專利名稱：探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路工藝領(lǐng)域，尤其是一種集成電路測試領(lǐng)域中的探 針卡。
背景技術(shù)：
探針卡是集成電路工藝領(lǐng)域重要器件，探針卡應(yīng)用在集成電路尚未封 裝之前，針對晶圓以探針做功能測試，選出不合格產(chǎn)品再進(jìn)行后續(xù)的封裝 工程，避免不良產(chǎn)品繼續(xù)加工而造成浪費(fèi)。探針卡的性能對集成電路制造 過程中的成本有很大的影響。在測試中，印刷電路板上分布有通道和電源線，探針和印刷電路板連 接對信號進(jìn)行測試，探針卡和探針連接。如圖1所示，普通探針卡包括印刷電路板3、開口槽1、探針卡固定件2。開口槽1固定在探針卡固定件2 上，印刷電路板3通過固定裝置和開口槽1固定連接。在利用探針卡對晶 圓進(jìn)行測試時(shí)，高頻數(shù)字信號會(huì)對測試信號產(chǎn)生干擾，影響測試結(jié)果。而 所需要測試的晶圓上的電源就是通過探針卡給的。為了減少干擾，增加測 試結(jié)果的準(zhǔn)確程度，在電源加到晶圓上之前要對電源進(jìn)行濾波。如圖2所 示，現(xiàn)有改進(jìn)方法是在探針卡電源出口 Vll和地之間增加去耦電容C1、 C2， 使高頻噪聲短路掉。但是單用去耦電容會(huì)引起高頻諧振，造成新的干擾， 影響測試結(jié)果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種探針卡，不僅能夠針對晶圓以 探針做功能測試，而且可以減少測試中數(shù)字信號的干擾，提高測試的準(zhǔn)確 率，增加產(chǎn)品良品率，節(jié)約生產(chǎn)成品并提高生產(chǎn)效率。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明探針卡所采用的技術(shù)方案是，包括探針 卡固定件，固定在探針卡固定件上的開口槽，通過固定裝置與開口槽固定 連接的印刷電路板，印刷電路板表面的去耦電容，還包括串聯(lián)在探針和印 刷電路板底部之間的鐵氧磁體。本發(fā)明通過在探針和印刷電路板底部之間串聯(lián)鐵氧磁體，不僅可以過 濾電源和地之間的高頻噪聲，還可以消除去耦電容引起的高頻諧振引起的 信號干擾。使繼電器的開關(guān)切換對測試的影響也小。更好的保證測試的精 度和穩(wěn)定性。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明-圖l為現(xiàn)有的探針卡結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為已有技術(shù)中改進(jìn)的探針卡電路示意圖；圖3為本發(fā)明探針卡結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明中探針卡電路示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖3所示，本發(fā)明探針卡包括探針卡固定件2，固定在探針卡固定件 2上的開口槽1，通過固定裝置與開口槽固定連接的印刷電路板3，印刷電 路板表面的去耦電容4，還包括串聯(lián)在探針和印刷電路板底部之間的鐵氧磁 體5，該鐵氧磁體5為表面貼裝用磁珠。如圖4所示，在本發(fā)明探針卡電路中，探針卡出口電源Vll分成兩路 分別接到晶圓電源入口 V21和V22，探針卡出口電源Vll和地之間接有去耦 電容C1和C2，即圖3中的去耦電容4，該去耦電容C1和C2分別過濾探針 卡出口電源Vll和晶圓電源入口 V21之間的高頻噪聲以及探針卡出口電源 Vll和晶圓電源入口 V22之間的高頻噪聲，表面貼裝用磁珠F1串聯(lián)接在探 針卡出口電源Vll和晶圓電源入口 V21之間，表面貼裝用磁珠F2串聯(lián)接在 探針卡出口電源Vll和晶圓電源入口 V22之間，去除電容濾波引起的高頻 諧振。本發(fā)明探針卡通過在探針和印刷電路板底部之間串聯(lián)鐵氧磁體，不僅 可以過濾電源和地之間的高頻噪聲，更能夠消除去耦電容引起的高頻諧振 引起的信號干擾，更好的保證測試的精度和穩(wěn)定性，提高測試的準(zhǔn)確度， 增加生產(chǎn)效率，節(jié)約生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求
1、一種探針卡，包括探針卡固定件，固定在探針卡固定件上的開口槽，通過固定裝置與開口槽固定連接的印刷電路板，印刷電路板表面的去耦電容，其特征在于，還包括串聯(lián)在探針和印刷電路板底部之間的鐵氧磁體。
2、 如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述的鐵氧磁體為磁珠。
3、 如權(quán)利要求l所述的，其特征在于，所述的鐵氧磁體為表面貼裝用 磁珠。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種探針卡，包括探針卡固定件，固定在探針卡固定件上的開口槽，通過固定裝置與開口槽固定連接的印刷電路板，印刷電路板表面的去耦電容，還包括串聯(lián)在探針和印刷電路板底部之間的鐵氧磁體。本發(fā)明通過在探針和印刷電路板底部之間串聯(lián)鐵氧磁體，不僅可以過濾電源和地之間的高頻噪聲，更能夠消除去耦電容引起的高頻諧振引起的信號干擾，更好的保證測試的精度和穩(wěn)定性，提高測試的準(zhǔn)確度，增加生產(chǎn)效率，節(jié)約生產(chǎn)成本。
文檔編號G01R1/073GK101162239SQ200610116938
公開日2008年4月16日 申請日期2006年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月9日
發(fā)明者惠力蓀, 黃海華 申請人:上海華虹Nec電子有限公司