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一種大型無塵室壓差監(jiān)測(cè)與調(diào)整方法與流程

文檔序號(hào):12785768閱讀:539來源:國(guó)知局

本發(fā)明涉及電機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種大型無塵室壓差監(jiān)測(cè)與調(diào)整方法。



背景技術(shù):

壓差控制在凈化空調(diào)系統(tǒng)中是一個(gè)非常重要的環(huán)節(jié)。只有通過對(duì)凈化區(qū)域的壓差進(jìn)行控制,保證合理的氣流組織,才能達(dá)到凈化和工藝的要求。而壓差的監(jiān)測(cè)是壓差控制的基礎(chǔ),壓差測(cè)定的穩(wěn)定性和相應(yīng)速度又關(guān)系到壓差控制的及時(shí)與準(zhǔn)確。

潔凈廠房壓差目前普遍采用便攜式微壓差計(jì)、電子壓差計(jì)等進(jìn)行測(cè)定,具有直觀、方便的特點(diǎn)。但是也存在著測(cè)定時(shí)間長(zhǎng)、重復(fù)性差(測(cè)定位置變化)、測(cè)定數(shù)據(jù)不能即時(shí)反饋等;同步性差等缺點(diǎn)。特別大型潔凈廠房,其壓差的調(diào)整與控制周期顯得特別長(zhǎng),監(jiān)測(cè)與調(diào)整控制不能同步進(jìn)行。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供一種為了強(qiáng)化大型潔凈廠房壓差測(cè)量(監(jiān)測(cè))和壓差調(diào)整(控制)的同步性、協(xié)調(diào)性,縮短其調(diào)試周期,引入壓差傳感器進(jìn)行測(cè)量(監(jiān)測(cè))并進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸、采用計(jì)算機(jī)技術(shù)進(jìn)行計(jì)算對(duì)比,具有各潔凈單元的壓差顯示、超差報(bào)警功能,并為壓差人工調(diào)試(控制)或自動(dòng)控制調(diào)試提供輔助。,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種大型無塵室壓差監(jiān)測(cè)與調(diào)整方法,包括以下步驟:

(1)總線敷設(shè),按照常規(guī)工藝對(duì)總線進(jìn)行敷設(shè);

(2)壓差測(cè)試點(diǎn)位置的選擇,根據(jù)送回風(fēng)口位置,選擇氣流相對(duì)穩(wěn)定,瞬間波動(dòng)影響較小的位置,使取壓點(diǎn)相對(duì)穩(wěn)定地反映房間的真實(shí)壓差,測(cè)管口應(yīng)設(shè)在無塵室內(nèi)沒有氣流影響的地方,測(cè)管口平面應(yīng)與氣流方向平行;

(3)安裝導(dǎo)壓管,按照常規(guī)工藝對(duì)導(dǎo)壓管進(jìn)行敷設(shè),減少導(dǎo)壓管長(zhǎng)度,縮短路徑,避免導(dǎo)壓管彎曲度過小,造成癟管,影響檢測(cè)結(jié)果;

(4)壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器的安裝,在對(duì)壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器進(jìn)行校準(zhǔn)后進(jìn)行安裝,壓差測(cè)量時(shí)采用便攜式微壓差計(jì)進(jìn)行對(duì)比校正;

(5)計(jì)算機(jī)處理進(jìn)行數(shù)值比對(duì);

(6)在進(jìn)行壓差調(diào)整與控制前的檢查后,根據(jù)壓差顯示、超差報(bào)警控制系統(tǒng)調(diào)整相關(guān)電動(dòng)或手動(dòng)風(fēng)閥開度。

優(yōu)選的,無塵室內(nèi)潔凈區(qū)保持正壓,潔凈室內(nèi)的空氣是由高潔凈區(qū)流向低潔凈區(qū)或由潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū);相鄰不同等級(jí)的無塵室之間靜壓差不低于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于10Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,不小于12Pa。

優(yōu)選的,步驟(6)中壓差調(diào)整與控制前的檢查包括氣密性檢查和風(fēng)系統(tǒng)檢查;

氣密性檢查各小無塵室相對(duì)于其他無塵室或非潔凈區(qū)之間的氣密性,包括無塵室天地墻之間的接縫、各種管線橋架穿無塵室天地墻的接縫、無塵室天地墻與結(jié)構(gòu)柱之間的接縫、無塵室墻及天花本身之間的接縫、門窗及檢修孔與墻天花之間的接縫以及所有不允許過風(fēng)的孔洞,均要?dú)饷芡旰?/p>

風(fēng)系統(tǒng)檢查首先檢查所有FFU是否能正常運(yùn)行,測(cè)定其風(fēng)量是否能達(dá)到額定風(fēng)量;檢查所有空調(diào)新風(fēng),閥門及變頻風(fēng)機(jī)開到最大時(shí)測(cè)定其每支新風(fēng)管最大新風(fēng)量是否滿足設(shè)計(jì)要求,如有無塵室采用循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱,則需檢查其最大送回風(fēng)風(fēng)量是否能滿足圖紙?jiān)O(shè)計(jì)要求;檢查新風(fēng)系統(tǒng)各調(diào)節(jié)閥能否自由調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)各泄壓閥其壓差值使之符合先前確定的靜壓差要求,檢查所有動(dòng)態(tài)時(shí)會(huì)正常運(yùn)行的排風(fēng)系統(tǒng),測(cè)定其排風(fēng)量是否已達(dá)到最排風(fēng)量;

以上檢查如有不滿足要求,則需分析原因,采取相應(yīng)措施使之正常后才能進(jìn)行壓差調(diào)整。

優(yōu)選的,步驟(6)中壓差調(diào)整與控制在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)下進(jìn)行;

調(diào)整所有新風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量,包含新風(fēng)機(jī)組之變頻電機(jī),新風(fēng)系統(tǒng)的所有風(fēng)閥,各個(gè)小無塵室之間送風(fēng)用的風(fēng)閥,使之風(fēng)量達(dá)到最大值;

壓差測(cè)定及調(diào)整合格后,用紅漆在所有新風(fēng)閥上作標(biāo)記,并將閥門位置固定,不得隨意變動(dòng)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

本發(fā)明通過壓差傳感器實(shí)現(xiàn)了測(cè)量數(shù)據(jù)的同步實(shí)時(shí)傳輸,極大的加快了測(cè)量的相應(yīng)速度。同一潔凈單元內(nèi)按工藝需求設(shè)置測(cè)量點(diǎn)位置,確保氣流體符合工藝需求。多個(gè)區(qū)域的壓差數(shù)據(jù)傳輸至計(jì)算機(jī),通過計(jì)算比較,直觀反映了各區(qū)域壓差情況。無論采用手動(dòng)調(diào)試或自動(dòng)控制,能即時(shí)反映壓差變化情況,并通過反復(fù)調(diào)試,滿足設(shè)計(jì)及工藝要求。傳輸與控制部分采用二總線制,投入費(fèi)用低。潔凈室內(nèi)的測(cè)試口可密封,可定期重復(fù)使用進(jìn)行測(cè)試,并且調(diào)試結(jié)束后,可將壓差控制器拆除,接入壓差表,充分利用了資源。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的工藝流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種大型無塵室壓差監(jiān)測(cè)與調(diào)整方法,包括以下步驟:

(1)總線敷設(shè),按照常規(guī)工藝對(duì)總線進(jìn)行敷設(shè);

(2)壓差測(cè)試點(diǎn)位置的選擇,根據(jù)送回風(fēng)口位置,選擇氣流相對(duì)穩(wěn)定,瞬間波動(dòng)影響較小的位置,使取壓點(diǎn)相對(duì)穩(wěn)定地反映房間的真實(shí)壓差,測(cè)管口應(yīng)設(shè)在無塵室內(nèi)沒有氣流影響的地方,測(cè)管口平面應(yīng)與氣流方向平行;

(3)安裝導(dǎo)壓管,按照常規(guī)工藝對(duì)導(dǎo)壓管進(jìn)行敷設(shè),減少導(dǎo)壓管長(zhǎng)度,縮短路徑,避免導(dǎo)壓管彎曲度過小,造成癟管,影響檢測(cè)結(jié)果;

(4)安裝壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器,在對(duì)壓差傳感器及數(shù)據(jù)采集器進(jìn)行校準(zhǔn)后進(jìn)行安裝,壓差測(cè)量時(shí)采用便攜式微壓差計(jì)進(jìn)行對(duì)比校正;

(5)計(jì)算機(jī)處理進(jìn)行數(shù)值比對(duì);

(6)在進(jìn)行壓差調(diào)整與控制前的檢查后,根據(jù)壓差顯示、超差報(bào)警控制系統(tǒng)調(diào)整相關(guān)電動(dòng)或手動(dòng)風(fēng)閥開度。

無塵室內(nèi)潔凈區(qū)保持正壓,潔凈室內(nèi)的空氣是由高潔凈區(qū)流向低潔凈區(qū)或由潔凈區(qū)流向非潔凈區(qū);相鄰不同等級(jí)的無塵室之間靜壓差不低于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不小于10Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差,不小于12Pa。靜壓設(shè)定值的選取,應(yīng)從保證潔凈度及節(jié)能兩方面考慮。由于規(guī)范中只給出了要求靜壓差的下限值,而無上限要求,因而系統(tǒng)的風(fēng)量設(shè)計(jì)往往考慮控制中的波動(dòng)因素,設(shè)計(jì)壓差值易選取過大。如相鄰級(jí)別不同的潔凈間之間,以10Pa為控制基準(zhǔn)(考慮干擾因素引起的滯后調(diào)節(jié)),則最高級(jí)別房間的壓差設(shè)定值相對(duì)室外可達(dá)40Pa以上。為了可靠,有可能將設(shè)定值選的更高。其結(jié)果是,靜壓過高,加大了無塵室內(nèi)潔凈空氣的泄漏量,為保證高壓差就需要更多的新風(fēng)量,造成了不必要的浪費(fèi)。但如過低的選取無塵室靜壓值,由于其壓差較小,降低了無塵室靜壓的抗干擾能力,給無塵室潔凈度帶來很大的風(fēng)險(xiǎn),有可能會(huì)降低產(chǎn)品的合格率,給生產(chǎn)造成更大的損失。有實(shí)際經(jīng)驗(yàn)資料表明,不同等級(jí)的潔凈室之間、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差保持在2.94Pa以上,潔凈區(qū)與室外之間的壓差保持在4.9Pa以上,即可保證潔凈室不受外界空氣的污染,其潔凈度也是可以保證的。因此,必須根據(jù)無塵室的實(shí)際情況(主要是可能出現(xiàn)的干擾源情況及潔凈度等級(jí)需求),合理選擇不同等級(jí)潔凈室之間及其與非潔凈室之間的壓差值,既滿足潔凈度的可靠性、穩(wěn)定性,同時(shí)避免不必要的浪費(fèi)。一個(gè)大型的無塵室,根據(jù)生產(chǎn)工藝的需求不同,往往由十幾甚至幾十個(gè)潔凈等級(jí)不一的小無塵室組成,如南京中電熊貓6.5代液晶面板生產(chǎn)線,就是一個(gè)特大型的無塵室,其大大小小的潔凈等級(jí)不一的小無塵室就有幾百個(gè),氣流組織錯(cuò)綜復(fù)雜,確定好各個(gè)小無塵室的靜壓,是保證其氣流組織符合生產(chǎn)工藝需求的第一步。

步驟(6)中壓差調(diào)整與控制前的檢查包括氣密性檢查和風(fēng)系統(tǒng)檢查;氣密性檢查各小無塵室相對(duì)于其他無塵室或非潔凈區(qū)之間的氣密性,包括無塵室天地墻之間的接縫、各種管線橋架穿無塵室天地墻的接縫、無塵室天地墻與結(jié)構(gòu)柱之間的接縫、無塵室墻及天花本身之間的接縫、門窗及檢修孔與墻天花之間的接縫以及所有不允許過風(fēng)的孔洞,均要?dú)饷芡旰谩4_定各個(gè)小無塵室的靜壓,須先確定局部區(qū)域內(nèi)最低等級(jí)小無塵室(假設(shè)為A類無塵室,往往A類無塵室不只一個(gè))的靜壓(一般比非潔凈區(qū)高10Pa左右),然后再確定與之相鄰的所有小無塵室(暫定為B類無塵室)的靜壓(至少比A類高5Pa),確定好B類無塵室靜壓后,再確定與B類無塵室相鄰的無塵室(暫定為C類無塵室)的靜壓,C類無塵室其潔凈等級(jí)應(yīng)比B高,則其靜壓要高出5Pa,如比B低,則該小無塵室應(yīng)為A類,其靜壓要比B類低5Pa,如果相鄰兩小無塵室潔凈等級(jí)相同,則按圖紙?jiān)O(shè)計(jì)時(shí)的氣流流向,其氣流流出端的小無塵室靜壓要低5Pa,如此類推,直至所有小無塵室的靜壓確定完為止。以此方法確定無塵室靜壓,有可能一個(gè)小無塵室會(huì)有兩個(gè)或更多個(gè)靜壓,為確保氣流流向符合工藝需求,則該小無塵室靜壓以最高值為依據(jù)進(jìn)行調(diào)試。

風(fēng)系統(tǒng)檢查首先檢查所有FFU是否能正常運(yùn)行,測(cè)定其風(fēng)量是否能達(dá)到額定風(fēng)量;檢查所有空調(diào)新風(fēng),閥門及變頻風(fēng)機(jī)開到最大時(shí)測(cè)定其每支新風(fēng)管最大新風(fēng)量是否滿足設(shè)計(jì)要求,如有無塵室采用循環(huán)風(fēng)空調(diào)箱,則需檢查其最大送回風(fēng)風(fēng)量是否能滿足圖紙?jiān)O(shè)計(jì)要求;檢查新風(fēng)系統(tǒng)各調(diào)節(jié)閥能否自由調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)各泄壓閥其壓差值使之符合先前確定的靜壓差要求,檢查所有動(dòng)態(tài)時(shí)會(huì)正常運(yùn)行的排風(fēng)系統(tǒng),測(cè)定其排風(fēng)量是否已達(dá)到最排風(fēng)量;

以上檢查如有不滿足要求,則需分析原因,采取相應(yīng)措施使之正常后才能進(jìn)行壓差調(diào)整。

壓差調(diào)整與控制一般在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)下進(jìn)行,此時(shí)FFU已全部運(yùn)行,制程排氣系統(tǒng)已全部已在最大排風(fēng)量狀態(tài)下運(yùn)行,空調(diào)新風(fēng)也已運(yùn)行多時(shí)。

首先調(diào)整所有新風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量,包含新風(fēng)機(jī)組之變頻電機(jī),新風(fēng)系統(tǒng)的所有風(fēng)閥,各個(gè)小無塵室之間送風(fēng)用的風(fēng)閥,使之風(fēng)量達(dá)到最大值。

確認(rèn)所有A類無塵室的門均處于關(guān)閉狀態(tài),再?gòu)挠?jì)算機(jī)監(jiān)控中心觀察各個(gè)A類小無塵室之靜壓,或?qū)嵉赜帽銛y式壓差計(jì)測(cè)量,一般此時(shí)A類無塵室靜壓均高于按5.4.3確定的設(shè)定值(否則便是無塵室氣密性很差,其漏風(fēng)量很大或新風(fēng)風(fēng)量沒達(dá)到設(shè)計(jì)要求),此時(shí)調(diào)小該小無塵室之新風(fēng)閥門,或相鄰無塵室送入該無塵室的風(fēng)閥,使之靜壓比設(shè)定值略大0~2Pa左右。

A類小無塵室靜壓調(diào)整完畢后,從監(jiān)控中心觀察各個(gè)B類小無塵室之靜壓,一般此時(shí)B類小無塵室之靜壓也均高于5.4.3中設(shè)定值,此時(shí)調(diào)小B類小無塵室之新風(fēng)閥門或新風(fēng)機(jī)組變頻電機(jī)之頻率,或相鄰小無塵室送入該無塵室的風(fēng)閥,使之靜壓維持在比設(shè)定值略高0~2Pa,此時(shí)再?gòu)谋O(jiān)控中心觀察A類小無塵室之靜壓,如其靜壓低于設(shè)定值,則略為同時(shí)加大A、B類無塵室之新風(fēng)或送風(fēng)閥門開度或變頻電機(jī)之頻率,使A、B類小無塵室之靜壓均比設(shè)定值略高0~2Pa。C類小無塵室靜壓的調(diào)整同B類,只是初調(diào)完畢后要同時(shí)從監(jiān)控中心觀察A、B類小無塵室之靜壓,如其靜壓低于設(shè)定值,則略為同時(shí)加大A、B、C類小無塵室之新風(fēng)閥開度或新風(fēng)機(jī)組之變頻電機(jī)頻率,使A、B、C類小無塵室之靜壓均比設(shè)定值高0~2Pa。以此類推,直到所有小無塵室之靜壓均略大于設(shè)定值0~2Pa為止。

壓差測(cè)定及調(diào)整合格后,用紅漆在所有新風(fēng)閥上作標(biāo)記,并將閥門位置固定,不得隨意變動(dòng)。若選用自動(dòng)控制,則將以上需手動(dòng)調(diào)節(jié)之風(fēng)閥均換成VAV(變風(fēng)量調(diào)節(jié)單元)或比例式電動(dòng)風(fēng)閥,當(dāng)監(jiān)控中心收到現(xiàn)場(chǎng)傳感器測(cè)得的數(shù)據(jù)信號(hào)后,即與標(biāo)準(zhǔn)值對(duì)比,并發(fā)出指令無級(jí)調(diào)節(jié)相應(yīng)VAV或比例式電動(dòng)風(fēng)閥開度,改變新風(fēng)量,從而調(diào)節(jié)其靜壓。使用VAV自動(dòng)控制無塵室靜壓效率很高,能及時(shí)同步調(diào)節(jié)新風(fēng)量,保證無塵室靜壓的穩(wěn)定性,但由于VAV造價(jià)較高,所以其一次性投入成本較大,所以相比較而言,電動(dòng)風(fēng)閥由于其價(jià)格低廉,則在工程實(shí)踐中應(yīng)用較多。每次從監(jiān)控中心觀察各小無塵室靜壓時(shí)均需確認(rèn),調(diào)試區(qū)域內(nèi)無塵室的門均已處于關(guān)閉狀態(tài)。

為避免無塵室內(nèi)正壓過大,影響生產(chǎn),特別是液晶電子廠房,正壓過大時(shí)會(huì)引起液晶破片,必須在相鄰無塵室之間的隔墻上安裝余壓閥。由于生產(chǎn)工藝的需求,相鄰無塵室之間存在不可關(guān)閉的開口時(shí),還必須測(cè)量開口處的風(fēng)速及風(fēng)向,其風(fēng)速及風(fēng)向應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。調(diào)試完成后,必須測(cè)試所有調(diào)節(jié)風(fēng)閥的風(fēng)量,分析其數(shù)據(jù)并與設(shè)計(jì)風(fēng)量相比較,反過來驗(yàn)證無塵室的氣密性,以避免因氣密性差引起的能源浪費(fèi)。

與傳統(tǒng)監(jiān)測(cè)及控制方法相比,該工法采用了二總線制傳輸與控制,電腦分析采集數(shù)據(jù),大大減少人工,提高了效率,節(jié)省了調(diào)試時(shí)間和費(fèi)用。采用本技術(shù),能明顯縮短大型無塵室靜壓調(diào)試的周期,滿足了電子廠房工期短,生產(chǎn)任務(wù)緊的需求,為電子生產(chǎn)企業(yè)早日進(jìn)軍市場(chǎng)創(chuàng)造了條件。提高了企業(yè)施工技術(shù)水平,降低了企業(yè)的施工成本,企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)得到了加強(qiáng)。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

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