機(jī)構(gòu)127、控制器128。凸片部件121～125具有凸片131～135，所述凸片131～135具有與凸片85～88相同的截面大致V字形。以這些凸片131～135的垂直面131a～135a朝向相同方向的方式組合凸片131～135，從而迷宮式密封件120中在各凸片131～135之間形成槽。凸片部件121～125相互滑動(dòng)接觸并沿著垂直面131a～135a的方向變位自如。位移機(jī)構(gòu)127使凸片部件121～125各自獨(dú)立變位。控制器128為了調(diào)整凸片部件121～125的各變位量而控制位移機(jī)構(gòu)127。各凸片部件121～125調(diào)整配設(shè)為從周面21a到前端131c～135c的距離L3相互相等。由此，從前端131c～135c到周面21a的距離L3相互相等，更有效地提高基于迷宮式密封件120的密封效果，因此使沒(méi)有吸引到殼體主體64內(nèi)部的微量的清洗氣體67更可靠地滯留在各凸片131～135之間。滯留的清洗氣體67由排氣部71通過(guò)孔140而引導(dǎo)至集合管111，并依次通過(guò)管82、殼體主體64的內(nèi)部而被吸引、回收。與迷宮式密封件77相同，迷宮式密封件120形成有貫穿內(nèi)部的孔140，因此即使成為高溫，外部尺寸的變化也得到抑制。由此，即使迷宮式密封件120成為高溫，凸片131～135不會(huì)與周面21a接觸。另外，也可使用與迷宮式密封件120相同的迷宮式密封件(未圖示)來(lái)代替迷宮式密封件76。迷宮式密封件77、120從各凸片85～88之間、各凸片131～135之間吸引氣體，因此比由周面21a的距離與凸片的前端相同的狹縫等被吸引時(shí)顯示非常強(qiáng)的吸引力。因此，能夠代替現(xiàn)存的迷宮式密封件來(lái)設(shè)置，并且更可靠地防止固化的干冰附著。假設(shè)即使迷宮式密封件77、120上附著固化的干冰也通過(guò)排氣部71可靠地吸引、回收。優(yōu)選周面21a的移動(dòng)速度越快越增加清洗氣體67的噴出量或加速吹出速度。但是，伴隨此，在以往的迷宮式密封件上干冰附著量增多。因此，迷宮式密封件77、120及具備這些的清洗單元31、使用迷宮式密封件77、120的清洗方法，當(dāng)周面21a的移動(dòng)速度越快則以上的效果越顯著。迷宮式密封件77、120一同使用通過(guò)干冰清洗被清洗物的清洗機(jī)51，但是也可與其他清洗機(jī)一同使用。例如，與將液體噴出并噴吹到被清洗物來(lái)去除污染物的清洗機(jī)一同使用時(shí)，污染物與液體的吸引更可靠，因此更可靠地抑制液體及污染物向殼體主體64的外部飛散。并且，即使不與清洗機(jī)一同使用，在溫度變化劇烈的環(huán)境下要求密封效果時(shí)，迷宮式密封件77、120伴隨升溫的外部尺寸的變化被抑制，因此不會(huì)與對(duì)置物碰撞而維持密封效果。并且，清洗單元31能夠廣泛用于通過(guò)干冰顆粒的噴吹進(jìn)行的清洗，也可用于清洗與溶液制膜的流延支承體不同的部件。以下，本發(fā)明中，作為濃液33的原料的聚合物及溶媒為通過(guò)溶液制膜制造薄膜41的周知的物質(zhì)即可。作為基于清洗氣體67的清洗尤其優(yōu)選的聚合物的例子可舉出纖維素?；?。以下，示出實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。但是，本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。[實(shí)施例1]通過(guò)溶液制膜設(shè)備10制造薄膜41。迷宮式密封件77的第2通過(guò)路106a～106d、107a～107d、108a～108d的各直徑D2相互相等，示于表1的“D2”欄(單位：mm)。并且，槽93的第2通過(guò)路108a～108d的間距L1、槽92的第2通過(guò)路107a～107d的間距L1及槽91的第2通過(guò)路106a～106d的間距L1相互相等，示于表1的“L1”欄(單位：mm)。另外，表1中“第2通過(guò)路的數(shù)量”欄中記載從1個(gè)第1通過(guò)路分支形成的第2通過(guò)路的數(shù)量。例如，從第1通過(guò)路109a分支形成3個(gè)第2通過(guò)路106a、107a、108a，因此為“3”。第1通過(guò)路109a、第1通過(guò)路109b、第1通過(guò)路109c及第1通過(guò)路109d為相同結(jié)構(gòu)，因此成為“3”。表1中“管82的數(shù)量”欄中記載連接于1個(gè)集合管111的管82的數(shù)量。設(shè)置于迷宮式密封件76的集合管上也連接有與迷宮式密封件77相同數(shù)量的管82。目視評(píng)價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。確認(rèn)到漏出時(shí)設(shè)為不合格，未確認(rèn)到漏出時(shí)設(shè)為合格。該評(píng)價(jià)結(jié)果記載于表1的“結(jié)果”欄。[表1][實(shí)施例2]使用將第2通過(guò)路108a～108d的間距L1、第2通過(guò)路107a～107d的間距L1及第2通過(guò)路106a～106d的間距L1設(shè)為表1的“L1”欄所示的值的迷宮式密封件76、77。并且將連接于各集合管111的管82設(shè)為1個(gè)。除了這些以外的條件與實(shí)施例1相同。以與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。[實(shí)施例3]使用將第2通過(guò)路108a～108d的間距L1、第2通過(guò)路107a～107d的間距L1及第2通過(guò)路106a～106d的間距L1設(shè)為表1的“L1”欄所示的值的迷宮式密封件76、77。并且將連接于各集合管111的管82設(shè)為1個(gè)。除了這些以外的條件與實(shí)施例1相同。以與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件76、77與周面21a之間向外部漏出。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。[比較例1]使用日本專利公開(kāi)2009-078444號(hào)公報(bào)中所記載的清洗單元清洗周面21a。即，使用沒(méi)有形成孔101～104的迷宮式密封件來(lái)代替迷宮式密封件76、77。迷宮式密封件中未設(shè)置集合管111、管82。僅從與殼體主體的周面21a對(duì)置而設(shè)置的開(kāi)放口進(jìn)行吸引。因此，表1的D2、L1、第2通過(guò)路的數(shù)量、管82的數(shù)量各欄中記載為“-”。以與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件與周面21a之間向外部漏出。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。[比較例2]使用日本專利公開(kāi)2011-067768號(hào)公報(bào)的圖4中所記載的空氣流去除部來(lái)代替迷宮式密封件76、77，將該空氣流去除部配設(shè)于在滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向上的噴嘴55的上游側(cè)?？諝饬魅コ康拿詫m式密封件結(jié)構(gòu)的槽的數(shù)量為3個(gè)，關(guān)于迷宮式密封件結(jié)構(gòu)，在噴嘴55的相反側(cè)實(shí)施吸引。在位于滾筒21的旋轉(zhuǎn)方向上的迷宮式密封件結(jié)構(gòu)的上游側(cè)的3個(gè)狹縫上分別設(shè)置吸引機(jī)構(gòu)。進(jìn)行吸引的狹縫的開(kāi)口為向滾筒21的周面21a的寬度方向Y延伸的細(xì)長(zhǎng)的矩形狹縫。以與實(shí)施例1相同的方法，評(píng)價(jià)污染物或固化的干冰等是否從迷宮式密封件與周面21a之間向外部漏出。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。