玻璃基板取樣裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤(1)和設(shè)置在該吸盤(1)上的閥門(2)，所述吸盤(1)通過所述閥門(2)連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的真空負(fù)壓。以使得玻璃基板缺陷標(biāo)記區(qū)保持在吸盤(1)內(nèi)，防止玻璃基板缺陷檢測(cè)面被污染，提升顯微鏡檢測(cè)效率。
【專利說明】
玻璃基板取樣裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及玻璃基板生產(chǎn)領(lǐng)域，具體地，涉及一種玻璃基板取樣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在玻璃基板檢包工序中，用玻璃刀將內(nèi)部存在缺陷(例如夾雜結(jié)石、氣泡等)的玻璃基板樣品從整塊的玻璃基板上割取下來，收納于潔凈布中并送到鏡檢室，通過顯微鏡查看缺陷的形態(tài)和大小辨別缺陷的種類。受玻璃基板裁切產(chǎn)生的玻璃碎肩粘附到玻璃基板樣品上、玻璃基板樣品上粘附其他異物、操作人員操作不當(dāng)劃傷玻璃基板樣品等因素的影響，使玻璃基板樣品受到二次污染，導(dǎo)致顯微鏡檢測(cè)干擾增多，造成顯微鏡檢測(cè)效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種玻璃基板取樣裝置，該取樣裝置能夠避免玻璃基板樣品被污染，提升顯微鏡檢測(cè)效率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤和設(shè)置在該吸盤上的閥門，所述吸盤通過所述閥門連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的真空負(fù)壓。
[0005]優(yōu)選地，所述取樣裝置還包括轉(zhuǎn)換接頭，所述轉(zhuǎn)換接頭的一端密封連接于所述閥門，所述轉(zhuǎn)換接頭的另一端密封連接于所述吸盤。
[0006]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)換接頭的一端與所述閥門螺紋連接，所述轉(zhuǎn)換接頭的另一端與所述吸盤螺紋連接。
[0007]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)換接頭與所述閥門的連接處設(shè)置有第一生料帶，所述轉(zhuǎn)換接頭與所述吸盤的連接處設(shè)置有第二生料帶。
[0008]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)換接頭為雙向直通接頭。
[0009]優(yōu)選地，所述閥門為二通手動(dòng)閥門。
[0010]優(yōu)選地，所述吸盤包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，所述波紋管段連接在所述吸盤本體遠(yuǎn)離所述玻璃基板缺陷檢測(cè)面的一端。
[0011]優(yōu)選地，所述吸盤為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果是:通過在吸盤上設(shè)置能夠連通氣源的閥門，使得吸盤內(nèi)部能夠形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的真空負(fù)壓，這樣，玻璃基板缺陷標(biāo)記區(qū)得以保持在吸盤內(nèi)，防止玻璃基板缺陷標(biāo)記區(qū)被污染，這樣，能夠保持玻璃基板的表面清潔無污染，保證了顯微鏡檢測(cè)觀察缺陷的效果，減少了玻璃基板表面異物對(duì)檢測(cè)玻璃基板內(nèi)部缺陷造成的干擾，提升了顯微鏡檢測(cè)效率。
[0013]本實(shí)用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說明。
【附圖說明】
[0014]附圖是用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中:
[0015]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施方式提供的玻璃基板取樣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記說明
[0017]I吸盤2閥門3轉(zhuǎn)換接頭
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。
[0019]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的一種玻璃基板取樣裝置，包括吸盤I和設(shè)置在該吸盤I上的閥門2，吸盤I通過閥門2連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的真空負(fù)壓。
[0020]在本實(shí)用新型提供的玻璃基板取樣裝置中，將吸盤I吸附在玻璃基板缺陷檢測(cè)面上，壓縮吸盤I，之后關(guān)閉閥門2，形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的中空負(fù)壓，這樣，玻璃基板缺陷檢測(cè)面和吸盤I在閥門2的作用下可以構(gòu)成一個(gè)封閉空間，使得玻璃基板缺陷標(biāo)記區(qū)保持在該封閉空間內(nèi)，防止玻璃基板缺陷標(biāo)記區(qū)被污染，這樣，能夠保持玻璃基板的表面清潔無污染，保證了顯微鏡檢測(cè)觀察缺陷的效果，減少了玻璃基板缺陷檢測(cè)面上異物對(duì)檢測(cè)玻璃基板內(nèi)部缺陷造成的干擾，提高了顯微鏡檢測(cè)效率。
[0021]其中“氣源”優(yōu)選為空氣。即，打開閥門2，則吸盤I與空氣連通;關(guān)閉閥門2，則吸盤I與空氣隔斷，以通過氣壓實(shí)現(xiàn)吸盤I和玻璃基板缺陷檢測(cè)面的穩(wěn)定相連。此外在其他實(shí)施方式中氣源也可以是任何抽吸氣體的裝置，例如抽氣筒等。
[0022]具體地，本實(shí)用新型提供的取樣裝置還包括轉(zhuǎn)換接頭3，該轉(zhuǎn)換接頭3的一端密封連接于閥門2，轉(zhuǎn)換接頭3的另一端密封連接于吸盤I。以防止轉(zhuǎn)換接頭3與閥門2、吸盤I的連接處漏氣。
[0023]在本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)換接頭3的一端與閥門2螺紋連接，轉(zhuǎn)換接頭3的另一端與吸盤I螺紋連接。
[0024]為了增加密封性，優(yōu)選地，在轉(zhuǎn)換接頭3與閥門2的連接處設(shè)置有第一密生料帶，該第一生料帶纏繞在轉(zhuǎn)換接頭3與閥門2之間的外螺紋上，在轉(zhuǎn)換接頭3與吸盤I的連接處設(shè)置有第二生料帶，該第二生料帶纏繞在轉(zhuǎn)換接頭3與吸盤I之間的外螺紋上。
[0025]其中，轉(zhuǎn)換接頭3優(yōu)選為雙向直通接頭，閥門2優(yōu)選為一■通手動(dòng)閥11，該一■通手動(dòng)閥門具有用于連通或斷開吸盤I與外界空氣的“通”檔位和“斷”檔位。吸盤I包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，波紋管段連接在吸盤本體遠(yuǎn)離玻璃基板缺陷檢測(cè)面的一端，因此，壓縮波紋管段可以將其內(nèi)部空氣排出，使得吸盤I內(nèi)部殘留較少的空氣，提供更大的壓差，從而使吸盤I的吸力更大。且吸盤I為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤，以避免劃傷玻璃基板檢測(cè)面。
[0026]將二通手動(dòng)閥設(shè)定到“通”檔位，吸盤本體蓋壓到玻璃基板檢測(cè)面上，壓縮波紋管段，以將波紋管段內(nèi)部空氣排出，再將手動(dòng)閥設(shè)定到“斷”檔位，吸盤本體、波紋管段、玻璃基板檢測(cè)面和二通手動(dòng)閥構(gòu)成的封閉空間的內(nèi)部形成真空負(fù)壓，使得吸盤本體吸附到玻璃基板檢測(cè)面上，這樣，避免污染玻璃基板樣品。其中“玻璃基板樣品”是指內(nèi)部具有缺陷的玻璃基板。
[0027]綜上，本實(shí)用新型針對(duì)玻璃基板樣品易受污染，導(dǎo)致顯微鏡檢測(cè)干擾增多，使得顯微鏡檢測(cè)效率低下的現(xiàn)象，通過玻璃基板取樣裝置對(duì)具有內(nèi)部缺陷的玻璃基板進(jìn)行取樣，使得玻璃基板樣品不會(huì)被污染，提升顯微鏡檢測(cè)效率。
[0028]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本實(shí)用新型并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0029]另外需要說明的是，在上述【具體實(shí)施方式】中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進(jìn)行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本實(shí)用新型對(duì)各種可能的組合方式不再另行說明。
[0030]此外，本實(shí)用新型的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本實(shí)用新型的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種玻璃基板取樣裝置，其特征在于，包括吸盤(I)和設(shè)置在該吸盤(I)上的閥門(2)，所述吸盤(I)通過所述閥門(2)連通氣源以形成用于吸附玻璃基板缺陷檢測(cè)面的真空負(fù)壓。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述取樣裝置還包括轉(zhuǎn)換接頭(3)，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)的一端密封連接于所述閥門(2)，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)的另一端密封連接于所述吸盤(I)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)的一端與所述閥門(2)螺紋連接，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)的另一端與所述吸盤(I)螺紋連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)與所述閥門(2)的連接處設(shè)置有第一生料帶，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)與所述吸盤(I)的連接處設(shè)置有第二生料帶。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換接頭(3)為雙向直通接頭。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述閥門(2)為二通手動(dòng)閥門。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述吸盤(I)包括相互連通的吸盤本體和波紋管段，所述波紋管段連接在所述吸盤本體遠(yuǎn)離所述玻璃基板缺陷檢測(cè)面的一端。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板取樣裝置，其特征在于，所述吸盤(I)為丁腈橡膠吸盤或硅橡膠吸盤。
【文檔編號(hào)】G01N1/04GK205538294SQ201620212902
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月18日
【發(fā)明人】談子琳, 李兆廷, 石志強(qiáng), 李震, 李俊生, 許偉, 王建平
【申請(qǐng)人】蕪湖東旭光電科技有限公司, 東旭光電科技股份有限公司