專利名稱：波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種波長(zhǎng)可變干涉濾波器、具備該波長(zhǎng)可變干涉濾波器的光模塊以及具備該光模塊的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，已知有如下所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器在一對(duì)基板的彼此相對(duì)的面上，分別隔著規(guī)定的間隙而相對(duì)配置有反射膜(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I記載的波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，在兩個(gè)光學(xué)基板的相對(duì)的面上分別設(shè)置有反射層，而且，在這些光學(xué)基板的相對(duì)的面上，在反射層的直徑外側(cè)設(shè)置有電容電 極。在該波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，彼此相對(duì)的電容電極作為靜電致動(dòng)器而發(fā)揮作用，通過(guò)在這些電容電極間施加電壓，從而基于靜電引力而使反射層間的間隙發(fā)生變化。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本專利特開(kāi)2002-277758號(hào)公報(bào)但是，在這樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，電荷往往會(huì)積存在反射層上，在彼此相對(duì)的反射層上分別帶電的情況下，會(huì)產(chǎn)生靜電力。因此，即使在為了將反射層間的間隙設(shè)定為設(shè)定值而在靜電致動(dòng)器上施加規(guī)定的設(shè)定電壓的情況下，由于反射層的帶電而引起的靜電力，有時(shí)也不能將間隙設(shè)定為期望的設(shè)定值。在這種情況下，就存在有難以從波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出期望波長(zhǎng)的光的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠高精度地取出所期望的波長(zhǎng)的光的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊以及電子設(shè)備。本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備第一基板；第二基板，與所述第一基板相對(duì)；第一反射膜，設(shè)置在所述第一基板的與所述第二基板相對(duì)的面上；第二反射膜，設(shè)置在所述第二基板的與所述第一基板相對(duì)的面上，所述第二反射膜隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相對(duì)；以及第一電極，設(shè)置在所述第一基板的與所述第二基板相對(duì)的面上，其中，所述第一基板具有第一反射膜固定面，設(shè)置有所述第一反射膜；以及第一電極面，設(shè)置有所述第一電極，所述第一電極面與所述第二基板的距離不同于所述第一反射膜固定面與所述第二基板的距離，在所述第一反射膜固定面和所述第一電極面的與所述第二基板的距離大的面上，設(shè)置層疊有所述第一反射膜和所述第一電極的層疊部。根據(jù)本發(fā)明，在第一基板的第一反射膜固定面和第一電極面中，在與第二基板的距離大的面上，設(shè)置通過(guò)第一反射膜和第一電極層疊而形成的層疊部，通過(guò)該層疊部，使第一反射膜和第一電極面接觸而電導(dǎo)通。由此，即使在第一反射膜帶電的情況下，也能夠使滯留的電荷從第一電極釋放，可以防止在第一反射膜和第二反射膜之間由于帶電而產(chǎn)生靜電力。
這里，也可以考慮通過(guò)使第一電極的端部邊緣與第一反射膜的端部邊緣接觸而使它們導(dǎo)通。但是，在這種情況下，由于接觸面積小，導(dǎo)通可靠性也降低，因此，存在不能使第一反射膜的電荷可靠地釋放到第一電極的擔(dān)憂。與其相反，如上所述，通過(guò)層疊第一電極和第一反射膜來(lái)設(shè)置層疊部，可以使第一電極和第一反射膜可靠地進(jìn)行面接觸而使它們電導(dǎo)通。并且，在本發(fā)明中，該層疊部設(shè)置在第一反射膜固定面和第一電極面中的、與第二基板的距離更大的一個(gè)面上。因此，反射膜間間隙或者電極間間隙的可變量就不會(huì)被該層疊部所抑制。因此，也可以防止能夠由波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出的波段發(fā)生窄波段化的問(wèn)題。優(yōu)選在本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，還具備第二電極，設(shè)置在所述第二基板的與所述第一基板相對(duì)的面上，隔著比所述反射膜間間隙大的電極間間隙與所述第一電極相對(duì)，其中，所述層疊部構(gòu)成為層疊有所述第一反射膜和所述第一電極的外周邊緣，所述第一反射膜從所述第一反射膜固定面延伸至覆蓋所述第一電極面。
在波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，通過(guò)第一反射膜和第二反射膜之間的反射膜間間隙來(lái)確定經(jīng)由透過(guò)或者反射而被取出的波長(zhǎng)。因此，在波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，為了對(duì)應(yīng)于更廣范圍的波段而取得透過(guò)或者反射波長(zhǎng)，需要擴(kuò)大反射膜間間隙的變動(dòng)范圍。這里，在第一電極和第二電極之間施加電壓，利用靜電引力而使反射膜間間隙變動(dòng)的情況下，如果電極間間隙小于反射膜間間隙，則只能夠使反射膜間間隙僅在電極間間隙間變動(dòng)。在這樣的結(jié)構(gòu)中，反射膜間間隙的變動(dòng)范圍變小，能夠由波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出的波段將變窄。與其相反，在本發(fā)明中，由于電極間間隙形成得大于反射膜間間隙，因此，可以使反射膜間間隙在更大的變動(dòng)范圍內(nèi)變化，可以使能夠由波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出的波段更寬。此外，一般而言，作用于電極間的靜電引力與距離的平方成反比例，因此，如果電極間間隙變小，則難以進(jìn)行靜電引力的控制，并且難以進(jìn)行反射膜間間隙的調(diào)整。與其相反，在本發(fā)明中，由于電極間間隙形成得大于反射膜間間隙，因此，易于進(jìn)行靜電引力的控制，可以高精度地將反射膜間間隙設(shè)定為期望的值。優(yōu)選在本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，所述層疊部構(gòu)成為在所述第一電極上層疊所述第一反射膜。在本發(fā)明中，層疊部是第一反射膜層疊在第一電極上的結(jié)構(gòu)。S卩、在第一基板上形成了第一電極之后，形成第一反射膜。這里，如果在形成第一電極之前，在第一基板上形成第一反射膜，則在形成第一電極時(shí)，該第一反射膜會(huì)易于劣化，會(huì)產(chǎn)生波長(zhǎng)可變干涉濾波器的分辨率下降等問(wèn)題。與其相反，通過(guò)先在第一基板上形成第一電極之后，再形成第一反射膜，可以抑制制造工序中的第一反射膜的劣化。因此，能夠形成反射特性良好的第一反射膜，可以抑制波長(zhǎng)可變干涉濾波器的分辨率下降。優(yōu)選在本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，還具備與所述第二反射膜連接的反射膜連接電極。在本發(fā)明中，由于反射膜連接電極與第二反射膜連接，因此，可以從該反射膜連接電極釋放滯留在第二反射膜上的電荷，可以更加可靠地防止在第一反射膜和第二反射膜之間產(chǎn)生靜電力。因此，通過(guò)控制施加在第一電極和第二電極上的電壓，可以高精度地控制反射膜間間隙。此外，也可以將反射膜連接電極與第一電極設(shè)定為等電位，在這種情況下，也不會(huì)在第一反射膜和第二反射膜之間產(chǎn)生靜電引力，因此，可以容易且高精度地實(shí)施反射膜間間隙的控制。本發(fā)明的光模塊具備上述那樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器；以及檢測(cè)部，用于檢測(cè)由所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出的光。如上所述，本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，即使在第一 反射膜帶電的情況下，也能夠使該電荷從第一電極釋放，因此，不會(huì)在反射膜間間隙中產(chǎn)生靜電力，可以準(zhǔn)確地控制反射膜間間隙的尺寸。由此，在波長(zhǎng)可變干涉濾波器中，可以高精度地使期望波長(zhǎng)的光透過(guò)或者反射而取出。并且，在具備這樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的光模塊中，通過(guò)由檢測(cè)部檢測(cè)波長(zhǎng)可變干涉濾波器所取出的期望波長(zhǎng)的光的光量，可以準(zhǔn)確地檢測(cè)該期望波長(zhǎng)的光的光量。優(yōu)選在本發(fā)明的光模塊中，所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備與所述第二反射膜連接的反射膜連接電極，所述光模塊具備使所述反射膜連接電極與所述第一電極成為等電位的電壓控制部。在本發(fā)明中，電壓控制部將與第二反射膜連接的反射膜連接電極和第一電極設(shè)定為等電位。由此，第一反射膜和第二反射膜之間的電位差為0，因此，在第一反射膜和第二反射膜之間沒(méi)有產(chǎn)生靜電引力，可以高精度地控制反射膜間間隙的尺寸。本發(fā)明的電子設(shè)備具備上述的光模塊。根據(jù)本發(fā)明，由于電子設(shè)備具備具有上述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的光模塊，因此，可以根據(jù)高精度地檢測(cè)出的期望波長(zhǎng)的光的光量，實(shí)施電子設(shè)備中的各種電子處理。


圖I是表示本發(fā)明所涉及的一實(shí)施方式的測(cè)色裝置的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是本實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的俯視圖。圖3是本實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的截面圖。圖4是表示其他實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖5是表示其他實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。圖6是作為本發(fā)明的電子設(shè)備的其它示例的氣體檢測(cè)裝置的示意圖。圖7是圖6的氣體檢測(cè)裝置的框圖。圖8是表示作為本發(fā)明的電子設(shè)備的其它示例的食物分析裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。圖9是作為本發(fā)明的電子設(shè)備的其它示例的分光照相機(jī)的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明所涉及的一實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。I.測(cè)色裝置的概略結(jié)構(gòu)圖I是表示本實(shí)施方式的測(cè)色裝置I (電子設(shè)備)的結(jié)構(gòu)概略的框圖。如圖I所示，該測(cè)色裝置I具備向檢查對(duì)象A射出光的光源裝置2、測(cè)色傳感器3(光模塊)以及控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作的控制裝置4。此外，該測(cè)色裝置I是一種如下所述的裝置使檢查對(duì)象A反射由光源裝置2射出的光，由測(cè)色傳感器3接收所反射的檢查對(duì)象光，根據(jù)從測(cè)色傳感器3輸出的檢測(cè)信號(hào)來(lái)分析、測(cè)定對(duì)象光的色度、即檢查對(duì)象A的顏色。2.光源裝置的結(jié)構(gòu)光源裝置2具備光源21和多個(gè)透鏡22 (在圖I中僅記載有一個(gè))，用于對(duì)檢查對(duì)象A射出白色光。此外，在多個(gè)透鏡22中，可以包括準(zhǔn)直透鏡，在這種情況下，光源裝置2通過(guò)準(zhǔn)直透鏡將從光源21射出的 白色光變?yōu)槠叫泄?，再?gòu)奈磮D示的投射透鏡向檢查對(duì)象A射出。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示了具備光源裝置2的測(cè)色裝置1，但是，例如在檢查對(duì)象A為液晶面板等發(fā)光部件的情況下，也可以形成為不設(shè)置光源裝置2的結(jié)構(gòu)。3.測(cè)色傳感器的結(jié)構(gòu)如圖I所示，測(cè)色傳感器3具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器5 ;檢測(cè)部31，用于接收透過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的光；以及電壓控制部32，用于使在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5中透過(guò)的光的波長(zhǎng)可變。此外，測(cè)色傳感器3在與波長(zhǎng)可變干涉濾波器5相對(duì)的位置上具備用于將檢查對(duì)象A所反射的反射光(檢查對(duì)象光)導(dǎo)入至內(nèi)部的未圖示的入射光學(xué)透鏡。并且，該測(cè)色傳感器3通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器5對(duì)從入射光學(xué)透鏡射入的檢查對(duì)象光中的規(guī)定波長(zhǎng)的光進(jìn)行分光，由檢測(cè)部31接收分光后的光。檢測(cè)部31由多個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成，用于生成對(duì)應(yīng)于受光量的電信號(hào)。并且，檢測(cè)部31與控制裝置4連接，將所生成的電信號(hào)作為受光信號(hào)輸出至控制裝置4。3-1.波長(zhǎng)可變干涉濾波器的結(jié)構(gòu)圖2是表示波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3是表示波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖2所示，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5是平面正方形狀的板狀光學(xué)部件。如圖3所示，該波長(zhǎng)可變干涉濾波器5具備作為本發(fā)明的第一基板的固定基板51以及作為本發(fā)明的第二基板的可動(dòng)基板52。這些固定基板51以及可動(dòng)基板52分別由例如鈉玻璃、結(jié)晶性玻璃、石英玻璃、鉛玻璃、鉀玻璃、硼硅酸鹽玻璃、無(wú)堿玻璃等各種玻璃或者水晶等形成。并且，這些固定基板51和可動(dòng)基板52通過(guò)接合膜53接合形成在外周部附近的第一接合面513、第二接合面523而構(gòu)成為一體，該接合膜53例如由以硅氧烷為主要成分的等離子體聚合膜等構(gòu)成。在固定基板51上，設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的第一反射膜的固定反射膜54，在可動(dòng)基板52上，設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的第二反射膜的可動(dòng)反射膜55。這里，固定反射膜54被固定在固定基板51的與可動(dòng)基板52相對(duì)的面上，可動(dòng)反射膜55被固定在可動(dòng)基板52的與固定基板51相對(duì)的面上。此外,這些固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55隔著反射膜間間隙Gl而相對(duì)配置。并且，在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5中，設(shè)置有用于調(diào)整固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間的反射膜間間隙Gl的尺寸的靜電致動(dòng)器56。該靜電致動(dòng)器56具備作為本發(fā)明的第一電極的固定電極561,該固定電極561設(shè)置在固定基板51 —側(cè)；作為本發(fā)明的第二電極的可動(dòng)電極562，該可動(dòng)電極562設(shè)置在可動(dòng)基板52 —側(cè)。這里，既可以是固定電極561和可動(dòng)電極562分別被直接設(shè)置在固定基板51和可動(dòng)基板562的基板表面上的結(jié)構(gòu)，也可以是固定電極561和可動(dòng)電極562分別隔著其它膜部件而設(shè)置在固定基板51和可動(dòng)基板562的基板表面上的結(jié)構(gòu)。此外，在從固定基板51 (可動(dòng)基板52)的基板厚度方向來(lái)觀察波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的、如圖2所示的俯視圖(以后，稱作濾波器俯視圖)中，固定基板51以及可動(dòng)基板52的平面中心點(diǎn)O與固定反射膜54以及可動(dòng)反射膜55的中心點(diǎn)一致，并且與后述的可動(dòng)部521的中心點(diǎn)一致。3-1-1.固定基板的結(jié)構(gòu)固定基板51通過(guò)加工厚度形成為例如500 μ m的玻璃基材而形成。具體而言，如圖3所示，在固定基板51上，通過(guò)蝕刻形成電極形成槽511和反射膜固定部512。該固定基板51形成為相對(duì)于可動(dòng)基板52而言厚度尺寸更大，不存在由于在固定電極561和可動(dòng)電 極562之間施加電壓時(shí)的靜電引力或者固定電極561的內(nèi)部應(yīng)力而引起的固定基板51彎 曲。在濾波器俯視圖中，電極形成槽511形成為以固定基板51的平面中心點(diǎn)O為中心的環(huán)狀。在所述俯視圖中，反射膜固定部512形成為從電極形成槽511的中心部向可動(dòng)基板52側(cè)突出。這里，電極形成槽511的槽底面成為作為本發(fā)明的第一電極面的固定電極面511A，反射膜固定部512的突出頂端面成為本發(fā)明的反射膜固定面512A。此外，在固定基板51上，設(shè)置有從電極形成槽511向固定基板51的外周邊緣的各頂點(diǎn)Cl、C2、C3方向延伸出的三個(gè)電極引出槽(未圖示)。在固定基板51的固定相對(duì)面51A上，形成有以平面中心點(diǎn)O為中心的環(huán)狀的固定電極561。這里，作為固定電極561的環(huán)狀形狀，更優(yōu)選形成為圓環(huán)狀。此外，作為該圓環(huán)形狀，還包括固定引出電極563從該圓環(huán)形狀的一部分突出的結(jié)構(gòu)；欠缺圓環(huán)的一部分的結(jié)構(gòu)；以及圓環(huán)的一部分被切斷而呈大致C字狀的結(jié)構(gòu)。此外，也可以是在這些固定電極561上層疊用于防止固定電極561和可動(dòng)電極562之間的放電的絕緣膜的結(jié)構(gòu)。此外，在固定基板51上，形成有從固定電極561的外周邊緣延伸出的固定引出電極563。具體而言，該固定引出電極563形成為從固定電極561的外周邊緣中最接近于頂點(diǎn)Cl的位置、沿著在朝向頂點(diǎn)Cl的方向上延伸的電極形成槽上而直至頂點(diǎn)Cl。而且，固定引出電極563的頂端部(位于固定基板51的頂點(diǎn)Cl的部分)構(gòu)成固定電極焊盤(pán)563P。此外，在固定基板51上，在從電極形成槽511朝向固定基板51的頂點(diǎn)C2、C3的方向上形成的電極引出槽中，分別設(shè)置有第一對(duì)置電極581、第二對(duì)置電極582。這些第一對(duì)置電極581和第二對(duì)置電極582與固定電極561絕緣。此外,這些第一對(duì)置電極581和第二對(duì)置電極582的頂端部(位于固定基板51的頂點(diǎn)C2、C3的部分)分別構(gòu)成第一對(duì)置電極焊盤(pán)58IP和第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P。如上所述，反射膜固定部512在與電極形成槽511同軸上形成為直徑尺寸小于電極形成槽511的大致圓柱狀，該反射膜固定部512的與可動(dòng)基板52相對(duì)的面(突出頂端面)成為本發(fā)明的反射膜固定面512A。這里，如上所述，該反射膜固定部512形成為從電極形成槽511向可動(dòng)基板52側(cè)突出。因此，反射膜固定面512A位于比固定電極面511A更接近于可動(dòng)基板52的位置。SP、在本實(shí)施方式中，電極間間隙G2的尺寸形成為大于反射膜間間隙Gl的尺寸。此外，電極形成槽511以及反射膜固定部512是通過(guò)對(duì)固定基板51的一面?zhèn)冗M(jìn)行蝕刻(濕式蝕刻)而形成的，因此，反射膜固定部512的外周側(cè)面512B不是與固定基板51的基板厚度方向平行的面，而是成為從反射膜固定面512A向固定電極面511A緩緩彎曲的曲面形狀。而且，設(shè)置有固定反射膜54以覆蓋反射膜固定面512A、外周側(cè)面512B、進(jìn)而直至設(shè)置在固定電極面51IA上的環(huán)狀的固定電極561的內(nèi)周部分。這里，由固定反射膜54和固定電極561層疊的部分構(gòu)成層疊部57。如圖2所示，該固定反射膜54在過(guò)濾器俯視圖中，形成為以平面中心點(diǎn)O為中心的圓形。因此，層疊部57也成為沿著以平面中心點(diǎn)O為中心的假想圓的環(huán)形。作為該固定反射膜54,可以使用導(dǎo)電體。作為導(dǎo)電體的膜,例如可以使用Ag或者Ag合金的單層膜。在電介質(zhì)多層膜的情況下，例如可以使用將高折射層設(shè)定為T(mén)iO2、低折射層設(shè)定為SiO2的電介質(zhì)多層膜。這樣的固定反射膜54通過(guò)層疊部57而與固定電極561面接觸,從而與固定電極 561電導(dǎo)通。由此，在固定反射膜54帶電的情況下，也能夠使滯留的電荷漏到固定電極561。此外，作為固定反射膜54，在金屬膜上層疊作為絕緣體的電介質(zhì)膜及其多層膜來(lái)進(jìn)行使用時(shí)，至少在層疊部57中的與固定電極561的面接觸部上，使金屬膜與固定電極561直接接觸并且電導(dǎo)通。由此，在固定反射膜54帶電的情況下，也能夠使滯留在金屬膜以及金屬膜與絕緣膜的界面附近的電荷漏到固定電極561。并且，固定基板51在與可動(dòng)基板52相反一側(cè)的面上,在與固定反射膜54相對(duì)應(yīng)的位置上形成有省略圖示的反射防止膜。該反射防止膜通過(guò)交替地層疊低折射率膜和高折射率膜而形成，使固定基板51的表面上的可視光的反射率下降，使透過(guò)率增大。3-1-2.可動(dòng)基板的結(jié)構(gòu)可動(dòng)基板52是通過(guò)蝕刻來(lái)加工厚度形成為例如200 μ m的玻璃基材而形成的。具體而言，可動(dòng)基板52具備圓形的可動(dòng)部521，該可動(dòng)部521在圖2所示的濾波器俯視圖中，以平面中心點(diǎn)O為中心；保持部522，該保持部522與可動(dòng)部521同軸，并且保持可動(dòng)部521。此外，如圖2所示，在可動(dòng)基板52上，與固定基板51的各頂點(diǎn)C1、C2、C3相對(duì)應(yīng)地形成有切口部524，在從可動(dòng)基板52 —側(cè)觀察到的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的面上，露出固定電極焊盤(pán)563P、第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P以及第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P?？蓜?dòng)部521形成為與保持部522相比厚度尺寸更大，例如，在本實(shí)施方式中，形成為與可動(dòng)基板52的厚度尺寸相同的尺寸、S卩200 μ m。此外，可動(dòng)部521在濾波器俯視圖中，形成為至少比固定電極561的外周邊緣的直徑尺寸大的直徑尺寸。而且，可動(dòng)部521的與固定基板51相對(duì)的面成為平行于反射膜固定面512A的可動(dòng)面521A，在該可動(dòng)面521A上，固定隔著反射膜間間隙Gl而與固定反射膜54相對(duì)的可動(dòng)反射膜55以及隔著電極間間隙G2而與固定電極561相對(duì)的可動(dòng)電極562?？蓜?dòng)反射膜55可以使用與上述的固定反射膜54相同結(jié)構(gòu)的反射膜。此外，在可動(dòng)基板52上，形成有從可動(dòng)反射膜55的外周邊緣延伸出的反射膜連接電極551。該反射膜連接電極551從可動(dòng)反射膜55的外周邊緣中最接近于頂點(diǎn)C2的位置向頂點(diǎn)C2延伸。作為該反射膜連接電極551，只要是具有導(dǎo)電性即可，例如在可動(dòng)反射膜55為銀合金等導(dǎo)電性金屬的情況下，可以使用與可動(dòng)反射膜55同樣的材料，在形成可動(dòng)反射膜55時(shí)圖案化形成反射膜連接電極551。此外，也可以是與可動(dòng)反射膜55不同的部件，在這種情況下，例如利用與可動(dòng)電極562相同的材料來(lái)形成反射膜連接電極551，從而可以在形成可動(dòng)電極562時(shí)圖案化形成反射膜連接電極551。而且，該反射膜連接電極551在可動(dòng)基板52的外周邊緣的附近，通過(guò)例如Ag漿等導(dǎo)電性部件58，與形成在固定基板51的頂點(diǎn)C2的位置上的第一對(duì)置電極581 (第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P)電連接。由此，能夠從位于固定基板51的頂點(diǎn)C2的第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P除去可動(dòng)反射膜55的帶電。此外，在濾波器俯視圖中，設(shè)置在可動(dòng)面52IA上的可動(dòng)電極562形成在固定電極561重疊的區(qū)域且形成為對(duì)應(yīng)于頂點(diǎn)C2的部分開(kāi)口的C字狀，反射膜連接電極551朝向頂點(diǎn)C2而形成在該C字開(kāi)口部分上。此外，可動(dòng)電極562的寬度尺寸形成為與固定電極561的環(huán)寬尺寸(內(nèi)周邊緣的半徑與外周邊緣的半徑之差)相同的尺寸。并且，在可動(dòng)基板52上，形成有從可動(dòng)電極562的外周邊緣延伸出的可動(dòng)引出電極564。該可動(dòng)引出電極564從可動(dòng)電極562的最接近于頂點(diǎn)C3的位置向頂點(diǎn)C3延伸。而 且，該可動(dòng)引出電極564在可動(dòng)基板52的外周邊緣的附近，通過(guò)例如Ag漿等導(dǎo)電性部件，與形成在固定基板51的頂點(diǎn)C3的位置上的第二對(duì)置電極582(第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P)電連接。并且，可動(dòng)部521在與固定基板51相反一側(cè)的面上，形成有省略圖示的反射防止膜。該反射防止膜具有與形成在固定基板51上的反射防止膜同樣的結(jié)構(gòu)，通過(guò)交替地層疊低折射率膜和高折射率膜而形成。保持部522是包圍可動(dòng)部521的周?chē)母裟?diaphragm)，例如厚度尺寸形成為50 μ m，針對(duì)厚度方向的剛性形成得比可動(dòng)部521小。因此，保持部522比可動(dòng)部521更易于彎曲，基于微弱的靜電引力就能夠使其向固定基板51側(cè)彎曲。此時(shí)，可動(dòng)部521由于與保持部522相比厚度尺寸更大、剛性更大，因此，即使在基于靜電引力而導(dǎo)致使可動(dòng)基板52彎曲的力發(fā)生作用的情況下，可動(dòng)部521也幾乎沒(méi)有彎曲，也可以防止形成在可動(dòng)部521上的可動(dòng)反射膜55的彎曲。此外，在本實(shí)施方式中，雖然例示了隔膜狀的保持部522，但并不限定于此，例如，可以是設(shè)置以平面中心點(diǎn)為中心、以等角度間隔配置的梁狀的保持部的結(jié)構(gòu)等。3-2.電壓控制單元的結(jié)構(gòu) 電壓控制部32與固定電極焊盤(pán)563P、第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P、第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P連接，基于從控制裝置4輸入的控制信號(hào)，將這些固定電極焊盤(pán)563P、第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P以及第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P設(shè)定為規(guī)定的電位，從而在靜電致動(dòng)器56上施加電壓而使其驅(qū)動(dòng)。具體而言，電壓控制部32使第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P接地，對(duì)第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P設(shè)定用于將反射膜間間隙Gl設(shè)定為規(guī)定尺寸的電位。由此，在與固定電極焊盤(pán)563P連接的固定電極561和與第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P連接的可動(dòng)電極562之間施加電壓，可動(dòng)部521基于靜電引力向固定基板51側(cè)移動(dòng)，反射膜間間隙Gl的尺寸被設(shè)定為規(guī)定值。此時(shí)，由于第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P以及固定電極焊盤(pán)563P兩者均接地，因而即使固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55帶電，也能夠使電荷釋放，從而不會(huì)使由于帶電所產(chǎn)生的靜電力作用于固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間。因此,在設(shè)定反射膜間間隙Gl時(shí)，無(wú)需考慮作用于固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間的靜電力，僅通過(guò)設(shè)定固定電極561和可動(dòng)電極562之間的電壓，即可高精度地將反射膜間間隙Gl設(shè)定為所期望的目標(biāo)值。此外，在本實(shí)施方式中，雖然是形成為將第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P接地的結(jié)構(gòu)，但也可以是能夠設(shè)定規(guī)定電位的結(jié)構(gòu)，在這種情況下，第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P的設(shè)定電位與固定電極焊盤(pán)563P的設(shè)定電位的電位差可以作為驅(qū)動(dòng)電壓而被施加于靜電致動(dòng)器56，從而能夠控制反射膜間間隙Gl的尺寸。此外，在這種情況下，也可以通過(guò)將第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P設(shè)定為等電位,從而固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55變?yōu)榈入娢唬狗瓷淠らg間隙Gl間的靜電引力消失。此外，電壓控制部32可以形成為如下所述的結(jié)構(gòu)使第二對(duì)置電極焊盤(pán)582P接地，在第一對(duì)置電極焊盤(pán)58IP和固定電極焊盤(pán)563P上設(shè)定用于驅(qū)動(dòng)靜電致動(dòng)器56的電位。在這種情況下，電壓控制部32也能夠通過(guò)基于第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P上設(shè)定的電位的外加電壓，而使靜電致動(dòng)器56驅(qū)動(dòng)。而且，通過(guò)在第一對(duì)置電極焊 盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P上設(shè)定等電位，在固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間不作用靜電引力，利用設(shè)定在第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P上的電位，即可高精度地控制反射膜間間隙G1。4.控制裝置的結(jié)構(gòu)控制裝置4控制測(cè)色裝置I的整體動(dòng)作。作為該控制裝置4，可以使用例如通用個(gè)人電腦、便攜式信息終端以及其它測(cè)色專用電腦等。而且，如圖I所示，控制裝置4構(gòu)成為具備光源控制部41、測(cè)色傳感器控制部42以及構(gòu)成本發(fā)明的分析處理部的測(cè)色處理部43等。光源控制部41與光源裝置2連接。并且，光源控制部41根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，將規(guī)定的控制信號(hào)輸出至光源裝置2，使規(guī)定亮度的白色光從光源裝置2射出。測(cè)色傳感器控制部42與測(cè)色傳感器3連接。并且，測(cè)色傳感器42根據(jù)例如用戶的設(shè)定輸入，設(shè)定由測(cè)色傳感器3接收到的光的波長(zhǎng)，并將內(nèi)容為檢測(cè)該波長(zhǎng)光的受光量的控制信號(hào)輸出至測(cè)色傳感器3。由此，測(cè)色傳感器3的電壓控制部32根據(jù)控制信號(hào)，設(shè)定對(duì)于靜電致動(dòng)器56的外加電壓，以僅使用戶所期望的光的波長(zhǎng)透過(guò)。測(cè)色處理部43根據(jù)由檢測(cè)部31檢測(cè)出的受光量，分析檢查對(duì)象A的色度。5.實(shí)施方式的作用效果如上所述，在本實(shí)施方式所涉及的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5中，固定基板51具有與可動(dòng)基板52的距離不同的固定電極面51IA和反射膜固定面512A，在固定電極面51IA上設(shè)置有固定電極561,以從反射膜固定面512A直至覆蓋固定電極面511A的一部分的方式設(shè)置有固定反射膜54。并且，固定反射膜54的外周部層疊在固定電極561的內(nèi)周部，由它們的層疊體形成了層疊部57。因此，在層疊部57中，通過(guò)固定反射膜54與固定電極561面接觸，固定反射膜54與固定電極561電導(dǎo)通，即使在固定反射膜54帶電的情況下，也可以從固定電極561釋放電荷。因此，能夠防止由固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55的帶電而產(chǎn)生靜電力，可以容易且高精度地實(shí)施基于電壓控制部32的反射膜間間隙Gl的尺寸的調(diào)整。此時(shí)，在層疊部57中，通過(guò)固定反射膜54與固定電極561面接觸，能夠可靠地確保固定反射膜54和固定電極561的導(dǎo)通，能夠使固定反射膜54的電荷釋放至固定電極561。此外,雖然通過(guò)層疊固定反射膜54和固定電極561而使層疊部57的厚度尺寸比固定反射膜54或者固定電極561大，但是，由于層疊部57設(shè)置在與可動(dòng)基板52的距離較大的固定電極面511A上，因此，不會(huì)由于層疊部57的厚度而妨礙反射膜間間隙Gl的可變范圍，能夠充分地確保反射膜間間隙Gl的可變區(qū)域。此外，在固定基板51上，反射膜固定面512A形成為從固定電極面511A向可動(dòng)基板52側(cè)突出，電極間間隙G2的尺寸大于反射膜間間隙Gl的尺寸。因此，反射膜間間隙Gl的可變區(qū)域形成得較大，能夠使測(cè)色裝置I的可測(cè)波段更寬。此外，固定電極561、可動(dòng)電極562之間的靜電引力的控制變得容易，能夠更高精度地將反射膜間間隙Gl的尺寸設(shè)定為所期望的值。并且，在層疊部57中，固定反射膜54層疊在固定電極561上。在制造時(shí),這樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5可以通過(guò)在固定電極561成膜之后，再使固定反射膜54成膜而容易地形成，此外，由于固定反射膜54在固定電極561之后成膜，因此，能夠抑制在制造時(shí)固定 反射膜54受損。而且，在可動(dòng)反射膜55上連接有反射膜連接電極551，反射膜連接電極551經(jīng)由第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P而與電壓控制部32連接并接地。因此，即使在可動(dòng)反射膜55帶電的情況下，也可以使電荷從反射膜連接電極551釋放，可以更加可靠地防止在固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間產(chǎn)生靜電力。此外，作為設(shè)定在第一對(duì)置電極焊盤(pán)58IP和固定電極焊盤(pán)563P上的電位，不僅限于接地的O電位，只要通過(guò)電壓控制部32將第一對(duì)置電極焊盤(pán)581P和固定電極焊盤(pán)563P設(shè)定為等電位即可。在這種情況下，由于固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55成為等電位，因此，也可以防止在固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間產(chǎn)生靜電引力。實(shí)施方式的變形此外，本發(fā)明并非限定于上述的實(shí)施方式，在能夠達(dá)到本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的變形、改良等均包含在本發(fā)明之內(nèi)。例如，在上述實(shí)施方式中，雖然示出了將第一基板作為固定基板51，在固定基板51上設(shè)置形成在不同高度位置上的固定電極面511A和反射膜固定面512A的示例，但是，如圖4所示，也可以是將第一基板作為可動(dòng)基板52的結(jié)構(gòu)。圖4是表示其它實(shí)施方式中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5A的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。如圖4所示，波長(zhǎng)可變干涉濾波器5A具備固定基板51和可動(dòng)基板52。固定基板51具有具有固定電極面51IA的電極形成槽511 ;以及具有反射膜固定面512A的反射膜固定部512。這里，與上述實(shí)施方式不同，固定電極561和反射膜54分別獨(dú)立地設(shè)置在固定電極面51IA上和反射膜固定面512A上。此外，雖然省略了圖示，但是，固定電極561在濾波器俯視圖中，形成為大致C字狀，在C字開(kāi)口部，與固定反射膜54連接的反射膜連接電極形成為向固定基板51的測(cè)色裝置I的頂點(diǎn)(例如，圖2中的頂點(diǎn)C2)延伸。另一方面，可動(dòng)基板52具備從可動(dòng)部521向固定基板51側(cè)突出的突出部525和電極形成凹部526。這里，突出部525的突出頂端面(突出面525A)構(gòu)成本發(fā)明的第一反射膜固定面，電極形成凹部526的底面526A構(gòu)成本發(fā)明的第一電極面,底面526A形成為與固定基板51的距離大于突出面525A與固定基板51的距離。而且，在底面526A上，在濾波器俯視圖中與固定電極561重疊的位置上，設(shè)置有隔著電極間間隙G2而與固定電極561相對(duì)的可動(dòng)電極562。此外，在突出面525A上，設(shè)置有隔著反射膜間間隙Gl而與固定反射膜54相對(duì)的可動(dòng)反射膜55，該可動(dòng)反射膜55以從突出面525A直至覆蓋底面526A的一部分的方式而設(shè)置。并且，可動(dòng)反射膜55的外周部層疊在可動(dòng)電極562的內(nèi)周部，構(gòu)成層疊部57A。在這樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5A中，也與上述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5同樣，即使在可動(dòng)反射膜55帶電的情況下，也可以使電荷釋放至可動(dòng)電極562。此外，即使在固定反射膜54帶電的情況下，也可以通過(guò)反射膜連接電極而使電荷釋放。因此，沒(méi)有靜電引力作用于固定反射膜54和可動(dòng)反射膜55之間，可以通過(guò)控制施加在固定電極561和可動(dòng)電極562之間的電壓高精度地設(shè)定反射膜間間隙Gl的尺寸。此外，在上述實(shí)施方式和圖4所示的示例中，雖然示出了由彼此相對(duì)的一對(duì)電極(固定電極561和可動(dòng)電極562)構(gòu)成靜電致動(dòng)器56的示例,但是,如圖5所示,也可以是由多個(gè)電極形成靜電致動(dòng)器56的結(jié)構(gòu)。圖5是表示其它實(shí)施方式的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5B的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。在圖5所示的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5B中，由內(nèi)側(cè)可動(dòng)電極562A與外側(cè)可動(dòng)電極562B構(gòu)成可動(dòng)電極562。在這樣的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5B中，通過(guò)分別單獨(dú)地控制施加在內(nèi)側(cè)可動(dòng)電極562A和固定電極561間的電壓、施加在外側(cè)可動(dòng)電極562B和固定電極561間的電壓，能夠更加高精度地設(shè)定可動(dòng)部521的位移量。并且，在上述實(shí)施方式中，如圖3所示，示出了如下所述的示例反射膜固定部512的與可動(dòng)基板52相對(duì)的反射膜固定面512A形成為比固定電極面511A更接近于可動(dòng)基板52，電極間間隙G2的尺寸大于反射膜間間隙Gl的尺寸，但是，并不限定于此?？梢愿鶕?jù)通過(guò)該波長(zhǎng)可變干涉濾波器5而使其透過(guò)的光的波段(測(cè)定波段)、即反射膜間間隙Gl的可變范圍、電極間間隙G2的尺寸、固定反射膜54或者可動(dòng)反射膜55的厚度尺寸等來(lái)適當(dāng)設(shè)定固定電極面511A和反射膜固定面512A的高度位置。因此，例如也可以是在固定電極面511A的中心部形成圓柱凹槽上的反射膜固定槽、在該反射膜固定槽的底面上形成反射膜固定面的結(jié)構(gòu)等。在這種情況下，通過(guò)在與可動(dòng)基板52的距離變大的反射膜固定槽的底面上，設(shè)置固定反射膜54與固定電極561層疊的層疊部57，可以避免由于層疊部57的厚度尺寸而使電極間間隙G2的可變量受到限制的問(wèn)題。此外，在上述實(shí)施方式中，作為第一電極，例示了構(gòu)成靜電致動(dòng)器56的固定電極561，但是，并不限定于此。例如，可以在固定基板51的固定電極面511A上設(shè)置用于除去固定反射膜54的電荷的帶電除去電極，通過(guò)固定反射膜54層疊在該帶電除去電極上，從而來(lái)除去帶電。此外，在圖4所示的示例中，也是固定反射膜54與未圖示的反射膜連接線連接，并從該反射膜連接線除去帶電，但是，也可以是例如在固定基板51的固定電極面511A上形成帶電除去電極，并使固定反射膜54層疊在該帶電除去電極上的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，帶電除去電極與固定反射膜54的層疊體形成在與反射膜固定面512A相比與可動(dòng)基板52的距離更大的固定電極面511A上，因此，不會(huì)由于該層疊體的厚度而使反射膜間間隙Gl的可變范圍變窄，并且，通過(guò)使帶電除去電極與固定反射膜54面接觸，即使在固定反射膜54帶電、的情況下，也能夠更加可靠地使電荷釋放。此外，在上述實(shí)施方式以及圖4、圖5所示的示例中，雖然示出了電極間間隙G2大于反射膜間間隙Gl的結(jié)構(gòu)，但是，也可以是例如電極間間隙G2小于反射膜間間隙Gl的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，雖然反射膜間間隙Gl的可變范圍會(huì)受到電極間間隙G2的限制，但只要是對(duì)于作為測(cè)定對(duì)象的波段可以確保足夠的尺寸的情況等，則不會(huì)成為問(wèn)題。但是，如上所述，由于靜電引力以與距離的平方成反比的方式而增大，因此，如果電極間間隙G2的距離變小，則難以進(jìn)行反射膜間間隙Gl的控制。此外，層疊部57雖然是通過(guò)在固定電極561上層疊固定反射膜54而構(gòu)成的，但也可以是在固定反射膜54上層疊固定電極的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，作為固定反射膜54，如果使用例如銀合金等易于劣化的材料，則有可能在固定反射膜54形成后的形成固定電極561時(shí)產(chǎn)生劣化,但是,通過(guò)例如對(duì)形成后的固定反射膜54進(jìn)行遮蔽(masking)等，雖然工序數(shù)會(huì)增大，但也能夠抑制劣化。此外，在固定反射膜54劣化時(shí)，通常劣化從外周邊緣開(kāi)始進(jìn)行，而如果是固定反射膜54的外周邊緣被 固定電極561覆蓋的結(jié)構(gòu)，則可以抑制固定反射膜54的劣化進(jìn)行。作為本發(fā)明的電子設(shè)備，雖然示出了測(cè)色裝置1，但除此之外，也能夠根據(jù)各種領(lǐng)域，使用本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊、電子設(shè)備。例如，能夠用作用于檢測(cè)特定物質(zhì)存在的光基系統(tǒng)(a light-based system)。作為這樣的系統(tǒng)，例如，能夠例示出采用使用了本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器的分光計(jì)測(cè)方式而高靈敏度檢測(cè)特定氣體的車(chē)載用漏氣檢測(cè)器或者呼吸檢查用的光聲氣體檢測(cè)器等氣體檢測(cè)裝置。下面，根據(jù)附圖對(duì)這樣的氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)示例進(jìn)行說(shuō)明。圖6是表示具備波長(zhǎng)可變干涉濾波器的氣體檢測(cè)裝置的一個(gè)示例的示意圖。圖7是表示圖6的氣體檢測(cè)裝置的控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖6所示，該氣體檢測(cè)裝置100構(gòu)成為具備傳感器芯片110、流路120和主體部130，該流路120具備吸引口 120A、吸引流路120B、排出流路120C以及排出口 120D。主體部130由檢測(cè)裝置(光模塊)、對(duì)檢測(cè)到的信號(hào)進(jìn)行處理并控制檢測(cè)部的控制部138、用于供給電力的電力供給部139等構(gòu)成，該檢測(cè)裝置包括具有可拆裝流路120的開(kāi)口的傳感器部蓋131、排出單元133、殼體134、光學(xué)部135、濾波器136、波長(zhǎng)可變干涉濾波器5以及受光元件137 (檢測(cè)部)。此外，光學(xué)部135由射出光的光源135A、將從光源135A射入的光反射至傳感器芯片110側(cè)，再使從傳感器芯片側(cè)射入的光透過(guò)到受光元件137側(cè)的光分束器(a beam splitter) 135B、透鏡135C、135D、135E構(gòu)成。雖然示出了使用波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的結(jié)構(gòu)，但是，也可以是使用上述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5A、5B的結(jié)構(gòu)。此外，如圖7所示，在氣體檢測(cè)裝置100的表面上，設(shè)置有操作面板140、顯示部141、用于與外部接口的連接部142、電力供給部139。在電力供給部139是二次電池的情況下，也可以具備用于充電的連接部143。并且，如圖7所示，氣體檢測(cè)裝置100的控制部138具備由CPU等構(gòu)成的信號(hào)處理部144 ;用于控制光源135A的光源驅(qū)動(dòng)器電路145 ;用于控制波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電壓控制部146 ;用于接收來(lái)自受光元件137的信號(hào)的受光電路147 ;傳感器芯片檢測(cè)電路149，接收來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器148的信號(hào)，其中，該傳感器芯片檢測(cè)器148用于讀取傳感器芯片Iio的代碼，檢測(cè)有無(wú)傳感器芯片110 ;以及用于控制排出單元133的排出驅(qū)動(dòng)器電路150 ;等等。下面，將對(duì)上述那樣的氣體檢測(cè)裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在主體部130的上部的傳感器部蓋131的內(nèi)部，設(shè)置有傳感器芯片檢測(cè)器148，由該傳感器芯片檢測(cè)器148來(lái)檢測(cè)有無(wú)傳感器芯片110。信號(hào)處理部144在檢測(cè)出來(lái)自傳感器芯片檢測(cè)器148的檢測(cè)信號(hào)的情況下，則判斷為是安裝有傳感器芯片110的狀態(tài)，并向顯示部141發(fā)出用于顯示可以實(shí)施檢測(cè)動(dòng)作的內(nèi)容的顯示信號(hào)。并且，當(dāng)例如由用戶操作操作面板 140，從操作面板140向信號(hào)處理部144輸出內(nèi)容為開(kāi)始檢測(cè)處理的指示信號(hào)時(shí)，首先，信號(hào)處理部144將光源動(dòng)作的信號(hào)輸出至光源驅(qū)動(dòng)器電路145而使光源135A動(dòng)作。如果光源135A被驅(qū)動(dòng),貝U可以從光源135A以單一波長(zhǎng)射出直線偏振光穩(wěn)定的激光。此外，在光源135A中，內(nèi)置有溫度傳感、光量傳感器,其信息向信號(hào)處理部144輸出。并且，信號(hào)處理部144在根據(jù)由光源135A輸入的溫度或者光量判斷為光源135A正在穩(wěn)定動(dòng)作的情況下，則控制排出驅(qū)動(dòng)器電路150而使排出單元133動(dòng)作。由此，含有應(yīng)該檢測(cè)的目標(biāo)物質(zhì)(氣體分子)的氣體試料被從吸引口 120A向吸引流路120B、傳感器芯片110內(nèi)、排出流路120C、排出口 120D引導(dǎo)。此外，傳感器芯片110是一種組裝有多個(gè)金屬納米結(jié)構(gòu)體，利用了局部表面等離子體共振的傳感器。在這樣的傳感器芯片110中，通過(guò)激光在金屬納米結(jié)構(gòu)體間形成增強(qiáng)電場(chǎng)，如果氣體分子進(jìn)入到該增強(qiáng)電場(chǎng)內(nèi)，則會(huì)產(chǎn)生含有分子振動(dòng)信息的拉曼散射光和瑞利散射光。這些瑞利散射光或者拉曼散射光通過(guò)光學(xué)部135射入至濾波器136，瑞利散射光被濾波器136分離，拉曼散射光射入至波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。并且，信號(hào)處理部144控制電壓控制部146，調(diào)整施加在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5上的電壓，通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器5使與成為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光分光。然后，當(dāng)由受光元件137接收分光后的光時(shí)，對(duì)應(yīng)于受光量的受光信號(hào)則經(jīng)由受光電路147而被輸出至信號(hào)處理部144。信號(hào)處理部144比較如上述那樣得到的、與成為檢測(cè)對(duì)象的氣體分子相對(duì)應(yīng)的拉曼散射光的光譜數(shù)據(jù)與ROM中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，判定是否為目標(biāo)氣體分子，并進(jìn)行物質(zhì)的確定。此外，信號(hào)處理部144將其結(jié)果信息顯示在顯示部141上，或者從連接部142向外部輸出。此外，雖然在上述圖6和圖7中示出了通過(guò)波長(zhǎng)可變干涉濾波器5對(duì)拉曼散射光進(jìn)行分光，基于分光后的拉曼散射光進(jìn)行氣體檢測(cè)的氣體檢測(cè)裝置100，但是，作為氣體檢測(cè)裝置，也可以用作通過(guò)檢測(cè)氣體固有的吸光度來(lái)確定氣體種類的氣體檢測(cè)裝置。在該情況下，將使氣體流入傳感器內(nèi)部并檢測(cè)入射光中的被氣體吸收的光的氣體傳感器用作本發(fā)明的光模塊。并且，將利用這樣的氣體傳感器來(lái)分析、判別流入傳感器內(nèi)的氣體的氣體檢測(cè)裝置作為本發(fā)明的電子設(shè)備。在這樣的結(jié)構(gòu)中，也可以使用本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器來(lái)檢測(cè)氣體的成分。此外，作為用于檢測(cè)特定物質(zhì)的存在的系統(tǒng)，并不限定于上述的氣體檢測(cè)，還能夠例示出利用近紅外分光的糖類的非侵入性測(cè)定裝置或者食物、生物體、礦物等信息的非侵入性測(cè)定裝置等的物質(zhì)成分分析裝置。下面，作為上述物質(zhì)成分分析裝置的一個(gè)示例，對(duì)食物分析裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示作為利用了波長(zhǎng)可變干涉濾波器5的電子設(shè)備的一個(gè)示例的食物分析裝置的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。此外，在這里，雖然使用了波長(zhǎng)可變干涉濾波器5，但也可以是使用波長(zhǎng)可變干涉濾波器5A、5B的結(jié)構(gòu)。如圖8所示，該食物分析裝置200具備檢測(cè)器210 (光模塊)、控制部220以及顯示部230。檢測(cè)器210具備射出光的光源211、導(dǎo)入從測(cè)定對(duì)象物發(fā)出的光的攝像透鏡212、對(duì)從攝像透鏡212導(dǎo)入的光進(jìn)行分光的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5以及檢測(cè)分光后的光的攝像部213 (檢測(cè)部)。此外，控制部220具備光源控制部221，用于實(shí)施光源211的亮燈/滅燈控制、亮燈時(shí)的亮度控制；電壓控制部222，用于控制波長(zhǎng)可變干涉濾波器5 ;檢測(cè)控制部223，用于控制攝像部213，并取得由攝像部213拍攝到的分光圖像；信號(hào)處理部224 ；以及存儲(chǔ)部225。 在該食物分析裝置200中，當(dāng)使系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)時(shí)，則由光源控制部221控制光源211，從光源211對(duì)測(cè)定對(duì)象物照射光。并且，在測(cè)定對(duì)象物上反射的光通過(guò)攝像透鏡212而射入至波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。波長(zhǎng)可變干涉濾波器5通過(guò)電壓控制部222的控制而被施加有可以對(duì)期望的波長(zhǎng)進(jìn)行分光的電壓，被分光后的光被例如CCD照相機(jī)等構(gòu)成的攝像部213拍攝。此外，被拍攝后的光作為分光圖像而被儲(chǔ)存在存儲(chǔ)部225中。此外，信號(hào)處理部224控制電壓控制部222而使施加在波長(zhǎng)可變干涉濾波器5上的電壓值發(fā)生變化，取得對(duì)應(yīng)于各波長(zhǎng)的分光圖像。并且，信號(hào)處理部224對(duì)儲(chǔ)存在存儲(chǔ)部225的各圖像中的各像素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算處理，求出各像素中的光譜。此外，在存儲(chǔ)部225中，存儲(chǔ)有例如對(duì)應(yīng)于光譜的食物成分的相關(guān)信息，信號(hào)處理部224以存儲(chǔ)部225中所存儲(chǔ)的食物的相關(guān)信息為依據(jù)，分析所求出的光譜的數(shù)據(jù)，求出檢測(cè)對(duì)象中所含有的食物成分及其含量。此外，根據(jù)所得到的食物成分和含量，還可以算出食物熱量和鮮度等。并且，通過(guò)分析圖像內(nèi)的光譜分布，還可以實(shí)施檢查對(duì)象的食物中鮮度正在下降的部分的提取等，此外，還可以實(shí)施食物內(nèi)所含有的異物等的檢測(cè)。并且，信號(hào)處理部224進(jìn)行使如上述那樣得到的、檢查對(duì)象的食物的成分或者含量、熱量或者鮮度等信息顯示在顯示部230上的處理。此外，在圖8中，雖然示出了食物分析裝置200的示例，但利用大致相同的結(jié)構(gòu)，也可以用作上述那樣的其他信息的非侵入性測(cè)定裝置。例如，可以用作血液等體液成分的測(cè)定、分析等分析生物體成分的生物體分析裝置。作為這樣的生物體分析裝置，作為例如測(cè)定血液等體液成分的裝置，如果是檢測(cè)乙醇的裝置，則可以用作檢測(cè)駕駛員的飲酒狀態(tài)的酒駕防止裝置。此外，也可以用作具備這樣的生物體分析裝置的電子內(nèi)窺鏡系統(tǒng)。并且，也可以用作實(shí)施礦物的成分分析的礦物分析裝置。并且，作為本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊、電子設(shè)備，可以適用于如下所述的裝置。例如，通過(guò)使各波長(zhǎng)的光的強(qiáng)度隨時(shí)間而變化，可以利用各波長(zhǎng)的光來(lái)使數(shù)據(jù)傳送，在這種情況下，通過(guò)利用設(shè)置在光模塊中的波長(zhǎng)可變干涉濾波器將特定波長(zhǎng)的光分光，由受光部進(jìn)行光接收，可以提取出由特定波長(zhǎng)的光傳送的數(shù)據(jù)，利用具備這樣的數(shù)據(jù)提取用光模塊的電子設(shè)備，也可以通過(guò)處理各波長(zhǎng)的光的數(shù)據(jù)，從而實(shí)施光通信。此外，作為電子設(shè)備，也可以適用于通過(guò)由本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器對(duì)光進(jìn)行分光，從而拍攝分光圖像的分光照相機(jī)、分光分析器等。作為這樣的分光照相機(jī)的一個(gè)不例，可以列舉出內(nèi)置有波長(zhǎng)可變干涉濾波器的紅外線照相機(jī)。圖9是表示分光照相機(jī)的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖9所示，分光照相機(jī)300具有照相機(jī)主體310、攝像透鏡單元320、攝像部330 (檢測(cè)部)。照相機(jī)主體310是由用戶進(jìn)行把持、操作的部分。攝像透鏡單元320設(shè)置在照相機(jī)主體310 上，用于將射入的圖像光導(dǎo)入至攝像部330。此外，該攝像透鏡單元320構(gòu)成為具備物鏡321、成像透鏡322以及設(shè)置在這些透鏡之間的波長(zhǎng)可變干涉濾波器5。攝像部330由受光元件構(gòu)成，對(duì)由攝像透鏡單元320導(dǎo)入的圖像光進(jìn)行拍攝。在這樣的分光照相機(jī)300中，由波長(zhǎng)可變干涉濾波器5使成為攝像對(duì)象的波長(zhǎng)的光透過(guò)，從而可以對(duì)期望波長(zhǎng)的光的分光圖像進(jìn)行拍攝。并且，也可以將本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作帶通濾波器，例如，也可以用作光學(xué)式激光裝置，該光學(xué)式激光裝置僅使發(fā)光元件射出的規(guī)定波段的光中的、以規(guī)定的波長(zhǎng)為中心的窄波段的光在波長(zhǎng)可變干涉濾波器中分光并透過(guò)。此外，可以將本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器用作生物體認(rèn)證裝置，例如，也可以適用于使用了近紅外區(qū)域或者可視區(qū)域的光的、血管或者指紋、視網(wǎng)膜、虹膜等的認(rèn)證裝置。并且，可以將光模塊和電子設(shè)備用作濃度檢測(cè)裝置。在這種情況下，利用波長(zhǎng)可變干涉濾波器，將從物質(zhì)射出的紅外能量(紅外光)分光并分析，從而測(cè)定樣品中的受檢體濃度。如上所述，本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器、光模塊以及電子設(shè)備也可以適用于從入射光中對(duì)規(guī)定的光進(jìn)行分光的任何裝置。并且，如上所述，本發(fā)明的波長(zhǎng)可變干涉濾波器能夠用一個(gè)設(shè)備使多種波長(zhǎng)分光，因此可以高精度地實(shí)施多種波長(zhǎng)的光譜的測(cè)定、對(duì)多種成分的檢測(cè)。因此，與利用多個(gè)設(shè)備來(lái)取出所期望的波長(zhǎng)的現(xiàn)有裝置相比，可以促進(jìn)光模塊或者電子設(shè)備的小型化，例如，可以優(yōu)選用作攜帶用或者車(chē)載用的光學(xué)設(shè)備。此外，本發(fā)明實(shí)施時(shí)的具體結(jié)構(gòu)在能夠達(dá)到本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)能夠適當(dāng)?shù)刈兏鼮槠渌Y(jié)構(gòu)等。附圖標(biāo)記說(shuō)明I測(cè)色裝置(電子設(shè)備)3測(cè)色傳感器(光模塊)5，5A，5B波長(zhǎng)可變干涉濾波器31檢測(cè)部32電壓控制部51固定基板(第一基板)52可動(dòng)基板(第二基板)54固定反射膜(第一反射膜)55可動(dòng)反射膜(第二反射膜)57, 57A層疊部511A固定電極面(第一電極面)512A反射膜固定面(第一反射膜固定面)551反射膜連接電極561固定電極(第一電極)562可動(dòng)電極(第二電極)Gl反射膜間間隙G2電極間間隙
權(quán)利要求
1.一種波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在于，具備 第一基板； 第二基板，與所述第一基板相對(duì)； 第一反射膜，設(shè)置在所述第一基板的與所述第二基板相対的面上； 第二反射膜，設(shè)置在所述第二基板的與所述第一基板相対的面上，所述第二反射膜隔著反射膜間間隙與所述第一反射膜相対；以及 第一電極，設(shè)置在所述第一基板的與所述第二基板 相対的面上， 其中，所述第一基板具有 第一反射膜固定面，設(shè)置有所述第一反射膜；以及 第一電極面，設(shè)置有所述第一電極，所述第一電極面與所述第二基板的距離不同于所述第一反射膜固定面與所述第二基板的距離， 在所述第一反射膜固定面和所述第一電極面的與所述第二基板的距離大的面上，設(shè)置層疊有所述第一反射膜和所述第一電極的層疊部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在干，還具備 第二電極，設(shè)置在所述第二基板的與所述第一基板相対的面上，隔著比所述反射膜間間隙大的電極間間隙與所述第一電極相対， 其中，所述層疊部構(gòu)成為層疊有所述第一反射膜和所述第一電極的外周邊緣，所述第一反射膜從所述第一反射膜固定面延伸至覆蓋所述第一電極面的一部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在干， 所述層疊部構(gòu)成為在所述第一電極上層疊所述第一反射膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器，其特征在干，還具備 與所述第二反射膜連接的反射膜連接電扱。
5.ー種光模塊，其特征在于，具備 權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的波長(zhǎng)可變干涉濾波器；以及 檢測(cè)部，用于檢測(cè)由所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器取出的光。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光模塊,其特征在于， 所述波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備與所述第二反射膜連接的反射膜連接電扱， 所述光模塊具備使所述反射膜連接電極與所述第一電極成為等電位的電壓控制部。
7.—種電子設(shè)備,其特征在于,具備 權(quán)利要求5或6所述的光模塊。
全文摘要
本發(fā)明提供一種波長(zhǎng)可變干涉濾波器，該波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備第一基板；第二基板，與第一基板相對(duì)；第一反射膜，設(shè)置在第一基板的與第二基板相對(duì)的面上；第二反射膜，設(shè)置在第二基板的與第一基板相對(duì)的面上，第二反射膜隔著反射膜間間隙與第一反射膜相對(duì)；以及第一電極，設(shè)置在第一基板的與第二基板相對(duì)的面上，其中，該第一基板具有第一反射膜固定面，設(shè)置有第一反射膜；以及第一電極面，設(shè)置有第一電極，第一電極面與第二基板的距離不同于第一反射膜固定面與第二基板的距離，在第一反射膜固定面和第一電極面的與第二基板的距離大的面上，設(shè)置層疊有第一反射膜和第一電極的層疊部。
文檔編號(hào)G01J3/02GK102736156SQ20121010642
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月11日
發(fā)明者佐野朗, 松野靖史 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社