一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種軟件故障快速恢復(fù)方法，尤其是針對半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)調(diào)度控制軟件的故障快速恢復(fù)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在主流的半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠內(nèi)，生產(chǎn)線由很多種工藝加工設(shè)備以晶圓存儲設(shè)備等組成，半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)在這些設(shè)備間搬運(yùn)晶圓，極大地提高半導(dǎo)體生產(chǎn)線的自動化能力。搬運(yùn)系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠起到大動脈的作用，如果搬運(yùn)系統(tǒng)出現(xiàn)故障，整個生產(chǎn)線都要停止生產(chǎn)。所以搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性及故障快速恢復(fù)能力對整個生產(chǎn)線產(chǎn)能影響很大?，F(xiàn)行的搬運(yùn)系統(tǒng)在控制軟件出現(xiàn)故障后需人工處理，并且需要自我檢測或重新啟動等很多步驟才能恢復(fù)成故障之前的工作狀態(tài)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服搬運(yùn)系統(tǒng)控制件故障恢復(fù)時間慢的不足，本發(fā)明提供一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，使搬運(yùn)系統(tǒng)軟件在出現(xiàn)故障后可以快速恢復(fù)至故障前的工作狀態(tài)。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，包括以下步驟:將生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)的控制主機(jī)與從機(jī)連接，分別同時運(yùn)行相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件并進(jìn)行數(shù)據(jù)同步；當(dāng)主機(jī)發(fā)生故障時，從機(jī)發(fā)出報警并接替主機(jī)對搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制；主機(jī)故障解除后，從機(jī)進(jìn)入故障等待狀態(tài)。
[0005]所述主機(jī)和從機(jī)在同一個網(wǎng)絡(luò)內(nèi)并可以互相訪問。
[0006]所述進(jìn)行數(shù)據(jù)同步具體為:主機(jī)處于工作狀態(tài)時，主機(jī)的控制軟件定期將搬運(yùn)系統(tǒng)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)存入主機(jī)的數(shù)據(jù)庫中，并同時通過網(wǎng)絡(luò)存入從機(jī)的數(shù)據(jù)庫中。
[0007]所述從機(jī)發(fā)出報警并接替主機(jī)對搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制包括以下步驟:
[0008]當(dāng)主機(jī)的控制軟件檢測到搬運(yùn)系統(tǒng)發(fā)生故障時，主機(jī)向從機(jī)發(fā)出故障狀態(tài)信息并自動切換成故障等待狀態(tài)；從機(jī)接收到故障狀態(tài)信息后，從機(jī)的控制軟件從故障等待狀態(tài)切換成正常工作狀態(tài)，讀取從機(jī)數(shù)據(jù)庫中的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，接替主機(jī)對搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制；
[0009]當(dāng)主機(jī)的控制軟件未檢測到搬運(yùn)系統(tǒng)故障且從機(jī)在一定時間內(nèi)沒有接收到主機(jī)發(fā)來的狀態(tài)信息時，從機(jī)從故障等待狀態(tài)切換成正常工作狀態(tài)，讀取從機(jī)數(shù)據(jù)庫中的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，接替主機(jī)對搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制，并向主機(jī)的監(jiān)控程序發(fā)送重新啟動主機(jī)控制軟件指令，強(qiáng)制主機(jī)的控制軟件重新啟動；從機(jī)接替主機(jī)的控制工作后進(jìn)行報警。
[0010]本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點:
[0011]1.本發(fā)明方法使軌道搬運(yùn)系統(tǒng)軟件在發(fā)生故障時，能夠快速的恢復(fù)并繼續(xù)工作。
[0012]2.由于該方法分為主機(jī)和從機(jī)，主機(jī)如果出現(xiàn)了某些嚴(yán)重的問題，導(dǎo)致短期內(nèi)無法工作，從機(jī)可代替主機(jī)進(jìn)行一切工作，從而極大的提高了生產(chǎn)效率，也給技術(shù)人員充足的時間來解決問題。
[0013]3.由于采用了數(shù)據(jù)同步機(jī)制，從機(jī)可以將主機(jī)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)進(jìn)行及時的備份，避免由于主機(jī)故障而導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失，增強(qiáng)系統(tǒng)的安全性。
【附圖說明】
[0014]圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；
[0015]圖2是軟件故障處理流程圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0017]一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，具體步驟如下:
[0018]主機(jī)與從機(jī)分別同時運(yùn)行相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件并擁有數(shù)據(jù)同步功能。當(dāng)主機(jī)發(fā)生故障時，從機(jī)發(fā)出報警，并接替主機(jī)進(jìn)行控制操作。主機(jī)故障解除后，從機(jī)進(jìn)入故障等待狀態(tài)。
[0019]所述主機(jī)與從機(jī)，是指兩臺相同配置的計算機(jī)，計算機(jī)中安裝完全相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件、軟件監(jiān)控程序和數(shù)據(jù)庫軟件，兩臺計算機(jī)在同一個網(wǎng)絡(luò)內(nèi)，可以互相訪問。
[0020]所述數(shù)據(jù)同步功能，是指主機(jī)處于工作狀態(tài)時，主機(jī)的控制軟件會將工作狀態(tài)數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫中，主機(jī)數(shù)據(jù)庫與從機(jī)數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)利用網(wǎng)絡(luò)通訊實現(xiàn)實時同步的功能。
[0021]工作狀態(tài)數(shù)據(jù)包括軟件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)和硬件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；
[0022]其中軟件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)包括調(diào)度模塊狀態(tài)、天車模塊狀態(tài)、倉儲模塊狀態(tài)。各個模塊的狀態(tài)是指各個模塊在運(yùn)行過程中，模塊內(nèi)部的用于表示模塊狀態(tài)的各個參數(shù)的參數(shù)值。這三個模塊分別利用控制軟件，將模塊狀態(tài)參數(shù)的參數(shù)值存入數(shù)據(jù)庫中。
[0023]調(diào)度模塊狀態(tài)參數(shù)包括調(diào)度模塊的總體狀態(tài)(正常、繁忙、錯誤)，調(diào)度模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，調(diào)度模塊當(dāng)前控制的設(shè)備列表等；
[0024]天車模塊狀態(tài)參數(shù)包括天車模塊的總體狀態(tài)(正常、繁忙、錯誤)，天車模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，天車的運(yùn)行速度，天車裝載的晶圓數(shù)量等；
[0025]倉儲模塊狀態(tài)參數(shù)包括倉儲模塊的總體狀態(tài)(正常、繁忙、錯誤)，倉儲模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，倉庫所存儲的晶圓數(shù)量、倉庫可容納的晶圓數(shù)量等。
[0026]硬件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)是指搬運(yùn)系統(tǒng)中的各個硬件設(shè)備的I/O參數(shù)數(shù)據(jù)，包括天車的移動控制I/o、機(jī)械手的伸展控制I/O、倉庫門的開關(guān)控制I/O等。搬運(yùn)系統(tǒng)中有很多個硬件設(shè)備，每個硬件設(shè)備通常也包含幾百個I/o參數(shù)，因此硬件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于軟件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)。
[0027]所述主機(jī)發(fā)生故障的類型分為普通故障和嚴(yán)重故障，普通故障是指控制軟件可檢測的故障，嚴(yán)重故障時指導(dǎo)致控制軟件無法響應(yīng)的故障。
[0028]當(dāng)搬運(yùn)系統(tǒng)發(fā)生普通故障時，主機(jī)向從機(jī)發(fā)出故障狀態(tài)信息,主機(jī)自動切換成故障等待狀態(tài)。從機(jī)接收到主機(jī)發(fā)送的故障狀態(tài)信息后，從機(jī)的控制程序切換成正常工作狀態(tài)，讀取數(shù)據(jù)庫中的設(shè)備狀態(tài)，接替主機(jī)系統(tǒng)對搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制。所述故障等待狀態(tài)，是指從機(jī)仍會接收主機(jī)數(shù)據(jù)庫發(fā)出的同步數(shù)據(jù)，存入從機(jī)的數(shù)據(jù)庫中，但從機(jī)只負(fù)責(zé)接收數(shù)據(jù)，不進(jìn)行任何軟件控制操作。<