物理量傳感器、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠使配線的布局簡(jiǎn)單，并實(shí)現(xiàn)小型化的物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。本發(fā)明所涉及的物理量傳感器(100)包括：基板(10)；第一可動(dòng)體(20a)，其被配置于基板(10)上，且能夠圍繞第一支承軸(Q1)進(jìn)行位移，并且具備第一可動(dòng)電極部(24a)；第二可動(dòng)體(20b)，其被配置于基板(10)上，且能夠圍繞第二支承軸(Q2)進(jìn)行位移，并且具備第二可動(dòng)電極部(23b)；固定電極部(53)，其以在俯視觀察時(shí)與第一可動(dòng)電極部(24a)以及第二可動(dòng)電極部(23b)重合的方式而被配置于基板(10)上。
【專利說(shuō)明】物理量傳感器、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種物理量傳感器、電子設(shè)備、以及移動(dòng)體。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，例如，開(kāi)發(fā)出了一種使用娃MEMS (Micro Electro Mechanical Systems:微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)來(lái)對(duì)加速度等物理量進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器。
[0003]物理量傳感器例如具有:基板；固定電極部，其被固定于基板上；可動(dòng)體，其具備相對(duì)于固定電極部而被對(duì)置配置的可動(dòng)電極部，并且所述物理量傳感器根據(jù)固定電極部與可動(dòng)電極部之間的靜電電容，而對(duì)加速度等物理量進(jìn)行檢測(cè)。
[0004]例如在專利文獻(xiàn)I中，記載了如下內(nèi)容，即，在對(duì)鉛直方向上的加速度(將鉛直方向設(shè)為檢測(cè)方向)進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器中，為了通過(guò)信號(hào)處理來(lái)消除由于對(duì)檢測(cè)方向以外的方向具有檢測(cè)靈敏度所導(dǎo)致的誤差，而包括兩個(gè)可動(dòng)體、和對(duì)應(yīng)于該可動(dòng)體的可動(dòng)電極部而被設(shè)置的四個(gè)固定電極部。
[0005]然而，在上述的這種物理量傳感器中，為了向四個(gè)固定電極部施加電位而設(shè)置有分別與固定電極部連接的配線。因此，存在配線的布局變得復(fù)雜，并且不易實(shí)現(xiàn)物理量傳感器的小型化的情況。
[0006]本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于，提供一種使配線的布局簡(jiǎn)單，且能夠?qū)崿F(xiàn)小型化的物理量傳感器。此外，本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一還在于，提供一種包括上述物理量傳感器的電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2011-247812號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明為用于解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，并且能夠作為以下的方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0009]應(yīng)用例一
[0010]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器具有:基板；第一可動(dòng)體，其被配置于所述基板上，且能夠圍繞第一支承軸進(jìn)行位移，并且具備第一可動(dòng)電極部；第二可動(dòng)體，其配置于所述基板上，且能夠圍繞第二支承軸進(jìn)行位移，并且具備第二可動(dòng)電極部；固定電極部，其以在俯視觀察時(shí)與所述第一可動(dòng)電極部以及所述第二可動(dòng)電極部重疊的方式而被配置于所述基板上。
[0011]在這種物理量傳感器中，例如與分別在四個(gè)固定電極部上連接配線的方式(分別從四個(gè)固定電極部引出配線的方式)相比，能夠使配線的布局簡(jiǎn)單。其結(jié)果為，在這種物理量傳感器中，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0012]應(yīng)用例二
[0013]在本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，所述物理量傳感器具有第一固定電極部和第二固定電極部，在以所述第一支承軸為界將所述第一可動(dòng)體劃分為第一部分和第二部分的情況下，所述第一固定電極部以與所述第一部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上，所述第二固定電極部以與所述第二部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上，并且所述物理量傳感器具有第三固定電極部和第四固定電極部，在以所述第二支承軸為界將所述第二可動(dòng)體劃分為第三部分和第四部分的情況下，所述第三固定電極部以與所述第三部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上，且與所述第二固定電極部電連接，所述第四固定電極部以與所述第四部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上。
[0014]在這種物理量傳感器中，例如與分別在四個(gè)固定電極部上連接有配線的方式相t匕，能夠使配線的布局簡(jiǎn)單。其結(jié)果為，在這種物理量傳感器中，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0015]另外，在本發(fā)明所涉及的記載中，“電連接”這一書(shū)面語(yǔ)以如下方式使用，即，例如“與特定的部件(以下稱為‘A部件’)‘電連接’的其他的特定的部件(以下稱為‘B部件’)”等。在本發(fā)明所涉及的記載中，在該示例的這種情況下，包括A部件與B部件以直接連接方式電連接的情況、和A部件與B部件經(jīng)由其他部件而電連接的情況下，使用“電連接”這一書(shū)面語(yǔ)。
[0016]應(yīng)用例三
[0017]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，所述第二固定電極部以及所述第三固定電極部通過(guò)第一配線而與第一襯墊連接，所述第一固定電極部以及所述第四固定電極部通過(guò)第二配線而與第二襯墊連接。
[0018]在這種物理量傳感器中，例如與分別在四個(gè)固定電極部上連接有配線的方式相t匕，能夠使配線的布局簡(jiǎn)單。其結(jié)果為，在這種物理量傳感器中，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0019]應(yīng)用例四
[0020]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，具備信號(hào)處理電路，所述信號(hào)處理電路對(duì)所述第一襯墊的輸出信號(hào)與所述第二襯墊的輸出信號(hào)之差進(jìn)行運(yùn)算。
[0021]在這種物理量傳感器中，能夠通過(guò)差動(dòng)檢測(cè)方式來(lái)對(duì)加速度或角速度等的朝向與大小等的物理量進(jìn)行檢測(cè)。
[0022]應(yīng)用例五
[0023]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、所述第三固定電極部、以及所述第四固定電極部被設(shè)置于同一基板上。
[0024]在這種物理量傳感器中，能夠使配線的布局簡(jiǎn)單，并實(shí)現(xiàn)小型化。
[0025]應(yīng)用例六
[0026]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，
[0027]在所述基板上，在如下區(qū)域的至少一個(gè)區(qū)域內(nèi)配置有電極，S卩，所述第一固定電極部與所述第二固定電極部之間的區(qū)域、所述第二固定電極部與所述第三固定電極部之間的區(qū)域、以及所述第三固定電極部與所述第四固定電極部之間的區(qū)域。
[0028]在這種物理量傳感器中，能夠?qū)ψ饔糜诘谝豢蓜?dòng)體或第二可動(dòng)體與基板之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體貼附于基板上的情況。因此，例如在制造物理量傳感器時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生如下問(wèn)題，即，在第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體與基板產(chǎn)生電位差，第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體通過(guò)靜電力而被拉向基板側(cè)，從而第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體貼附于基板上的問(wèn)題。
[0029]應(yīng)用例七
[0030]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第一固定電極部和所述第二固定電極部之間的所述電極，與所述第一可動(dòng)體電連接。
[0031]在這種物理量傳感器中，能夠?qū)ψ饔糜诘谝豢蓜?dòng)體或第二可動(dòng)體與基板間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體貼附于基板之上的情況。
[0032]應(yīng)用例八
[0033]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第二固定電極部和所述第三固定電極部之間的所述電極，與所述第一可動(dòng)體以及所述第二可動(dòng)體中的至少一方電連接。
[0034]在這種物理量傳感器中，能夠?qū)Φ谝豢蓜?dòng)體或第二可動(dòng)體與基板之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體貼附于基板上的情況。
[0035]應(yīng)用例九
[0036]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，被配置于所述第三固定電極部和所述第四固定電極部之間的所述電極，與所述第二可動(dòng)體電連接。
[0037]在這種物理量傳感器中，能夠?qū)ψ饔糜诘谝豢蓜?dòng)體或第二可動(dòng)體與基板之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止第一可動(dòng)體或第二可動(dòng)體貼附于基板上的情況。
[0038]應(yīng)用例十
[0039]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，分別在所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、所述第三固定電極部、以及所述第四電極部的兩側(cè)處配置有所述電極。
[0040]在這種物理量傳感器中，能夠很容易地將第一固定電極部與電極之間產(chǎn)生的寄生電容、第二固定電極部與電極之間產(chǎn)生的寄生電容、第三固定電極部與電極之間產(chǎn)生的寄生電容、以及第四固定電極部與電極之間產(chǎn)生的寄生電容設(shè)為彼此相等。因此，能夠使用差動(dòng)檢測(cè)方式來(lái)消除第一固定電極部、第二固定電極部、第三固定電極部、以及第四固定電極部的寄生電容的影響。
[0041]應(yīng)用例^^一
[0042]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，S卩，在所述基板上，于所述電極和與之相鄰的固定電極部之間，設(shè)置有槽部。
[0043]在這種物理量傳感器中，能夠?qū)ψ饔糜诘谝豢蓜?dòng)體以及第二可動(dòng)體與基板之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而更切實(shí)地防止第一可動(dòng)體及第二可動(dòng)體貼附于基板上的情況。
[0044]應(yīng)用例十二
[0045]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備包括應(yīng)用例一所述的物理量傳感器。
[0046]在這種電子設(shè)備中，由于包括本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0047]應(yīng)用例十三
[0048]本應(yīng)用例所涉及的移動(dòng)體，包括應(yīng)用例一所述的物理量傳感器。
[0049]在這種移動(dòng)體中，由于包括本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0050]圖1為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器俯視圖。
[0051]圖2為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器剖視圖。
[0052]圖3為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器剖視圖。
[0053]圖4為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器剖視圖。
[0054]圖5為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0055]圖6為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0056]圖7為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的制造工序的剖視圖。
[0057]圖8為模式化地表示本實(shí)施方式的第一改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0058]圖9為模式化地表示本實(shí)施方式的第一改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0059]圖10模式化地表示本實(shí)施方式的第二改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0060]圖11為模式化地表示本實(shí)施方式的第二改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0061]圖12為模式化地表示本實(shí)施方式的第三改變例所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0062]圖13為模式化地表示本實(shí)施方式的第三改變例所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0063]圖14為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。
[0064]圖15為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。
[0065]圖16為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的立體圖。
[0066]圖17為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)體的立體圖。

【具體實(shí)施方式】
[0067]以下，使用附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，在下文中說(shuō)明的實(shí)施方式并非對(duì)權(quán)利要求中所記載的本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行不當(dāng)限定。此外，在下文中所說(shuō)明的結(jié)構(gòu)的全部?jī)?nèi)容不一定為本發(fā)明的必須結(jié)構(gòu)要件。
[0068]1.物理量傳感器
[0069]首先，參照附圖對(duì)本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器進(jìn)行說(shuō)明。圖1為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器100的俯視圖。圖2為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器100的、圖1中的I1-1I線剖視圖。圖3為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器100的、圖1中的II1-1II線剖視圖。圖4為模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的、圖1中的IV-1V線剖視圖。另外，為了便于說(shuō)明，在圖1中，以透視蓋體90的方式進(jìn)行圖示。此外，在圖1至圖4中，作為互相垂直的三個(gè)軸，而圖示了X軸、Y軸、以及Z軸。
[0070]如圖1至圖4所示，物理量傳感器100包括:基板10、可動(dòng)體20a、20b、支承部30、32、34、36、固定部 40、42、固定電極部 50、52、54、56、電極60、配線 70、72、74、襯墊 80、82、84、
蓋體90。在下文中，對(duì)于物理量傳感器100為檢測(cè)鉛直方向(Z軸方向)上的加速度的加速度傳感器(靜電電容型MEMS加速度傳感器)的示例進(jìn)行說(shuō)明。
[0071]基板10的材質(zhì)為，例如玻璃等的絕緣材料。例如通過(guò)使基板10采用玻璃等的絕緣材料、使可動(dòng)體20a、20b采用硅等的半導(dǎo)體材料，從而能夠容易地使兩者電絕緣，并能夠簡(jiǎn)化傳感器結(jié)構(gòu)。
[0072]在基板10的表面11上，形成有凹部12。在凹部12的上方處，隔著間隙而設(shè)置有可動(dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36。在圖1所示的示例中，凹部12的平面形狀(從Z軸方向觀察時(shí)的形狀)為長(zhǎng)方形。
[0073]基板10具有柱部16，所述柱部16被設(shè)置于凹部12的底面(對(duì)凹部12進(jìn)行規(guī)定的基板10的面)14上。柱部16與底面14相比向上方(+Z軸方向)突出。柱部16的高度與凹部12的深度例如相等。柱部16被設(shè)置有兩個(gè)。在柱部16上,設(shè)置有用于向可動(dòng)體20a、20b施加預(yù)定的電位的第三配線74。
[0074]第一可動(dòng)體20a、支承部30、32、以及固定部40被一體設(shè)置。第一可動(dòng)體20a、支承部30、32、以及固定部40結(jié)構(gòu)了第一結(jié)構(gòu)體101。第一結(jié)構(gòu)體101的材質(zhì)為，例如通過(guò)摻雜了磷、硼等的雜質(zhì)而賦予了導(dǎo)電性的硅。
[0075]第一可動(dòng)體20a能夠圍繞繞第一支承軸Ql進(jìn)行位移。具體而言，當(dāng)施加有鉛直方向(Z軸方向)上的加速度時(shí)，第一可動(dòng)體20a將以由支承部30、32所決定的第一支承軸Ql為旋轉(zhuǎn)軸(擺動(dòng)軸)而進(jìn)行杠桿式擺動(dòng)。第一支承軸Ql例如與Y軸平行。在圖示的示例中，第一可動(dòng)體20a的平面形狀為長(zhǎng)方形。第一可動(dòng)體20a的厚度(Z軸方向上的大小)例如是固定的。
[0076]第一可動(dòng)體20a具有第一杠桿片(第一部分)21a和第二杠桿片(第二部分)22a。第一杠桿片21a為，在俯視觀察時(shí)，通過(guò)第一支承軸Ql而被劃分成的第一可動(dòng)體20a的兩個(gè)部分中的一個(gè)部分(在圖1中位于左側(cè)的部分)。第二杠桿片22a為，在俯視觀察時(shí)，通過(guò)第一支承軸Ql而被劃分成的第一可動(dòng)體20a的兩個(gè)部分的另一個(gè)部分(在圖1中位于右側(cè)的部分)。S卩，第一可動(dòng)體20a以第一支承軸Ql為界而被劃分為第一杠桿片21a和第二杠桿片22a。
[0077]在向第一可動(dòng)體20a施加了鉛直方向上的加速度(例如重力加速度)的情況下，將分別在第一杠桿片21a與第二杠桿片22a上產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩(力矩)。在此,在第一杠桿片21a的轉(zhuǎn)矩(例如逆時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)矩)與第二杠桿片22a的轉(zhuǎn)矩(例如順時(shí)針?lè)较虻霓D(zhuǎn)矩)平衡的情況下，第一可動(dòng)體20a的傾斜度不會(huì)發(fā)生變化，從而無(wú)法對(duì)加速度進(jìn)行檢測(cè)。因此，第一可動(dòng)體20a被設(shè)計(jì)為，當(dāng)施加了鉛直方向上的加速度時(shí)，第一杠桿片21a的轉(zhuǎn)矩與第二杠桿片22a的轉(zhuǎn)矩不平衡，從而使第一可動(dòng)體20a產(chǎn)生預(yù)定的傾斜度。
[0078]在物理量傳感器100中，通過(guò)將第一支承軸Ql配置于從第一可動(dòng)體20a的中心(重心)偏離了的位置(通過(guò)使從第一支承軸Ql到各個(gè)杠桿片21a、22a的頂端的距離不同)，從而使杠桿片21a、22a具有互不相同的質(zhì)量。S卩，第一可動(dòng)體20a以第一支承軸Ql為界，在一側(cè)(第一杠桿片21a)與另一側(cè)(第二杠桿片22a)質(zhì)量有所不同。在圖示的示例中，從第一支承軸Ql到第一杠桿片21a的端面25的距離大于從第一支承軸Ql到第二杠桿片22a的端面26的距離。此外，第一杠桿片21a的厚度與第二杠桿片22a的厚度相等。因此,第一杠桿片21a的質(zhì)量大于第二杠桿片22a的質(zhì)量。如此，通過(guò)使杠桿片21a、22a具有互不相同的質(zhì)量，從而能夠在施加了鉛直方向上的加速度時(shí)，使第一杠桿片21a的轉(zhuǎn)矩與第二杠桿片22a的轉(zhuǎn)矩不平衡。因此，能夠在施加了鉛直方向上的加速度時(shí)，使第一可動(dòng)體產(chǎn)生預(yù)定的傾斜度。
[0079]另外，雖然未圖示，但也可以采用如下方式，S卩，通過(guò)將第一支承軸Ql配置于第一可動(dòng)體20a的中心處,且使杠桿片21a、22a的厚度互不相同，從而使杠桿片21a、22a具有互不相同的質(zhì)量。即使在這種情況下，也能夠在施加了鉛直方向上的加速度時(shí)，使第一可動(dòng)體20a產(chǎn)生預(yù)定的傾斜度。
[0080]第一可動(dòng)體20a以與基板10分離的方式而被設(shè)置。第一可動(dòng)體20a被設(shè)置于凹部12的上方處。在圖示的示例中，在第一可動(dòng)體20a與基板10之間，設(shè)置有間隙。此外，第一可動(dòng)體20a通過(guò)支承部30、32而以與固定部40分離的方式被設(shè)置。由此，第一可動(dòng)體20a能夠進(jìn)行杠桿式擺動(dòng)。
[0081]第一可動(dòng)體20a具備以第一支承軸Ql為界而被設(shè)置的第三可動(dòng)電極部23a以及第一可動(dòng)電極部24a。第三可動(dòng)電極部23a被設(shè)置于第一杠桿片21a上。第一可動(dòng)電極部24a被設(shè)置于第二杠桿片22a上。
[0082]第三可動(dòng)電極部23a為，第一可動(dòng)體20a中的、在俯視觀察時(shí)與第一固定電極部50重疊的部分。在第三可動(dòng)電極部23a與第一固定電極部50之間形成靜電電容Cl。S卩，通過(guò)第三可動(dòng)電極部23a和第一固定電極部50而形成了靜電電容Cl。
[0083]第一可動(dòng)電極部24a為，第一可動(dòng)體20a中的、在俯視觀察時(shí)與第二固定電極部52重疊的部分。在第一可動(dòng)電極部24a與第二固定電極部52之間形成靜電電容C2。S卩，通過(guò)第一可動(dòng)電極部24a和第二固定電極部52而形成了靜電電容C2。在物理量傳感器100中，通過(guò)以導(dǎo)電性材料(摻雜了雜質(zhì)的娃)結(jié)構(gòu)第一可動(dòng)體20a,從而設(shè)置可動(dòng)電極部23a、24a。即，第一杠桿片21a作為第三可動(dòng)電極部23a而發(fā)揮功能，第二杠桿片22a作為第一可動(dòng)電極部24a而發(fā)揮功能。
[0084]靜電電容Cl以及靜電電容C2被結(jié)構(gòu)為，例如，在圖2所示的第一可動(dòng)體20a為水平的狀態(tài)下變?yōu)楸舜讼嗟??？蓜?dòng)電極部23a、24a的位置根據(jù)第一可動(dòng)體20a的動(dòng)作而發(fā)生變化。靜電電容C1、C2根據(jù)可動(dòng)電極部23a、24a的位置而發(fā)生變化。在第一可動(dòng)體20a上，經(jīng)由支承部30、32而被施加有預(yù)定的電位。
[0085]在第一可動(dòng)體20a上，形成有貫穿第一可動(dòng)體20a的狹縫部27。由此，能夠降低第一可動(dòng)體20a進(jìn)行搖動(dòng)時(shí)的空氣的影響(空氣的阻力)。狹縫部27例如被形成多個(gè)。在圖示的示例中，狹縫部27的平面形狀為長(zhǎng)方形。
[0086]在第一可動(dòng)體20a上，形成有貫穿第一可動(dòng)體20a的開(kāi)口部28。在開(kāi)口部28中，設(shè)置有支承部30、32以及固定部40。在圖示的示例中，開(kāi)口部28的平面形狀為長(zhǎng)方形。第一可動(dòng)體20a經(jīng)由支承部30、32而與固定部40連接。
[0087]支承部30、32以能夠圍繞第一支承軸Ql進(jìn)行位移的方式對(duì)第一可動(dòng)體20a進(jìn)行支承。支承部30、32作為扭轉(zhuǎn)彈簧(扭簧)而發(fā)揮功能。由此，支承部30、32能夠通過(guò)第一可動(dòng)體20a進(jìn)行杠桿式擺動(dòng)而相對(duì)于在支承部30、32中產(chǎn)生的扭轉(zhuǎn)變形而具有較強(qiáng)復(fù)原力。
[0088]支承部30、32在俯視觀察時(shí)，被配置于第一支承軸Ql上。支承部30、32沿著第一支承軸Ql而延伸。支承部30從固定部40起向+Y軸方向延伸。支承部32從固定部40起向-Y軸方向延伸。
[0089]固定部40被設(shè)置于開(kāi)口部28中。固定部40在俯視觀察時(shí)，被設(shè)置于第一支承軸Ql上。固定部40與基板10的柱部16接合。固定部40的(第一結(jié)構(gòu)體101的)材質(zhì)為娃，且在基板10的材質(zhì)為玻璃的情況下，固定部40與基板10例如通過(guò)陽(yáng)極接合而被接合。在圖示的示例中，固定部40的中央部與基板10接合。
[0090]在固定部40的與基板10分離的部分上，形成有貫穿孔44。貫穿孔44在俯視觀察時(shí)被配置于第一支承軸Ql上。通過(guò)在固定部40中形成貫穿孔44，從而能夠降低因基板10的熱膨脹率與第一結(jié)構(gòu)體101的熱膨脹率之差而產(chǎn)生的應(yīng)力、或安裝時(shí)施加于裝置上的應(yīng)力等對(duì)支承部30、32的影響。
[0091]在物理量傳感器100中，第一結(jié)構(gòu)體101通過(guò)一個(gè)固定部40而被固定于基板10上。即，第一結(jié)構(gòu)體101通過(guò)一點(diǎn)(一個(gè)固定部40)而被固定于基板10上。因此，例如與結(jié)構(gòu)體通過(guò)兩點(diǎn)(兩個(gè)固定部)而被固定于基板上的情況相比，能夠降低因基板10的熱膨脹率與第一結(jié)構(gòu)體101的熱膨脹率之差而產(chǎn)生的應(yīng)力、或安裝時(shí)施加于裝置上的應(yīng)力等對(duì)支承部30、32的影響。
[0092]另外，雖然未圖不，但固定部40也可以被設(shè)置于表面11的、位于第一可動(dòng)體20a的+Y軸方向上的部分以及位于第一可動(dòng)體20a的-Y軸方向上的部分。在該情況下，也可以在第一可動(dòng)體20a上不形成開(kāi)口部28。
[0093]第二可動(dòng)體20b、支承部34、36、以及固定部42被一體設(shè)置。第二可動(dòng)體20b、支承部34、36、以及固定部42結(jié)構(gòu)了第二結(jié)構(gòu)體102。第二結(jié)構(gòu)體102的材質(zhì)與第一結(jié)構(gòu)體101的材質(zhì)相同。
[0094]第二可動(dòng)體20b具有第三杠桿片(第三部分)21b和第四杠桿片(第四部分)22b。第三杠桿片21b為，在俯視觀察時(shí)通過(guò)第二支承軸Q2而被劃分形成的第二可動(dòng)體20b的兩個(gè)部分的中的一個(gè)部分(在圖1中位于左側(cè)部分)。第四杠桿片22b為，在俯視觀察時(shí)通過(guò)第二支承軸Q2而被劃分形成的第二可動(dòng)體20b的兩個(gè)部分的中的另一個(gè)部分(在圖1中位于右側(cè)部分)。即，第二可動(dòng)體20b以第二支承軸Q2為界被劃分為第三杠桿片21b和第四杠桿片22b。
[0095]第二可動(dòng)體20b能夠圍繞第二支承軸Q2進(jìn)行位移。第二可動(dòng)體20b具備以第二支承軸Q2為界而被設(shè)置的第二可動(dòng)電極部23b以及第四可動(dòng)電極部24b。第二可動(dòng)電極部23b被設(shè)置于第三杠桿片21b上。第二可動(dòng)電極部23b為，第二可動(dòng)體20b中的、在俯視觀察時(shí)與第三固定電極部54重疊的部分。在第二可動(dòng)電極部23b與第三固定電極部54之間形成靜電電容C3。第四可動(dòng)電極部24b被設(shè)置于第四杠桿片22b上。第四可動(dòng)電極部24b為，第二可動(dòng)體20b中的、在俯視觀察時(shí)與第四固定電極部56重疊的部分。在第四可動(dòng)電極部24b與第四固定電極部56之間形成靜電電容C4。
[0096]通過(guò)第二可動(dòng)體20b、支承部34、36、以及固定部42結(jié)構(gòu)的第二結(jié)構(gòu)體102，例如與通過(guò)第一可動(dòng)體20a、支承部30、32、以及固定部40結(jié)構(gòu)的第一結(jié)構(gòu)體101，關(guān)于假想直線(在俯視觀察時(shí)通過(guò)凹部12的中心C，并與Y軸平行的直線)L對(duì)稱配置。結(jié)構(gòu)第二結(jié)構(gòu)體102的部件的說(shuō)明可以適用上文所述的結(jié)構(gòu)第一結(jié)構(gòu)體101的部件的說(shuō)明。在圖1所示的示例中，可動(dòng)電極部23a、23b、24a、24b以第三可動(dòng)電極部23a、第一可動(dòng)電極部24a、第二可動(dòng)電極部23b、第四可動(dòng)電極部24b的順序在X軸方向上排列。
[0097]第一固定電極部50被設(shè)置于基板10上。第一固定電極部50以與第三可動(dòng)電極部23對(duì)置的方式而被配置。第三可動(dòng)電極部23隔著間隙而位于第一固定電極部50的上方處。在以第一支承軸Ql為界將第一可動(dòng)體20a劃分為第一杠桿片21a和第二杠桿片22a的情況下，第一固定電極部50以與第一杠桿片21a對(duì)置的方式而被配置于基板10上。
[0098]第二固定電極部52被設(shè)置于基板10上。第二固定電極部52以與第一可動(dòng)電極部24a對(duì)置的方式而被配置。第一可動(dòng)電極部24a隔著間隙而位于第二固定電極部52的上方處。在以第一支承軸Ql為界將第一可動(dòng)體20a劃分為第一杠桿片21a和第二杠桿片22a的情況下，第二固定電極部52以與第二杠桿片22a對(duì)置的方式而被配置于基板10上。
[0099]第三固定電極部54被配置于基板10上。第三固定電極部54以與第二可動(dòng)電極部23b對(duì)置的方式而被配置。第二可動(dòng)電極部23b隔著間隙而位于第三固定電極部54的上方處。在以第二支承軸Q2為界將第二可動(dòng)體20b劃分為第三杠桿片21b和第四杠桿片22b的情況下，第三固定電極部54以與第三杠桿片21b對(duì)置的方式而被配置于基板10上。
[0100]第三固定電極部54與第二固定電極部52結(jié)構(gòu)共同電極53。第三固定電極部54與第二固定電極部52電連接。第三固定電極部54與第二固定電極部52 —體設(shè)置。共同電極53在俯視觀察時(shí)與可動(dòng)電極部23b、24a重疊并被配置于基板10上。在固定電極部52、54之間，設(shè)置有第三電極63。在圖示的示例中，在共同電極53的固定電極部52、54之間的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有切口部5，第三電極63被設(shè)置于切口部5中。
[0101]第四固定電極部56被設(shè)置于基板10上。第四固定電極部56以與第四可動(dòng)電極部24b對(duì)置的方式而被配置。第四可動(dòng)電極部24b隔著間隙而位于第四固定電極部56的上方處。在以第二支承軸Q2為界將第二可動(dòng)體20b劃分為第三杠桿片21b和第四杠桿片22b的情況下，第四固定電極部56以與第四杠桿片22b對(duì)置的方式而被配置于基板10上。固定電極部50、52、54、56被設(shè)置于同一基板10上。
[0102]第一固定電極部50被設(shè)置于電極61、62之間。第二固定電極部52被設(shè)置于電極61、63之間。第三固定電極部54被設(shè)置于電極63、64之間。第四固定電極部56被設(shè)置于電極64、65之間。即，分別在固定電極部50、52、54、56的兩側(cè)配置有電極60。分別與固定電極部50、52、54、56相鄰的電極60的數(shù)量為兩個(gè)。如此，在物理量傳感器100中，與第一固定電極部50相鄰的電極60的數(shù)量、與第二固定電極部52相鄰的電極60的數(shù)量、與第三固定電極部54相鄰的電極60的數(shù)量、以及與第四固定電極部56相鄰的電極60的數(shù)量彼此相等。
[0103]第一固定電極部50的與第一可動(dòng)體20a對(duì)置的部分的面積、第二固定電極部52的與第一可動(dòng)體20a對(duì)置的部分的面積、第三固定電極部54的與第二可動(dòng)體20b對(duì)置的部分的面積、以及第四固定電極部56的與第二可動(dòng)體20b對(duì)置的部分的面積彼此相等。
[0104]另外，雖然未圖不，但也可以在蓋體90的、與第三可動(dòng)電極部23對(duì)置的位置上設(shè)置第一固定電極部50,在蓋體90的、與第一可動(dòng)電極部24a對(duì)置的位置上設(shè)置第二固定電極部52,在蓋體90的、與第二可動(dòng)電極部23b對(duì)置的位置上設(shè)置第三固定電極部54,在蓋體90的、與第四可動(dòng)電極部24b對(duì)置的位置上設(shè)置第四固定電極部56。
[0105]電極60被設(shè)置于基板10上。在圖示的示例中，電極60被設(shè)置于凹部12的底面14上。電極60被設(shè)置多個(gè)。電極60與可動(dòng)體20a、20b電連接。因此，在物理量傳感器100中，能夠?qū)㈦姌O60與可動(dòng)體20a、20b設(shè)為等電位。由此，電極60能夠抑制作用于結(jié)構(gòu)體101、102和(可動(dòng)體20a、20b)基板10之間的靜電力。
[0106]多個(gè)電極60中的第一電極61被設(shè)置于基板10的第一固定電極部50和第二固定電極部52之間的區(qū)域內(nèi)。第一電極61以與第一可動(dòng)體20a和支承部30、32對(duì)置的方式而被設(shè)置。即，第一電極61在俯視觀察時(shí)與第一可動(dòng)體20a以及支承部30、32重疊。第一可動(dòng)體20a以及支承部30、32隔著間隙而位于第一電極61上方處。第一電極61的一部分被設(shè)置于柱部16的表面上，且與固定部40連接。
[0107]多個(gè)電極60中的第二電極62被設(shè)置于在俯視觀察時(shí)與基板10的第一杠桿片21a重疊的區(qū)域內(nèi)，且被設(shè)置于第一固定電極部50的-X軸方向上的區(qū)域內(nèi)。第二電極62以與第一杠桿片21a對(duì)置的方式而被配置。第一杠桿片21a隔著間隙而位于第二電極62上方處。
[0108]多個(gè)電極60中的第三電極63被設(shè)置于基板10的第二固定電極部52與第三固定電極部54之間的區(qū)域內(nèi)。第三電極63例如在俯視觀察時(shí)被設(shè)置于不與可動(dòng)體20a、20b重疊的位置上。
[0109]多個(gè)電極60中的第四電極64被設(shè)置于基板10的第三固定電極部54與第四固定電極部56之間的區(qū)域內(nèi)。第四電極64以與第二可動(dòng)體20b和支承部34、36對(duì)置的方式而被設(shè)置。即，第四電極64在俯視觀察時(shí)與第二可動(dòng)體20b以及支承部34、36重疊。第二可動(dòng)體20b以及支承部34、36隔著間隙而位于第四電極64上方處。第四電極64的一部分被設(shè)置于柱部16的表面上，且與固定部42連接。
[0110]多個(gè)電極60中的第五電極65被設(shè)于在俯視觀察時(shí)與基板10的第四杠桿片22b重疊的區(qū)域內(nèi)，且被設(shè)置于第四固定電極部56的+X軸方向上的區(qū)域內(nèi)。第五電極65以與第四杠桿片22b對(duì)置的方式而被配置。第四杠桿片22b隔著間隙而位于第五電極65上方處。
[0111]固定電極部50、56、共同電極53、以及電極60(以下，也稱為“固定電極部50等”)的材質(zhì)為，例如招、金、IT0(Indium Tin Oxide:銦錫氧化物)等。固定電極部50等的材質(zhì)優(yōu)選為ITO等透明電極材料。在作為固定電極部50等的材質(zhì)而使用透明電極材料從而使基板10為透明基板(玻璃基板)的情況下，能夠很容易地目視確認(rèn)存在于固定電極部50等上的異物。
[0112]第一配線70被設(shè)置于基板10上。第一配線70連接被設(shè)置于基板10上的第一襯墊80和共同電極53。即，固定電極部52、54通過(guò)第一配線70而與第一襯墊80連接。第一配線70具有:硅部70a，其由通過(guò)摻雜磷或硼等的雜質(zhì)而被賦予了導(dǎo)電性的硅層結(jié)構(gòu)；金屬部70b，其由金屬層結(jié)構(gòu)；接觸部70C，其連接硅部70a和金屬部70b。
[0113]第一配線70的娃部70a被設(shè)置于基板10的表面11上。娃部70a與基板10接合。金屬部70b被設(shè)置于在表面11上所形成的槽部17a的底面、以及凹部12的底面14上。在圖示示例中，硅部70a經(jīng)由接觸部70C而與第一襯墊80以及金屬部70b連接。金屬部70b與共同電極53連接。金屬部70b的材質(zhì)為,例如招、金、IT0(Indium Tin Oxide)等。接觸部70C的材質(zhì)為，例如鋁、金、鉬。
[0114]第二配線72被設(shè)置于基板10上。具體而言，第二配線72被設(shè)置于在基板10的表面11上所形成的槽部18的底面、以及凹部12的底面14上。第二配線72連接被設(shè)置于基板10上的第二襯墊82和固定電極部50、56。即，固定電極部50、56通過(guò)第二配線72而與第二襯墊82連接。第二配線72從第二襯墊82延伸并分岔，且與固定電極部50、56連接。第二配線72例如由金屬層結(jié)構(gòu)，更具體而言，第二配線72的材質(zhì)與第一配線70的金屬部70b的材質(zhì)相同。
[0115]配線70、72在俯視觀察時(shí)，在交叉部71處互相交叉。在交叉部71中，配線70、72中的一方為設(shè)置于基板10上的硅層，配線70、72中的另一方為設(shè)置于在基板10上所形成的槽部的中金屬層。在圖示的示例中，在交叉部71處，第一配線70為被設(shè)置于基板10上的硅70a (硅層)，第二配線72為被設(shè)置于在基板10上所形成的槽部18中的金屬層。
[0116]另外，雖然未圖示，但在交叉部71中，也可以為第一配線70是被設(shè)置于在基板10上所形成的槽部中的金屬層，第二配線72是被設(shè)置于基板10上的硅層。此外，雖然未圖示，但也可以為配線70、72都是被設(shè)置于槽部中的金屬層，也可以在交叉部71中，通過(guò)在配線70,72之間設(shè)置絕緣層而使配線70、72分離。
[0117]配線70、72具有彼此平行的平行部73。在平行部73中，配線70、72中的一方為被設(shè)置于基板10上的硅層，配線70、72中的另一方為被設(shè)置于在基板10上所形成的槽部中的金屬層。在圖示的示例中，在平行部73中，第一配線70為被設(shè)置于在基板10上的硅部70a (硅層)，第二配線72為被設(shè)置于在基板10上所形成的槽部18中的金屬層。在此，“互相平行的平行部73”，是指在配線70、72之間不存在可動(dòng)體20a、20b以及其他配線的部分，且為配線70、72互相平行地延伸的部分。在圖示的示例中，平行部73為第一配線70的向X軸方向延伸的部分、以及第二配線72的向X軸方向延伸的部分。
[0118]另外，雖然未圖示，但在平行部73中，也可以第一配線70為被設(shè)置于在基板上所形成的槽部中的金屬層，第二配線72為被設(shè)置于基板10上的硅層。
[0119]第三配線74被設(shè)置于基板10上。具體而言，第三配線74被設(shè)置于在基板10的表面11上所形成的槽部19的底面、以及凹部12的底面14上。第三配線74連接被設(shè)置于基板10上的第三襯墊84和電極60。S卩，電極60通過(guò)第三配線74而與第三襯墊84連接。第三配線74從第三襯墊84延伸并分岔，且與電極60連接。第三配線74的材質(zhì)例如由金屬層形成，更具體而言，第三配線74的材質(zhì)與第一配線70的金屬部70b的材質(zhì)相同。另外，也可以為第三配線74的一部分由硅層結(jié)構(gòu)。
[0120]襯墊80、82、84被設(shè)置于基板10上。在圖示的示例中，襯墊80、82、84分別被設(shè)置于槽部17b、18、19中，且與配線70、72、74連接。襯墊80、82、84在俯視觀察時(shí)被設(shè)置于不與蓋體90重疊的位置上。襯墊80、82、84的材質(zhì)為例如與固定電極部50等相同。
[0121]蓋體90被設(shè)置于基板10上(表面11上)。蓋體90與基板10接合。蓋體90以及基板10形成了收納可動(dòng)體20a、20b的空腔92?？涨?2例如為惰性氣體(例如氮?dú)?環(huán)境。蓋體90的材質(zhì)例如為硅。在蓋體90的材質(zhì)為硅、基板10的材質(zhì)為玻璃的情況下，基板10與蓋體90例如通過(guò)陽(yáng)極接合而被接合。
[0122]接下來(lái)，對(duì)物理量傳感器100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0123]在物理量傳感器100中，第一可動(dòng)體20a根據(jù)加速度、角速度等的物理量而圍繞第一支承軸Ql進(jìn)行擺動(dòng)，第二可動(dòng)體20b圍繞第二支承軸Q2進(jìn)行擺動(dòng)。伴隨于第一可動(dòng)體20a的移動(dòng)，第三可動(dòng)電極部23a與第一固定電極部50之間的距離、以及第一可動(dòng)電極部24a與第二固定電極部52之間的距離將發(fā)生變化。伴隨于第二可動(dòng)體20b的移動(dòng)，第二可動(dòng)電極部23b與第三固定電極部54之間的距離、以及第四可動(dòng)電極部24b與第四固定電極部56之間的距離將發(fā)生變化。
[0124]具體而言，例如當(dāng)鉛直朝上(+Z軸方向)的加速度被施加于物理量傳感器100上時(shí)，第一可動(dòng)體20a將向逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn),從而第三可動(dòng)電極部23a與第一固定電極部50之間的距離變小，第一可動(dòng)電極部24a與第二固定電極部52之間的距離變大。其結(jié)果為，靜電電容Cl變大、靜電電容C2變小。此外，第二可動(dòng)體20b將向順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而第二可動(dòng)電極部23b與第三固定電極部54之間的距離變大，第四可動(dòng)電極部24b與第四固定電極部56之間的距離變小。其結(jié)果為，靜電電容C3變小、靜電電容C4變大。
[0125]例如當(dāng)鉛直朝下(-Z軸方向)的加速度被施加于物理量傳感器100上時(shí)，第一可動(dòng)體20a將向順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而第三可動(dòng)電極部23a與第一固定電極部50之間的距離變大，第一可動(dòng)電極部24a與第二固定電極部52之間的距離變小。其結(jié)果為，靜電電容Cl變小、靜電電容C2變大。此外，第二可動(dòng)體20b將向逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，從而第二可動(dòng)電極部23b與第三固定電極部54之間的距離變小，第四可動(dòng)電極部24b與第四固定電極部56之間的距離變大。其結(jié)果為，靜電電容C3變大、靜電電容C4變小。
[0126]在物理量傳感器100中，使用襯墊80、84來(lái)對(duì)靜電電容C2與靜電電容C3的和C2+C3進(jìn)行檢測(cè)，使用襯墊82、84來(lái)對(duì)靜電電容Cl與靜電電容C4的和C1+C4進(jìn)行檢測(cè)。而且，能夠根據(jù)C2+C3與C1+C4之差(根據(jù)所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式)來(lái)對(duì)加速度或角速度等的朝向與大小等的物理量進(jìn)行檢測(cè)。具體而言，物理量傳感器100具備信號(hào)處理電路(未圖示)，該信號(hào)處理電路能夠?qū)Φ谝灰r墊80的輸出信號(hào)與第二襯墊82的輸出信號(hào)之差運(yùn)算，并通過(guò)差動(dòng)檢測(cè)方式來(lái)對(duì)加速度或角速度等的朝向與大小等物理量進(jìn)行檢測(cè)。
[0127]如上所述，物理量傳感器100能夠作為加速度傳感器或陀螺傳感器等慣性傳感器使用。具體而言，物理量傳感器100能夠作為用于對(duì)鉛直方向(Z軸方向)上的加速度進(jìn)行測(cè)定的靜電電容型加速度傳感器來(lái)使用。此外，物理量傳感器100通過(guò)具有結(jié)構(gòu)體101、102從而能夠通過(guò)信號(hào)處理來(lái)消除由于在檢測(cè)方向(Z軸方向)以外的方向(例如X軸方向)上具有檢測(cè)靈敏度所導(dǎo)致的誤差。其結(jié)果為，能夠進(jìn)一步提高Z軸方向上的檢測(cè)靈敏度。
[0128]物理量傳感器100例如具有以下特征。
[0129]在物理量傳感器100中，包括:基板10 ;第一可動(dòng)體24a，其被配置于基板10上，并能夠圍繞第一支承軸Ql進(jìn)行位移，且具備第一可動(dòng)電極部24a ;第二可動(dòng)體20b，其被配置于基板10上，并能夠圍繞第二支承軸Q2進(jìn)行位移，且具備第二可動(dòng)電極部23b ;固定電極部(共同電極)53，其在俯視觀察時(shí)與第一可動(dòng)電極部24a以及第二可動(dòng)電極部23b重疊并被配置于基板10上。
[0130]具體而言，物理量傳感器100包括第一固定電極部50和第二固定電極部52,在以第一支承軸Ql為界將第一可動(dòng)體20a劃分為第一杠桿片(第一部分)21a和第二杠桿片(第二部分)22a的情況下，所述第一固定電極部50以與第一杠桿片21a對(duì)置的方式而被配置于基板10上，所述第二固定電極部52以與第二杠桿片22a對(duì)置的方式而被配置于基板10上，并且所述物理量傳感器100包括第三固定電極部54和第四固定電極部56，在以第二支承軸Q2為界將第二可動(dòng)體20b劃分為第三杠桿片(第三部分)21b和第四杠桿片(第四部分)22b的情況下，所述第三固定電極部54以與第三杠桿片21b對(duì)置的方式而被配置于基板10上，且與第二固定電極部52電連接，所述第四固定電極部56以與第四杠桿片22b對(duì)置的方式而被配置于基板10上。
[0131]而且，在物理量傳感器100中，固定電極部52、54通過(guò)第一配線70而與第一襯墊80連接，固定電極部50、56通過(guò)第二配線72而與第二襯墊82連接。即，固定電極部52、54結(jié)構(gòu)了共同電極53，第一配線70連接第一襯墊80和共同電極53，第二配線72連接第二襯墊82和固定電極部50、56。因此，在物理量傳感器100中，例如與在四個(gè)固定電極部上分別連接有配線的方式(分別從四個(gè)固定電極部引出配線的方式)相比，能夠使配線的布局簡(jiǎn)單。其結(jié)果為，在物理量傳感器100中，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0132]在物理量傳感器100中具備信號(hào)處理電路,信號(hào)處理電路對(duì)第一襯墊80的輸出信號(hào)與第二襯墊82的輸出信號(hào)之差進(jìn)行運(yùn)算。由此，在物理量傳感器100中，能夠通過(guò)信號(hào)處理來(lái)消除由于在檢測(cè)方向(Z軸方向)以外的方向(例如X軸方向)上具有檢測(cè)靈敏度所導(dǎo)致的誤差。其結(jié)果為，能夠進(jìn)一步提高Z軸方向上的檢測(cè)靈敏度。
[0133]在物理量傳感器100中，在基板10上，在如下領(lǐng)域中的至少一個(gè)區(qū)域中配置有電極60,即,第一固定電極部50與第二固定電極部52之間的區(qū)域、第二固定電極部52與第三固定電極部54之間的區(qū)域、第三固定電極部54與第四固定電極部56之間的區(qū)域。而且，被配置于固定電極部50、52之間的電極60與第一可動(dòng)體20a電連接。被配置于固定電極部52、54之間的電極60與第一可動(dòng)體20a以及第二可動(dòng)體20b中的至少一方電連接。被配置于固定電極部54、56之間電極60與第二可動(dòng)體20b電連接。由此,在物理量傳感器100中，能夠?qū)ψ饔糜诳蓜?dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36和基板10之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上。因此，例如在制造物理量傳感器100時(shí)，將不會(huì)發(fā)生如下問(wèn)題，即，在可動(dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36與基板10之間生成電位差，可動(dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36因靜電力而被拉向基板10 —側(cè)，從而使可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上的問(wèn)題。
[0134]在物理量傳感器100中，分別在固定電極部50、52、54、56的兩側(cè)配置有電極60。即，與第一固定電極部50相鄰的電極60的數(shù)量、與第二固定電極部52相鄰的電極60的數(shù)量、與第三固定電極部54相鄰的電極60的數(shù)量、以及與第四固定電極部56相鄰的電極60的數(shù)量彼此相同。因此，能夠很容易地將第一固定電極部50與電極60之間產(chǎn)生的寄生電容、第二固定電極部52與電極60之間產(chǎn)生的寄生電容、第三固定電極部54與電極60之間產(chǎn)生的寄生電容、以及第四固定電極部56與電極60之間產(chǎn)生的寄生電容設(shè)為彼此相等。因此，能夠使用差動(dòng)檢測(cè)方式來(lái)消除在固定電極部50、52、54、56中的寄生電容的影響。
[0135]在物理量傳感器100中，在配線70、72互相交叉的交叉部71中，配線70、72中的一方為被設(shè)置于基板10上的娃層，配線70、72中的另一方為被設(shè)置于在基板10所形成的槽部中的金屬層。因此，在物理量傳感器100中，能夠防止第一配線70與第二配線72發(fā)生短路。而且，在交叉部71處，無(wú)需在配線70、72之間形成絕緣層，從而能夠?qū)崿F(xiàn)制造工序的簡(jiǎn)化。
[0136]在物理量傳感器100中，在配線70、72的平行部73中，配線70、72中的一方被設(shè)置于基板10上，配線70、72中的另一方為被設(shè)置于在基板10上所形成的槽部中的金屬層。因此，在物理量傳感器100中，能夠減小平行部73中的配線70、72之間的寄生電容。例如，在平行部中，在兩條配線均為被形成在基板上的硅層、或均為被設(shè)置于槽部中的金屬層的情況下，兩條配線之間的寄生電容將會(huì)變大。
[0137]1.2.物理量傳感器的制造方法
[0138]接下來(lái)，參照附圖，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖5至圖7為，模式化地表示本實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器100的制造工序的剖視圖，且與圖2相對(duì)應(yīng)。
[0139]如圖5所示，例如對(duì)玻璃基板進(jìn)行圖案形成從而形成具有凹部12、柱部16、以及槽部17a、17b、18、19的基板10。玻璃基板的圖案形成例如通過(guò)光刻以及蝕刻而被實(shí)施。
[0140]接下來(lái)，在凹部12的底面14上，形成固定電極部50、56、共同電極53、以及電極
60。固定電極部50、56、共同電極53、以及電極60,在通過(guò)派射法等而于底面14上使導(dǎo)電層成膜之后，通過(guò)利用光刻以及蝕刻來(lái)對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行圖案形成從而被形成。在本工序中，固定電極部52、54作為共同電極53而被一體形成。
[0141]接下來(lái)，在槽部17a、18、19中分別形成金屬部70b、配線72、74。接下來(lái)，在槽部17b、18、19中形成襯墊80、82、84。接下來(lái)，在金屬部70b上及第一襯墊80上形成接觸部70C。金屬部70b、接觸部70C、配線72、74、以及襯墊80、82、84，在通過(guò)濺射法等而使導(dǎo)電層成膜后，利用光刻以及蝕刻對(duì)該導(dǎo)電層進(jìn)行圖案形成從而被形成。
[0142]另外，形成固定電極部50、56、共同電極53以及電極60的工序、形成金屬部70b、配線72、74的工序、以及形成襯墊80、82、84的工序，其順序沒(méi)有限制。
[0143]如圖6所示，在硅基板2上接合基板10。基板10與硅基板2的接合例如通過(guò)陽(yáng)極接合而被實(shí)施。
[0144]如圖7所示，在例如通過(guò)研磨機(jī)對(duì)硅基板2進(jìn)行研磨而使其薄膜化后，進(jìn)行圖案形成，從而使第一可動(dòng)體20a、支承部30、32、及固定部40 —體形成，而且使第二可動(dòng)體20b、支承部34、36、以及固定部42—體形成。而且，在本工序中，形成硅部70a。由此，能夠形成第一配線70。圖案形成通過(guò)光刻以及蝕刻(干蝕刻)而被實(shí)施，作為更具體的蝕刻技術(shù)，能夠使用博世(Bosch)法。
[0145]如圖2所示，在基板10上接合蓋體90，并將可動(dòng)體20a、20b收納于通過(guò)基板10以及蓋體90而形成的空腔92中?；?0與蓋體90的接合，例如通過(guò)陽(yáng)極接合而被實(shí)施。通過(guò)在惰性氣體環(huán)境下實(shí)施本工序，從而能夠在空腔92中填充惰性氣體。
[0146]在本工序中，在基板10上接合蓋體90時(shí)，在第一結(jié)構(gòu)體101與基板10之間、以及第二結(jié)構(gòu)體102與基板10之間，將產(chǎn)生較大的電位差。但是，在物理量傳感器100中，通過(guò)電極60從而能夠?qū)ψ饔糜诳蓜?dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36與基板10之間的靜電力進(jìn)行抑制。因此，能夠防止可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上。
[0147]通過(guò)以上工序，能夠制造出物理量傳感器100。
[0148]1.3.改變例
[0149]接下來(lái)，參照附圖，對(duì)本實(shí)施方式的改變例所涉及的物理量傳感器進(jìn)行說(shuō)明。在下文所示的各個(gè)改變例所涉及的物理量傳感器200、300、400中，對(duì)于與上文所述的物理量傳感器100的結(jié)構(gòu)部件具有相同功能的部件標(biāo)記相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。
[0150](I)第一改變例
[0151]首先，對(duì)第一改變例進(jìn)行說(shuō)明。圖8為模式化地表示第一改變例所涉及的物理量傳感器200的俯視圖。圖9為模式化地表示第一改變例所涉及的物理量傳感器200的、圖8中的IX-1X線剖視圖。另外，為了便于說(shuō)明，在圖8中，以透視蓋體90的方式進(jìn)行圖示。此外，在圖8、9以及下文所示的圖10至圖13中，作為互相垂直的三個(gè)軸而圖示了的X軸、Y軸、以及Z軸。
[0152]在物理量傳感器200中，如圖8及圖9所示，在基板10上形成有槽部210。
[0153]槽部210被形成多個(gè)。槽部210被形成于基板10的如下區(qū)域內(nèi)，S卩，第一固定電極部50、和與第一固定電極部50相鄰的電極60之間的區(qū)域,第二固定電極部52、和與第二固定電極部52相鄰的電極60之間的區(qū)域，第三固定電極部54、和與第三固定電極部54相鄰的電極60之間的區(qū)域，以及第四固定電極部56、和與第四固定電極部56相鄰的電極60之間的區(qū)域。
[0154]具體而言，槽部210被形成于基板10的如下區(qū)域內(nèi)，即、第一固定電極部50與電極61、62之間的區(qū)域、第二固定電極部52與電極61、63之間的區(qū)域、第三固定電極部54與電極63、64之間的區(qū)域、以及第四固定電極部56與電極64、65之間的區(qū)域。S卩，在物理量傳感器200中，在基板10上，于電極60和與之相鄰的固定電極部50、52、54、56之間，設(shè)置有槽部210。
[0155]槽部210被形成于凹部12的底面上。槽部210具有與凹部12的底面14相比、與第一可動(dòng)體20a或第二可動(dòng)體20b之間的距離較大的底面(與第一可動(dòng)體20a或第二可動(dòng)體20b對(duì)置的面)。通過(guò)形成槽部210，從而能夠增大基板10與可動(dòng)體20a、20b之間的距離(Z軸方向上的距離)。在此，靜電力大小與距離的平方成反比。因此，通過(guò)形成槽部210，從而能夠抑制作用于基板10和可動(dòng)體20a、20b之間的靜電力。
[0156]另外，槽部210的深度只要為基板10與可動(dòng)體20a、20b不因靜電力而貼合深度即可，并未被特別限定。
[0157]在物理量傳感器200中，能夠通過(guò)槽部210來(lái)對(duì)作用于可動(dòng)體20a、20b以及支承部30、32、34、36與基板10之間的靜電力進(jìn)行抑制，并更可靠地防止可動(dòng)體20a、20b貼合在基板10上的情況。
[0158]物理量傳感器200的制造方法，除了追加通過(guò)在凹部12的底面14上蝕刻而形成槽部210的工序之外，均與上文所述的物理量傳感器100的制造方法相同，因此省略對(duì)其說(shuō)明。
[0159](2)第二改變例
[0160]接下來(lái)，對(duì)第二改變例進(jìn)行說(shuō)明。圖10為模式化地表示第二改變例所涉及的物理量傳感器300的俯視圖。圖11為模式化地表示第二改變例所涉及的物理量傳感器300的、圖10中的X1-XI線剖視圖。另外，為了便于說(shuō)明，在圖10中，以透視蓋體90的方式進(jìn)行圖
/Jn ο
[0161]在物理量傳感器300中，如圖10及圖11所示，在固定電極部50、52、54、56以及電極60上，分別設(shè)置有突起部69。
[0162]突起部69從固定電極部50、52、54、56以及電極60起朝向上方(第一可動(dòng)體20a或第二可動(dòng)體20b側(cè))突出。突起部69的形狀為例如錘狀。突起部69在俯視觀察時(shí)，被設(shè)置于與第一可動(dòng)體20a或第二可動(dòng)體20b重合的區(qū)域內(nèi)。突起部69的數(shù)量與位置并未被特別限定。在圖示的示例中，突起部69被設(shè)置于底面14露出的區(qū)域的兩側(cè)(未被設(shè)置有固定電極部50、52、54、56以及電極60的區(qū)域)。具體而言，突起部69被設(shè)置于固定電極部50、52、54、56的四角處、電極61、64的四角處、電極62的第一固定電極部50側(cè)的端部處、以及電極65的第四固定電極部56側(cè)的端部處。
[0163]在物理量傳感器300中，在固定電極部50、52、54、56以及電極60上，分別設(shè)置有突起部69。由此，能夠防止可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上。
[0164]物理量傳感器300的制造方法，除了在形成凹部12時(shí)以在底面14上形成突起的方式而進(jìn)行蝕刻并在該突起上使成為固定電極部50、52、54、56以及電極60的導(dǎo)電層成膜從而形成突起部69這點(diǎn)之外，均與上文所述的物理量傳感器100的制造方法相同，因此省略其說(shuō)明。
[0165](3)第三改變例
[0166]接下來(lái)，對(duì)第三改變例進(jìn)行說(shuō)明。圖12為模式化地表示第三改變例所涉及的物理量傳感器400的俯視圖。圖13為模式化地表示第三改變例所涉及的物理量傳感器400的、圖12中的XII1-XIII線剖視圖。另外，為了便于說(shuō)明，圖12中，以透視蓋體90的方式進(jìn)行圖示。
[0167]在物理量傳感器400中，如圖12以及圖13所示，在第一可動(dòng)體20a上，形成有與基板10的第一固定電極部50和電極61、62之間的區(qū)域?qū)χ玫莫M縫部27。此外，在第一可動(dòng)體20a上，形成有與第二固定電極部52和第一電極61之間的區(qū)域?qū)χ玫莫M縫部27。
[0168]在第二可動(dòng)體20b上，形成有與基板10的第三固定電極部54和第四電極64之間的區(qū)域?qū)χ玫莫M縫部27。此外，在第二可動(dòng)體20b上，形成有與第四固定電極部56和電極64,65之間的區(qū)域?qū)χ玫莫M縫部27。
[0169]在物理量傳感器400中，形成有與底面14露出的區(qū)域?qū)χ玫莫M縫部27。由此，能夠?qū)ψ饔糜诳蓜?dòng)體20a、20b與基板10之間的靜電力進(jìn)行抑制，從而防止可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上。
[0170](4)第四改變例
[0171]接下來(lái)，對(duì)第四改變例進(jìn)行說(shuō)明。雖然未圖示，但第四改變例所涉及的物理量傳感器被結(jié)構(gòu)為，包括上文所述的圖8以及圖9所示的槽部210、和圖10與圖11所示的突起部69、以及圖12與圖13所示的狹縫部27。由此，能夠更可靠地防止可動(dòng)體20a、20b貼于基板10上。
[0172]4.電子設(shè)備
[0173]接下來(lái)，參照附圖，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備包括本發(fā)明所涉及的物理量傳感器。在下文中，對(duì)作為本發(fā)明所涉及的物理量傳感器而對(duì)包括物理量傳感器100的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。
[0174]圖14為模式化地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的立體圖。
[0175]如圖14所示，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部1108的顯示單元1106結(jié)構(gòu)，并且顯示單元1106經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部而被支承為能夠相對(duì)于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0176]在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，內(nèi)置有物理量傳感器100。
[0177]圖15模式化地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的便攜式電話機(jī)(也包括PHS:個(gè)人手持式電話系統(tǒng))1200的立體圖。
[0178]如圖15所示，便攜式電話機(jī)1200具備多個(gè)操作按鈕1202、聽(tīng)筒1204以及話筒1206，在操作按鈕1202與聽(tīng)筒1204之間，配置有顯示部1208。
[0179]在這種便攜式電話機(jī)1200中，內(nèi)藏有物理量傳感器100。
[0180]圖16為模式化地表示作為本實(shí)施方式所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)300的立體圖。另外，在圖16中，簡(jiǎn)單地圖示了與外部設(shè)備的連接。
[0181]在此，通常的照相機(jī)通過(guò)被拍攝物體的光像而使氯化銀照片膠卷感光，與此相對(duì)，數(shù)碼照相機(jī)1300則通過(guò)CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合裝置)等的攝像元件對(duì)被拍攝物體的光像進(jìn)行光電變換從而生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。
[0182]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(機(jī)體)1302的背面上設(shè)置有顯示部1310，并且成為了根據(jù)由CCD發(fā)出的攝像信號(hào)而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被拍攝物體以電子圖像顯示的取景器而發(fā)揮功能。
[0183]此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?，設(shè)置有包括光學(xué)透鏡(攝像光學(xué)系統(tǒng))與CXD等的受光單元1304。
[0184]當(dāng)攝影者對(duì)被顯示在顯示部1310上的被拍攝物體的圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)的CXD攝像信號(hào)將被轉(zhuǎn)送并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1308中。
[0185]此外，在數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有視頻信號(hào)輸出端子1312、和數(shù)據(jù)通信用輸入輸出端子1314。而且，分別根據(jù)需要，在視頻信號(hào)輸出端子1312上連接有電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的入出力端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。并且，成為如下的構(gòu)成，即，通過(guò)預(yù)定的操作而使存儲(chǔ)于儲(chǔ)存器1308中的攝像信號(hào)向電視監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。
[0186]在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中，內(nèi)置有物理量傳感器100。
[0187]由于以上這種電子設(shè)備1100、1200、1300包含了物理量傳感器100，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0188]另外，具備了物理量傳感器100的電子設(shè)備，除了能夠應(yīng)用于圖14所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖15所示的便攜式電話機(jī)、圖16所示的數(shù)碼照相機(jī)之外，還能夠應(yīng)用于如下的電子設(shè)備中，例如:噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、各種車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶通信功能)、電子詞典、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲設(shè)備、頭戴式顯示器、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測(cè)裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚(yú)群探測(cè)器、各種測(cè)量設(shè)備、計(jì)量設(shè)備類(例如，車輛、飛機(jī)、火箭、船舶的計(jì)量設(shè)備類)、機(jī)器人或人體等的姿態(tài)控制、飛行模擬器等。
[0189]5.移動(dòng)體
[0190]接下來(lái)，參照附圖，對(duì)本實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)體進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)體包括本發(fā)明所涉及的物理量傳感器。在下文中，對(duì)作為本發(fā)明所涉及的物理量傳感器的包括物理量傳感器100的移動(dòng)體進(jìn)行說(shuō)明。
[0191]圖17為模式化地表示作為本實(shí)施方式所涉及的移動(dòng)體的汽車1500的立體圖。
[0192]在汽車1500中，內(nèi)置有物理量傳感器100。具體而言，如圖17所示，在汽車1500的車身1502上,搭載了電子控制單元1504 (EQJ:ElEctronic Control Unit),所述電子控制單元1504內(nèi)置了對(duì)汽車1500的加速度進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器100并對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出進(jìn)行控制。此外，物理量傳感器100，還能夠廣泛地應(yīng)用于其他的車體姿態(tài)控制單元、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、車胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS =TirE PrEssurE Monitoring SystEm)。
[0193]由于汽車1500包括物理量傳感器100，因此能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0194]上文所述的實(shí)施方式以及改變例為一個(gè)示例，且并不限定于這些示例。例如，也能夠?qū)?shí)施方式以及各個(gè)改變例進(jìn)行適當(dāng)組合。
[0195]本發(fā)明包括與在實(shí)施方式中說(shuō)明了的結(jié)構(gòu)實(shí)質(zhì)相同的結(jié)構(gòu)(例如，功能、方法以及結(jié)果相同的結(jié)構(gòu)、或目的以及效果相同的結(jié)構(gòu))。此外，本發(fā)明包括對(duì)在實(shí)施方式中說(shuō)明了的結(jié)構(gòu)的非本質(zhì)部分進(jìn)行置換的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明包括與在實(shí)施方式中說(shuō)明了的結(jié)構(gòu)起到相同作用效果的結(jié)構(gòu)或能夠?qū)崿F(xiàn)相同目的的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明包括對(duì)在實(shí)施方式中說(shuō)明了的結(jié)構(gòu)附加公知技術(shù)的結(jié)構(gòu)。
[0196]符號(hào)說(shuō)明
[0197]2…娃基板；5…缺口部；10...基板；11...表面；12…凹部，14…底面；16...柱狀部；17a、17b、18、19…槽部；20a…第一可動(dòng)體；20b…第二可動(dòng)體；21a…第一杠桿片；21b…第三杠桿片；22a…第二杠桿片；22b…第四杠桿片；23a…第三可動(dòng)電極部；23b…第二可動(dòng)電極部；24a…第一可動(dòng)電極部；24b…第四可動(dòng)電極部；25、26…端面；27…狹縫部;28...開(kāi)口部;30、32、34、36…支承部;40、42…固定部;44…貫穿孔;50…第一固定電極部;52…第二固定電極部；53…共同電極；54…第三固定電極部；56...第四固定電極部；60...電極；61…第一電極；62…第二電極；63…第三電極;64…第四電極；65…第五電極；69…突起部;70…第一配線;70a…硅部;70b…金屬部;70C…接觸部;71…交叉部；72…第二配線；73…平行部；74…第三配線;80…第一襯墊；82…第二襯墊;84…第三襯墊,90…蓋體;100、200…物理量傳感器；210…槽部；300、40(l...物理量傳感器；1100…個(gè)人計(jì)算機(jī)；1102…鍵盤；1104…主體部;1106…顯示單元;1108…顯示部;1200…便攜式電話機(jī);1202…操作按鈕;1204…聽(tīng)筒;1206…話筒;1208…顯不部;1300…數(shù)碼照相機(jī)；1302…殼體；1304...受光單兀;1306…快門按鈕;1308…存儲(chǔ)器;1310…顯不部;1312…視頻信號(hào)輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…電視監(jiān)視器；1440…個(gè)人計(jì)算機(jī)，1500…汽車；1502…車身；1504…電子控制單元。
【權(quán)利要求】
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有: 基板； 第一可動(dòng)體，其被配置于所述基板上，且能夠圍繞第一支承軸進(jìn)行位移，并且具備第一可動(dòng)電極部； 第二可動(dòng)體，其被配置于所述基板上，且能夠圍繞第二支承軸進(jìn)行位移，并且具備第二可動(dòng)電極部， 固定電極部，其以在俯視觀察時(shí)與所述第一可動(dòng)電極部以及所述第二可動(dòng)電極部重疊的方式而被配置于所述基板上。
2.如權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述物理量傳感器具有第一固定電極部和第二固定電極部， 在以所述第一支承軸為界將所述第一可動(dòng)體劃分為第一部分和第二部分的情況下， 所述第一固定電極部以與所述第一部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上， 所述第二固定電極部以與所述第二部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上， 并且所述物理量傳感器具有第三固定電極部和第四固定電極部， 在以所述第二支承軸為界將所述第二可動(dòng)體劃分為第三部分和第四部分的情況下， 所述第三固定電極部以與所述第三部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上，且與所述第二固定電極部電連接， 所述第四固定電極部以與所述第四部分對(duì)置的方式而被配置于所述基板上。
3.如權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述第二固定電極部以及所述第三固定電極部通過(guò)第一配線而與第一襯墊連接， 所述第一固定電極部以及所述第四固定電極部通過(guò)第二配線而與第二襯墊連接。
4.如權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于， 具備信號(hào)處理電路， 所述信號(hào)處理電路對(duì)所述第一襯墊的輸出信號(hào)與所述第二襯墊的輸出信號(hào)之差進(jìn)行運(yùn)算。
5.如權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、所述第三固定電極部、以及所述第四固定電極部被設(shè)置于同一基板上。
6.如權(quán)利要求5所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述基板上，在如下區(qū)域的至少一個(gè)區(qū)域內(nèi)配置有電極，即，所述第一固定電極部與所述第二固定電極部之間的區(qū)域、所述第二固定電極部與所述第三固定電極部之間的區(qū)域、以及所述第三固定電極部與所述第四固定電極部之間的區(qū)域。
7.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 被配置于所述第一固定電極部和所述第二固定電極部之間的所述電極，與所述第一可動(dòng)體電連接。
8.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 被配置于所述第二固定電極部和所述第三固定電極部之間的所述電極，與所述第一可動(dòng)體以及所述第二可動(dòng)體中的至少一方電連接。
9.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 被配置于所述第三固定電極部和所述第四固定電極部之間的所述電極，與所述第二可動(dòng)體電連接。
10.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 分別在所述第一固定電極部、所述第二固定電極部、所述第三固定電極部、以及所述第四電極部的兩側(cè)處配置有所述電極。
11.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述基板上，于所述電極和與之相鄰的固定電極部之間，設(shè)置有槽部。
12.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具有權(quán)利要求1所述的物理量傳感器。
13.—種移動(dòng)體，其特征在于， 具有權(quán)利要求1所述的物理量傳感器。
【文檔編號(hào)】G01P15/125GK104345174SQ201410384428
【公開(kāi)日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月6日
【發(fā)明者】田中悟 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社