本申請涉及計量與測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種共面波導(dǎo)探針的測量裝置和測量方法。

背景技術(shù)：

隨著微波和毫米波集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的微波器件受到愈來愈多的重視與關(guān)注，對這一類型的器件進行測試時，必須使用共面波導(dǎo)探針進行信號的轉(zhuǎn)換，將共面波導(dǎo)器件產(chǎn)生的平面?zhèn)鬏斝盘栟D(zhuǎn)換為同軸傳輸信號。

在理想狀態(tài)下，平面?zhèn)鬏斝盘柾ㄟ^共面波導(dǎo)探針轉(zhuǎn)換為同軸傳輸信號時，不會產(chǎn)生畸變。但是在實際應(yīng)用時共面波導(dǎo)探針不是理想的連接器件，存在衰減與色散，信號在轉(zhuǎn)換前后會產(chǎn)生變化，進而降低測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。為提高測量準(zhǔn)確度，首先需要獲得共面波導(dǎo)探針?biāo)p與色散特性，即傳輸特性，然后對測量結(jié)果進行修正，得到被測信號的真實信息。

共面波導(dǎo)探針前端無法直接與通用的測量儀器連接，不能使用常規(guī)的測量方法獲取其傳輸特性，因此，亟需一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性的測量裝置，來解決共面波導(dǎo)探針在信號轉(zhuǎn)換過程中由衰減與色散造成的測量準(zhǔn)確度降低及信號失真的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置和方法，解決共面波導(dǎo)探針在信號轉(zhuǎn)換過程中由衰減與色散造成的測量準(zhǔn)確度降低及信號失真的問題。

本申請實施例提供一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置，所述共面波導(dǎo)探針包含傳輸特性相同的第一共面波導(dǎo)探針、第二共面波導(dǎo)探針；第一共面波導(dǎo)探針和第二共面波導(dǎo)探針的同軸端通過高頻同軸電纜連接。所述測量裝置包括超快激光發(fā)生器、激勵信號發(fā)生器、輸入轉(zhuǎn)換器、輸出轉(zhuǎn)換器、光脈沖延時器、測量探針、匹配負載；所述超快激光產(chǎn)生器，用于產(chǎn)生超快激光脈沖；所述激勵信號發(fā)生器，用于接受所述超快激光脈沖觸發(fā)，產(chǎn)生電脈沖激勵信號；所述光脈沖延時器，用于對所述超快激光脈沖延時，產(chǎn)生探測激光脈沖，入射到所述測量探針；所述測量探針，在所述探測激光脈沖入射時，用于測量所述第一共面波導(dǎo)探針和第二共面波導(dǎo)探針測試端的電信號瞬時值；所述輸入轉(zhuǎn)換器，用于接收所述電脈沖激勵信號，并耦合到第一共面波導(dǎo)探針的測試端；所述輸出轉(zhuǎn)換器，用于連接第二共面波導(dǎo)探針的測試端和所述匹配負載。

優(yōu)選地，所述輸入轉(zhuǎn)換器包含同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端，用于傳輸所述電脈沖激勵信號，并實現(xiàn)同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端之間的阻抗匹配；所述輸入轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端相連接。

優(yōu)選地，所述輸出轉(zhuǎn)換器包含同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端，用于傳輸輸出信號，并實現(xiàn)同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端之間的阻抗匹配；所述輸出轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端相連接；所述輸出轉(zhuǎn)換器的同軸端與所述匹配負載相連接。

優(yōu)選地，所述測量探針包含光導(dǎo)探針或電光探針。

對于本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的實施例，優(yōu)選地，所述激勵信號發(fā)生器產(chǎn)生的激勵信號帶寬大于所述第一共面波導(dǎo)、第二共面波導(dǎo)的工作帶寬。

對于本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的實施例，優(yōu)選地，所述延時模塊的延時精度高于300fs。

對于本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置進一步優(yōu)化的實施例，優(yōu)選地，所述超快激光產(chǎn)生器包含超快激光器、色散補償器、分光器；所述超快激光器，用于產(chǎn)生超快激光脈沖；所述色散補償器用于接收所述超快激光脈沖，進行色散預(yù)補償，發(fā)送到所述分光器；所述分光器，將所述超快激光脈沖分為兩路，一路輸出至所述激勵信號發(fā)生器，另一路輸出至所述光脈沖延遲器。

本申請實施例還提供一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法，使用本申請任意一項實施例所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置，包含以下步驟：

在所述輸入轉(zhuǎn)換器和所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接處，用所述測量探針測量輸入信號時域波形；

在所述輸出轉(zhuǎn)換器和所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端連接處，用所述測量探針測量輸出信號時域波形；

將所述輸入信號時域波形和輸出信號時域波形分別變換到頻域，得到輸入信號頻譜和輸出信號頻譜；

根據(jù)輸出信號頻譜和輸入信號頻譜、所述高頻同軸電纜傳輸特性、所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性之間的關(guān)系，計算共面波導(dǎo)探針的傳輸特性。

優(yōu)選地，所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法，用所述測量探針測量輸入信號時域波形的步驟，具體包含：

將所述測量探針置于所述輸入轉(zhuǎn)換器和所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接處的正上方的規(guī)范測量位置；

用超快激光脈沖觸發(fā)激勵信號發(fā)生器，產(chǎn)生電脈沖激勵信號，經(jīng)所述輸入轉(zhuǎn)換器耦合到所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端；

將所述超快激光脈沖延遲后輸入到所述測量探針，所述測量探針測量和記錄延遲時刻的輸入信號瞬時值；

改變所述超快激光脈沖延時量，所述測量探針再次測量和記錄延遲時刻的輸入信號瞬時值；重復(fù)以上步驟，最終得到輸入信號時域波形。

優(yōu)選地，所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法，用所述測量探針測量輸出信號時域波形的步驟，具體包含：

將所述測量探針置于所述輸出轉(zhuǎn)換器和所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端連接處的正上方的規(guī)范測量位置；

用超快激光脈沖觸發(fā)激勵信號發(fā)生器，產(chǎn)生電脈沖激勵信號，經(jīng)所述輸入轉(zhuǎn)換器耦合到所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端；

將所述超快激光脈沖延遲后輸入到所述測量探針，所述測量探針測量和記錄延遲時刻的輸出信號瞬時值；

改變所述超快激光脈沖延時量，所述測量探針再次測量和記錄延遲時刻的輸出信號瞬時值；重復(fù)以上步驟，最終得到輸出信號時域波形。

本申請實施例采用的上述至少一個技術(shù)方案能夠達到以下有益效果：本技術(shù)方案解決了共面波導(dǎo)探針傳輸特性的測量問題，使用電光測量的方法將測量的參考面直接確定在共面波導(dǎo)探針的平面輸入端口，能夠避免在測量結(jié)果中引入信號轉(zhuǎn)換器的影響而產(chǎn)生誤差，提高了測量的準(zhǔn)確度。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本申請的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置示意圖；

圖2為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的另一實施例示意圖；

圖3是本發(fā)明輸入轉(zhuǎn)換器、輸出轉(zhuǎn)換器、共面波導(dǎo)探針的連接示意圖；

圖4為光導(dǎo)探針測量電信號原理示意圖；

圖5為電光探針測量點信號原理示意圖；

圖6為同步取樣測量方法的時序示意圖；

圖7為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法流程圖；

圖8為測量輸入時域波形的具體步驟實施例流程圖；

圖9為測量輸出時域波形的具體步驟實施例流程圖。

具體實施方式

為使本申請的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本申請具體實施例及相應(yīng)的附圖對本申請技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒旧暾堉械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本申請保護的范圍。

需要說明的是，本發(fā)明實施例中記載的共面波導(dǎo)探針傳輸特性具備以下特征：

第一，共面波導(dǎo)探針傳輸特性H_probe(f)是復(fù)數(shù)形式，可以表示為H_probe(f)＝α(f)+β(f)i，其中α(f)表示信號衰減特性，β(f)表示色散特性，兩者共同確定了信號通過共面波導(dǎo)探針產(chǎn)生的畸變；

第二，共面波導(dǎo)探針端口具有互易性，當(dāng)所述電脈沖激勵信號由第一共面波導(dǎo)探針的測試端輸入，并經(jīng)過高頻電纜由第二共面波導(dǎo)探針的測試端輸出后，由于端口的互易性，等效于受到了兩次完全相同的共面波導(dǎo)探針及一次高頻同軸電纜的影響，因此可以通過準(zhǔn)確地測量輸入信號時域波形及輸出信號時域波形數(shù)據(jù)，通過頻譜變換計算得到信號衰減及色散，去除已知高頻同軸電纜的影響，進而得到共面波導(dǎo)探針的傳輸特性。

以下結(jié)合附圖，詳細說明本申請各實施例提供的技術(shù)方案。

圖1為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置示意圖。本實施例提供一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置，所述共面波導(dǎo)探針包含傳輸特性相同的第一共面波導(dǎo)探針1、第二共面波導(dǎo)探針2；第一共面波導(dǎo)探針和第二共面波導(dǎo)探針的同軸端通過高頻同軸電纜3連接。所述測量裝置，包括超快激光發(fā)生器7、激勵信號發(fā)生器8、輸入轉(zhuǎn)換器4、輸出轉(zhuǎn)換器5、光脈沖延時器9、測量探針10、匹配負載6；所述超快激光產(chǎn)生器，用于產(chǎn)生超快激光脈沖P(t)；所述激勵信號發(fā)生器，用于接受所述超快激光脈沖觸發(fā)，產(chǎn)生電脈沖激勵信號S(t)；所述光脈沖延時器，用于對所述超快激光脈沖延時，產(chǎn)生探測激光脈沖P_d(t)，入射到所述測量探針；所述測量探針，在所述探測激光脈沖入射時，用于測量所述第一共面波導(dǎo)探針和第二共面波導(dǎo)探針測試端的電信號瞬時值；所述輸入轉(zhuǎn)換器，用于接收所述電脈沖激勵信號，并耦合到第一共面波導(dǎo)探針的測試端I；所述輸出轉(zhuǎn)換器，用于連接第二共面波導(dǎo)探針的測試端O和所述匹配負載。

需要說明的是，本發(fā)明實施例中所述共面波導(dǎo)探針包括第一共面波導(dǎo)探針及第二共面波導(dǎo)探針，所述第一共面波導(dǎo)探針傳輸特性為H_probe1(f)，所述第二共面波導(dǎo)探針傳輸特性為H_probe2(f)，并假定H_probe1(f)＝H_probe2(f)＝H_probe(f)。所述第一共面波導(dǎo)探針與所述第二共面波導(dǎo)探針同軸輸出端口間通過高頻同軸電纜連接，所述高頻同軸電纜傳輸特性H_cable(f)可以通過通用測量方法獲得。

例如，所述超快激光產(chǎn)生器輸出信號為飛秒脈沖，脈沖寬度低于200飛秒(2×10^-13秒)，平均功率(強度)大于50mW，重復(fù)頻率80MHz(對應(yīng)周期為12.5納秒)。

所述激勵信號發(fā)生器在功能上起到光電轉(zhuǎn)換的作用，需要說明的是，所述超快激光產(chǎn)生器輸出的飛秒脈沖具有極寬的帶寬，而所述激勵信號發(fā)生器只能響應(yīng)其中低帶寬范圍內(nèi)的信息。由于帶寬與脈沖寬度呈現(xiàn)反比關(guān)系，所述激勵信號發(fā)生器輸出的電脈沖激勵信號的寬度遠遠大于超快激光產(chǎn)生器輸出的超快激光脈沖寬度。在所述200飛秒激光脈沖觸發(fā)條件下，所述電脈沖激勵信號寬度約為10皮秒(1×10^-11秒)，頻域帶寬約為50GHz。

例如，所述光脈沖延時器可以通過調(diào)整空間距離實現(xiàn)相對延時，具體通過以下方式確定相對延時大?。害＝Δl/v，其中，Δt為延時大小，Δl為所述延時同步器空間移動距離，v為光在空間傳播速度。

對于本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的實施例，優(yōu)選地，所述激勵信號發(fā)生器產(chǎn)生的激勵信號帶寬大于所述第一共面波導(dǎo)、第二共面波導(dǎo)的工作帶寬。

對于本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的實施例，優(yōu)選地，所述光脈沖延時器的延時精度高于300fs。此處，延時精度代表了光延時器的延時準(zhǔn)確程度，光延時器使用1ps-2ps作為每次延時的大小，方案中延時精度是指每次延時(1ps-2ps)的誤差不高于300fs，正常情況下還可以優(yōu)于100fs。

作為本發(fā)明共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置進一步優(yōu)化的實施例，還包含數(shù)據(jù)處理模塊15，用于接收所述測量探針的數(shù)據(jù)，并對數(shù)據(jù)進行計算處理，得到共面波導(dǎo)探針傳輸特性。

圖2為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置的另一實施例示意圖。作為本發(fā)明任意一項共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置進一步優(yōu)化實施例，所述超快激光產(chǎn)生器包含超快激光器71、色散補償器72、分光器73；所述超快激光器，用于產(chǎn)生超快激光脈沖；所述色散補償器用于接收所述超快激光脈沖，進行色散預(yù)補償，發(fā)送到所述分光器；所述分光器，將所述超快激光脈沖分為兩路，一路輸出至所述激勵信號發(fā)生器8，另一路輸出至所述光脈沖延遲器9。其中，所述超快激光器與所述色散補償器通過光纖連接，所述色散補償器與所述光分路器通過光纖連接。

圖3是本發(fā)明輸入轉(zhuǎn)換器、輸出轉(zhuǎn)換器、共面波導(dǎo)探針的連接示意圖。所述輸入轉(zhuǎn)換器4包含同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端，用于傳輸所述電脈沖激勵信號，并實現(xiàn)同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端之間的阻抗匹配；所述輸入轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第一共面波導(dǎo)探針1的測試端I相連接；。所述輸出轉(zhuǎn)換器5包含同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端，用于傳輸輸出信號，并實現(xiàn)同軸端和共面波導(dǎo)傳輸線端之間的阻抗匹配；所述輸出轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第二共面波導(dǎo)探針2的測試端O相連接；所述輸出轉(zhuǎn)換器的同軸端與所述匹配負載相連接。所述第一共面波導(dǎo)探針的同軸端1C和所述第二共面波導(dǎo)探針的同軸端2C通過一高頻同軸電纜3連接。

在所述電脈沖激勵信號的作用下，由于所述輸入轉(zhuǎn)換器、輸出轉(zhuǎn)換器和被測物(第一共面波導(dǎo)探針+高頻同軸電纜+第二共面波導(dǎo)探針)連接，在所述第一共面波導(dǎo)探針1的測試端I產(chǎn)生輸入信號w_in(t)，在所述第二共面波導(dǎo)探針2的測試端O產(chǎn)生輸出信號w_out(t)。

需要說明的是，由于被測共面波導(dǎo)探針一般設(shè)計為50歐姆特性阻抗，為了保證阻抗匹配，降低信號反射，所有微帶段與同軸段都需要使用50歐姆特性阻抗。輸入、輸出轉(zhuǎn)換器同軸端使用規(guī)格為1.85mm的同軸連接器，其帶寬最高可以達到67GHz，特性阻抗為50歐姆。微帶端是共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，特性阻抗為50歐姆，此外共面波導(dǎo)電極之間的間距應(yīng)該小于被測共面波導(dǎo)探針的探針間距(一般為25微米-50微米)。

圖4為光導(dǎo)探針測量電信號原理示意圖。在圖4所示實施例中，所述測量探針10包含光導(dǎo)探針11和鎖相放大器12。由于光導(dǎo)探針的測試部受到被測電信號輻射影響發(fā)生電導(dǎo)率改變，在探測激光脈沖P_d(t)入射光導(dǎo)探針時，光導(dǎo)探針對探測激光脈沖的接收響應(yīng)受到被測電信號的影響而發(fā)生改變，經(jīng)過光電轉(zhuǎn)換產(chǎn)生電信號，再經(jīng)鎖相放大器輸出。在本發(fā)明中，所述測量探針與被測共面波導(dǎo)探針具體連接方式是，所述光導(dǎo)探針11置于被測共面波導(dǎo)探針與輸入、輸出轉(zhuǎn)換器接觸點I,O的正上方位置，測量得到輸入信號w_in(t)或輸出信號w_out(t)的波形。

圖5為電光探針測量電信號原理示意圖。在圖5所示實施例中，所述測量探針包含電光探針13和平衡探測放大器14。探測激光脈沖P_d(t)耦合到光纖中，入射到所述電光探針，由于光電探針的測試部受到被測電信號輻射影響發(fā)生折射率改變，在探測激光脈沖入射光電探針時，光電探針對探測激光脈沖的反射響應(yīng)受到被測電信號的影響而發(fā)生改變，經(jīng)過平衡探測放大器轉(zhuǎn)換為電信號并放大輸出。在本發(fā)明中，所述測量探針與被測共面波導(dǎo)探針具體連接方式是，所述光電探針13置于被測共面波導(dǎo)探針與輸入、輸出轉(zhuǎn)換器接觸點I,O的正上方位置，測量得到輸入信號w_in(t)或輸出信號w_out(t)的波形。

圖6為同步取樣測量方法的時序示意圖。通過光脈沖延時器提供探測激光脈沖，實現(xiàn)波形的測量采集。光脈沖延時器輸出的探測激光脈沖聚焦到所述測量探針。所述測量探針，在所述探測激光脈沖P_d(t)作用下，用于測量所述第一共面波導(dǎo)探針和第二共面波導(dǎo)探針測試端在所述探測激光脈沖入射到所述測量探針時的電信號瞬時值。例如，在所述200飛秒激光脈沖觸發(fā)條件下，所述電脈沖激勵信號寬度約為10皮秒，將使用所述探測激光脈沖P_d(t)＝P(t-i×Δt)共計N＝5000-10000個延遲時間點對所述電脈沖激勵信號及其傳輸響應(yīng)進行測量，形成電信號瞬時值的序列w_in(i×Δt)或w_out(i×Δt)，以上表達式中，i＝1-N，例如，N＝5000，構(gòu)成時域波形。在第一共面波導(dǎo)探針的測試端測得的時域波形為輸入信號時域波形；在第二共面波導(dǎo)探針的測試端測得的時域波形為輸出信號時域波形。本發(fā)明實施例中所述測量探針，其測量得到的波形數(shù)據(jù)的取樣間隔由所述光脈沖延時器確定，間隔大小為所述相對延時△t；優(yōu)選地，取樣間隔大小為1ps。

需要說明的是，實際中所述電脈沖激勵信號、輸入信號、輸出信號的波形包含豐富的信息，雖然這里提到電脈沖寬度約為10ps，但是在脈沖寬度(10ps)以外還包含脈沖振鈴、過沖、預(yù)沖等波形信息，對頻譜有明顯的貢獻。要得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果不僅僅需要測量10ps脈沖寬度內(nèi)的信息，還需要測量10ps脈寬之外，一般測量中時間窗口的大小定為5ns-10ns，對應(yīng)的測量點數(shù)就是5000-10000個。測量延遲點越多，測量的準(zhǔn)確度越高。圖7為共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法流程圖.本申請實施例還提供一種共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量方法，使用本申請任意一項實施例所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性測量裝置，包含以下步驟：

步驟100、在所述輸入轉(zhuǎn)換器和所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接處，用所述測量探針測量輸入信號時域波形；

例如，所述測量探針在所述輸入轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接點處測量得到輸入信號時域波形w_in(t)，輸入信號時域波形數(shù)據(jù)包括取樣時間與幅度信息；

步驟200、在所述輸出轉(zhuǎn)換器和所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端連接處，用所述測量探針測量輸出信號時域波形；

例如，所述測量探針在所述輸出轉(zhuǎn)換器的共面波導(dǎo)傳輸線端與所述第二共面波導(dǎo)探針測試端連接點處測量得到輸出信號時域波形w_out(t)，輸出信號時域波形數(shù)據(jù)包括取樣時間與幅度信息。

步驟300、將所述輸入信號時域波形和輸出信號時域波形分別變換到頻域，得到輸入信號頻譜和輸出信號頻譜；

例如，將所述輸入信號時域波形w_in(t)和輸出信號時域波形w_out(t)分別變換到頻域，得到輸入信號頻譜W_in(f)和輸出信號頻譜W_out(f)；

步驟400、根據(jù)輸出信號頻譜和輸入信號頻譜、所述高頻同軸電纜傳輸特性、所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性之間的關(guān)系，計算共面波導(dǎo)探針的傳輸特性。

例如，通過下式確定共面波導(dǎo)探針傳輸特性：

其中，f為信號頻率，W_in(f)為輸入信號時域波形數(shù)據(jù)w_in(t)經(jīng)頻譜變換得到的輸入信號頻譜數(shù)據(jù)，W_out(f)為輸出信號時域波形數(shù)據(jù)w_out(t)經(jīng)頻譜變換得到的輸出信號頻譜數(shù)據(jù)，H_probe(f)為所述共面波導(dǎo)探針傳輸特性，H_cable(f)為高頻電纜傳輸特性。

圖8為測量輸入時域波形的具體步驟實施例流程圖。用所述測量探針測量輸入信號時域波形的步驟，具體包含：

步驟101、將所述測量探針置于所述輸入轉(zhuǎn)換器和所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接處的正上方的規(guī)范測量位置；最佳地，所述測量探針放置于所述輸入轉(zhuǎn)換器和所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端連接處上方0.5mm位置。

步驟102、用超快激光脈沖觸發(fā)激勵信號發(fā)生器，產(chǎn)生電脈沖激勵信號，經(jīng)所述輸入轉(zhuǎn)換器耦合到所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端；

步驟103、將所述超快激光脈沖延遲后輸入到所述測量探針，所述測量探針測量和記錄延遲時刻的輸入信號瞬時值w_in(i×Δt)；

步驟104、改變所述超快激光脈沖延時量，所述測量探針再次測量和記錄延遲時刻的輸入信號瞬時值；重復(fù)以上步驟，最終得到輸入信號時域波形。

圖9為測量輸出時域波形的具體步驟實施例流程圖。所述測量探針測量輸出信號時域波形的步驟，具體包含：

步驟201、將所述測量探針置于所述輸出轉(zhuǎn)換器和所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端連接處的正上方的規(guī)范測量位置；最佳地，所述測量探針放置于所述輸出轉(zhuǎn)換器和所述第二共面波導(dǎo)探針的測試端連接處上方0.5mm位置。

步驟202、用超快激光脈沖觸發(fā)激勵信號發(fā)生器，產(chǎn)生電脈沖激勵信號，經(jīng)所述輸入轉(zhuǎn)換器耦合到所述第一共面波導(dǎo)探針的測試端；

步驟203、將所述超快激光脈沖延遲后輸入到所述測量探針，所述測量探針測量和記錄延遲時刻的輸出信號瞬時值w_out(i×Δt)；

不厚204、改變所述超快激光脈沖延時量，所述測量探針再次測量和記錄延遲時刻的輸出信號瞬時值；重復(fù)以上步驟，最終得到輸出信號時域波形。

還需要說明的是，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、商品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、商品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、商品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。

以上所述僅為本申請的實施例而已，并不用于限制本申請。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，本申請可以有各種更改和變化。凡在本申請的精神和原理之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本申請的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。