專利名稱：一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法。
背景技術(shù)：
在無(wú)線通信系統(tǒng)的基站中，功放是功率最大、技術(shù)最復(fù)雜、配置數(shù)量最多、價(jià)格最昂貴的模塊之一。
根據(jù)電子產(chǎn)品的特點(diǎn)，功放的生命周期曲線如附圖1所示，從圖1中可明顯看出，功放在使用初期即早期失效期的失效率是非常高的，在渡過早期失效期后，進(jìn)入到功放的使用壽命期時(shí)，功放進(jìn)入到可靠的工作時(shí)期，失效率近似為一個(gè)常數(shù)，功放運(yùn)行平穩(wěn)，可靠性好。
目前，使功放在生產(chǎn)廠家即交付使用前通過早期失效期，讓功放在交付使用時(shí)工作在使用壽命期的主要方法為老化。對(duì)功放進(jìn)行老化，已成為功放生產(chǎn)過程中的一個(gè)重要的必經(jīng)環(huán)節(jié)。
現(xiàn)有的對(duì)功放進(jìn)行老化的方法，是將功放放在專門的高溫老化房中，使用電能等資源進(jìn)行加熱，使高溫老化房中的環(huán)境溫度保持恒定高溫，同時(shí)使功放在額定輸出功率下運(yùn)行。
由于功放的體積大，所以在大批量生產(chǎn)功放時(shí)，需要建造大量的專門的高溫老化房，同時(shí)，由于高溫老化房需要良好的封閉性以保持恒定溫度，給老化過程中對(duì)功放工作狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控帶來諸多不便，如果功放在老化過程中出現(xiàn)故障，難于及時(shí)發(fā)現(xiàn)，一般只有在長(zhǎng)時(shí)間的老化過程結(jié)束后，對(duì)功放進(jìn)行測(cè)試時(shí)，才能夠發(fā)現(xiàn)有問題的功放，對(duì)其進(jìn)行維修，不僅造成無(wú)效的老化過程，還耽誤時(shí)間、浪費(fèi)電能等資源及高溫老化房的空間。
綜上所述，現(xiàn)有的功放老化的方法由于高溫老化房的建造成本高、大量使用電等能源加熱、存在不必要的老化過程等原因，使功放的老化效率低、生產(chǎn)成本高，而且已成為功放大批量生產(chǎn)的瓶頸。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，利用電子設(shè)備在工作狀態(tài)時(shí)自身產(chǎn)生的熱量對(duì)其進(jìn)行老化，以簡(jiǎn)化電子設(shè)備的老化方法，降低電子設(shè)備的生產(chǎn)成本。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，包括使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)，控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化。
所述電子設(shè)備包括無(wú)線通信系統(tǒng)的基站中的功放。
所述使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)的步驟包括將所述電子設(shè)備置于常溫環(huán)境，并使所述電子設(shè)備在其額定輸出功率下工作。
所述散熱裝置包括散熱風(fēng)扇。
所述方法還包括確定所述電子設(shè)備的老化溫度，并監(jiān)測(cè)所述電子設(shè)備的溫度。
所述控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化的步驟具體為根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度控制所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，對(duì)所述電子設(shè)備進(jìn)行老化。
所述控制所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速的步驟進(jìn)一步包括根據(jù)預(yù)定的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整；或根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速，并根據(jù)所述計(jì)算的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。
所述控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化的步驟具體為控制所述散熱風(fēng)扇根據(jù)預(yù)定轉(zhuǎn)速工作；根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度在所述電子設(shè)備的額定輸出功率內(nèi)控制所述電子設(shè)備的輸出功率，對(duì)所述電子設(shè)備進(jìn)行老化。
所述控制所述電子設(shè)備的輸出功率的步驟進(jìn)一步包括根據(jù)預(yù)定的調(diào)整功率對(duì)所述電子設(shè)備的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整；或根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度計(jì)算電子設(shè)備的調(diào)整功率，并根據(jù)所述計(jì)算的調(diào)整功率對(duì)所述電子設(shè)備的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。
所述方法還包括監(jiān)測(cè)所述電子設(shè)備的工作狀態(tài)；當(dāng)監(jiān)測(cè)到所述電子設(shè)備工作異常時(shí)，停止所述老化的過程。
通過上述技術(shù)方案的描述可明顯得知，本發(fā)明通過控制電子設(shè)備的散熱裝置，使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下，利用其在工作狀態(tài)下自身產(chǎn)生的熱量即可以使電子設(shè)備完成老化過程；尤其當(dāng)電子設(shè)備的體積較大時(shí)，如無(wú)線通信系統(tǒng)中基站的功放，由于本發(fā)明能夠使功放在常溫環(huán)境下進(jìn)行老化，節(jié)約了大量建設(shè)高溫老化房的成本及對(duì)高溫老化房進(jìn)行加熱的電能等資源，為功放的大批量生產(chǎn)及投入運(yùn)營(yíng)奠定了良好的基礎(chǔ)，而且本發(fā)明還可以方便的對(duì)老化過程中的功放進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，避免了無(wú)效的老化過程；本發(fā)明可以通過控制散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速、控制散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速和輸出功率來實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的老化，實(shí)現(xiàn)方法簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)過程靈活；從而通過本發(fā)明提供的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)化電子設(shè)備的老化方法、提高電子設(shè)備的老化效率、降低電子設(shè)備的生產(chǎn)成本的目的。


圖1是功放的生命周期曲線示意圖；圖2是本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)功放老化的流程圖1；圖3是本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)功放老化的流程圖2。
具體實(shí)施例方式
電子設(shè)備在工作狀態(tài)下都會(huì)產(chǎn)生一定的熱量，大功率的電子設(shè)備在工作狀態(tài)下，尤其是工作在其額定輸出功率時(shí)，其自身產(chǎn)生的熱量非常大，如無(wú)線通信系統(tǒng)中基站的功放，其自身就是一個(gè)大功率的模塊，其在工作狀態(tài)下的發(fā)熱很厲害。
為使電子設(shè)備工作時(shí)產(chǎn)生的熱量能夠及時(shí)散發(fā)出去，給電子設(shè)備一個(gè)適宜溫度的工作環(huán)境，一般的電子設(shè)備中都會(huì)配置有散熱裝置，如散熱風(fēng)扇、散熱孔、散熱片等。
本發(fā)明正是利用了電子設(shè)備在工作時(shí)產(chǎn)生熱量、具有散熱裝置等特點(diǎn)來使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)老化。
本發(fā)明的核心為使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)，控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化。從而，本發(fā)明避免了建造高溫老化房等老化設(shè)施，節(jié)約了電能等資源。
下面以無(wú)線通信系統(tǒng)中基站的功放為例，對(duì)本發(fā)明提供的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
功放是基站中功率最大的設(shè)備之一，功放在高溫老化房中進(jìn)行老化過程時(shí)，高溫老化房中的溫度一般為50～55℃，此時(shí)，功放散熱器基板的溫度一般為80℃～85℃，我們可以將功放散熱器基板的溫度80℃～85℃確定為功放的老化溫度。當(dāng)功放在常溫環(huán)境下工作時(shí)，會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，功放內(nèi)部配置有散熱風(fēng)扇，通過控制功放的散熱風(fēng)扇，同樣可以使工作于常溫環(huán)境下的功放的溫度達(dá)到其老化溫度，如使功放散熱器基板的溫度保持在80℃～85℃，從而使功放能夠在常溫環(huán)境下進(jìn)行其老化過程，達(dá)到與功放在高溫老化房同樣的老化效果。
本發(fā)明在利用功放自身產(chǎn)生的熱量進(jìn)行老化過程時(shí)，可以使功放在其額定輸出功率下工作，再控制功放的散熱風(fēng)扇，能夠使功放快速達(dá)到其老化溫度，盡快開始功放的老化過程。
控制功放的散熱風(fēng)扇，使功放在常溫環(huán)境下完成其老化過程的方法主要有兩種方法一將功放置于常溫環(huán)境中，確定功放的老化溫度，如將功放散熱器基板的溫度80℃～85℃確定為功放的老化溫度；使功放工作于恒定的輸出功率下，如使功放在其額定輸出功率下工作，由功放的CPU實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功放散熱器基板的溫度，根據(jù)功放的老化溫度、監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度來調(diào)整散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，以使功放散熱器基板的溫度保持在80℃～85℃，使功放進(jìn)行其老化過程。
控制散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速可以為根據(jù)預(yù)定的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整，如當(dāng)監(jiān)測(cè)到的溫度超過老化溫度時(shí)，將散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速相應(yīng)提高5％，當(dāng)監(jiān)測(cè)到的溫度低于老化溫度時(shí)，將散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速相應(yīng)降低5％。
控制散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速也可以為根據(jù)計(jì)算的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整，如根據(jù)監(jiān)測(cè)到的溫度和功放的老化溫度來計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速等。
利用方法一實(shí)現(xiàn)功放在常溫環(huán)境下完成其老化過程的流程如附圖2所示。
在圖2中，步驟200，確定功放散熱器基板的溫度80℃～85℃為功放的老化溫度，使功放在其額定的輸出功率下工作。
到步驟210，功放的CPU實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功放散熱器基板的溫度。
到步驟220，判斷功放的老化溫度和監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度沒有達(dá)到超過80℃，則到步驟221，根據(jù)預(yù)定的調(diào)整轉(zhuǎn)速將功放散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速相應(yīng)降低。
在步驟220，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度在80℃～85℃之間，則到步驟222，對(duì)功放散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速不作調(diào)整，保持散熱風(fēng)扇原有的轉(zhuǎn)速。
在步驟220，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度超過85℃，則到步驟223，根據(jù)預(yù)定的調(diào)整轉(zhuǎn)速將功放散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速相應(yīng)提高。
當(dāng)然，如果在實(shí)際應(yīng)用中需要根據(jù)監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度、老化溫度來計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速，則步驟221和步驟223也可以為根據(jù)監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度、老化溫度來計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速，并根據(jù)計(jì)算出的調(diào)整轉(zhuǎn)速將功放散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速相應(yīng)降低或提高。
方法二將功放置于常溫環(huán)境中，確定功放的老化溫度，如將功放散熱器基板的溫度80℃～85℃確定為功放的老化溫度；使功放工作于恒定的輸出功率下，如使功放在其較高的輸出功率下工作，使功放的散熱風(fēng)扇工作在一個(gè)較低的恒定的轉(zhuǎn)速下，在這樣的輸出功率和風(fēng)扇轉(zhuǎn)速下，功放散熱器基板溫度能夠較快達(dá)到預(yù)定的老化溫度；由功放的CPU實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功放散熱器基板的溫度，根據(jù)功放的老化溫度、監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度來調(diào)整功放的輸出功率，以使功放散熱器基板的溫度保持在80℃～85℃，使功放進(jìn)行其老化過程。
控制功放的輸出功率可以為根據(jù)預(yù)定的調(diào)整功率對(duì)功放的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整，如當(dāng)監(jiān)測(cè)到的溫度超過老化溫度時(shí)，將功放的輸出功率相應(yīng)降低5％，當(dāng)監(jiān)測(cè)到的溫度低于老化溫度時(shí)，將功放的輸出功率相應(yīng)提高5％。
控制功放的輸出功率也可以為根據(jù)計(jì)算的調(diào)整功率對(duì)功放的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整，如根據(jù)監(jiān)測(cè)到的溫度和功放的老化溫度來計(jì)算功放的調(diào)整功率等。
在上述對(duì)功放的輸出功率的調(diào)整過程中，功放的輸出功率不能超過其額定輸出功率，避免在老化過程中對(duì)功放在使用壽命等方面造成不良影響。
利用方法二實(shí)現(xiàn)功放在常溫環(huán)境下完成其老化過程的流程如附圖3所示。
在圖3中，步驟300，確定功放散熱器基板的溫度80℃～85℃為功放的老化溫度，使功放在其較高的輸出功率下工作，并使功放的散熱風(fēng)扇工作在一個(gè)較低的恒定的轉(zhuǎn)速下。
到步驟310，功放的CPU實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功放散熱器基板的溫度。
到步驟320，判斷功放的老化溫度和監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度沒有達(dá)到超過80℃，則到步驟321，根據(jù)預(yù)定的調(diào)整功率將功放的輸出功率相應(yīng)提高。
在步驟320，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度在80℃～85℃之間，則到步驟322，對(duì)功放的輸出功率不作調(diào)整，使功放保持原有的輸出功率繼續(xù)工作。
在步驟320，如果監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度超過85℃，則到步驟323，根據(jù)預(yù)定的調(diào)整功率將功放的輸出功率相應(yīng)降低。
當(dāng)然，如果在實(shí)際應(yīng)用中需要根據(jù)監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度、老化溫度來計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速，則步驟321和步驟323也可以為根據(jù)監(jiān)測(cè)到的功放散熱器基板的溫度、老化溫度來計(jì)算功放的調(diào)整功率，并根據(jù)計(jì)算出的調(diào)整功率將功放的輸出功率相應(yīng)提高或降低。
在實(shí)際應(yīng)有中也可以將上述方法一和方法二結(jié)合起來使用，即在應(yīng)用過程中通過同時(shí)/分別調(diào)整散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速和功放的輸出功率來使功放散熱器基板的溫度保持在老化溫度，以進(jìn)行功放的老化過程；如首先使功放在其額定的最高輸出功率下工作，如果通過調(diào)整風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速始終不能夠使功放散熱器基板的溫度低于85℃，則采用降低功放輸出功率的方法使功放散熱器基板的溫度保持在80℃～85℃之間；再如，首先使功放在其較高的輸出功率下工作，并將功放的散熱風(fēng)扇在一個(gè)較低的恒定的轉(zhuǎn)速下工作，如果通過調(diào)整功放的輸出功率始終不能夠使功放散熱器基板的溫度達(dá)到80℃，則采用降低功放散熱風(fēng)扇轉(zhuǎn)速的方法使功放散熱器基板的溫度保持在80℃～85℃之間。
由于本發(fā)明能夠在開放的常溫環(huán)境中進(jìn)行功放的老化過程，所以，能夠方便的對(duì)老化過程中的功放的工作狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，如檢測(cè)功放的輸出功率、電壓、電流、告警指示等。在監(jiān)控過程中一旦發(fā)現(xiàn)功放的出現(xiàn)異常，則可以及時(shí)停止功放的老化過程，對(duì)功放進(jìn)行及時(shí)的檢修處理，避免了不必要的老化過程，提高功放的老化效率。
雖然通過實(shí)施例描繪了本發(fā)明，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員知道，本發(fā)明有許多變形和變化而不脫離本發(fā)明的精神，如上述實(shí)施例中描述的CPU實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)功放散熱器基板的溫度的步驟，也可以為CPU根據(jù)預(yù)定時(shí)間間隔定時(shí)檢測(cè)功放散熱器基板的溫度，希望所附的權(quán)利要求包括這些變形和變化。
權(quán)利要求
1.一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于包括使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)，控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化。
2.如權(quán)利要求1所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述電子設(shè)備包括無(wú)線通信系統(tǒng)的基站中的功放。
3.如權(quán)利要求1或2所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)的步驟包括將所述電子設(shè)備置于常溫環(huán)境，并使所述電子設(shè)備在其額定輸出功率下工作。
4.如權(quán)利要求1或2所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述散熱裝置包括散熱風(fēng)扇。
5.如權(quán)利要求4所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述方法還包括確定所述電子設(shè)備的老化溫度，并監(jiān)測(cè)所述電子設(shè)備的溫度。
6.如權(quán)利要求5所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化的步驟具體為根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度控制所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，對(duì)所述電子設(shè)備進(jìn)行老化。
7.如權(quán)利要求6所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述控制所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速的步驟進(jìn)一步包括根據(jù)預(yù)定的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整；或根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度計(jì)算散熱風(fēng)扇的調(diào)整轉(zhuǎn)速，并根據(jù)所述計(jì)算的調(diào)整轉(zhuǎn)速對(duì)所述電子設(shè)備散熱風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。
8.如權(quán)利要求5所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化的步驟具體為控制所述散熱風(fēng)扇根據(jù)預(yù)定轉(zhuǎn)速工作；根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度在所述電子設(shè)備的額定輸出功率內(nèi)控制所述電子設(shè)備的輸出功率，對(duì)所述電子設(shè)備進(jìn)行老化。
9.如權(quán)利要求8所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述控制所述電子設(shè)備的輸出功率的步驟進(jìn)一步包括根據(jù)預(yù)定的調(diào)整功率對(duì)所述電子設(shè)備的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整；或根據(jù)所述電子設(shè)備的老化溫度、所述監(jiān)測(cè)的電子設(shè)備的溫度計(jì)算電子設(shè)備的調(diào)整功率，并根據(jù)所述計(jì)算的調(diào)整功率對(duì)所述電子設(shè)備的輸出功率進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。
10.如權(quán)利要求1或2所述的一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其特征在于所述方法還包括監(jiān)測(cè)所述電子設(shè)備的工作狀態(tài)；當(dāng)監(jiān)測(cè)到所述電子設(shè)備工作異常時(shí)，停止所述老化的過程。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基于散熱裝置的電子設(shè)備的老化方法，其核心為使電子設(shè)備在常溫環(huán)境下處于工作狀態(tài)，控制電子設(shè)備的散熱裝置，對(duì)電子設(shè)備進(jìn)行老化。本發(fā)明能夠使電子設(shè)備尤其是體積較大的電子設(shè)備如功放等在常溫環(huán)境下進(jìn)行老化，節(jié)約了大量建設(shè)高溫老化房的成本及對(duì)高溫老化房進(jìn)行加熱的電能等資源，為電子設(shè)備的大批量生產(chǎn)及投入運(yùn)營(yíng)奠定了良好的基礎(chǔ)，而且本發(fā)明還可以方便的對(duì)老化過程中的功放進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，避免了無(wú)效的老化過程；本發(fā)明實(shí)現(xiàn)方法簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)過程靈活；從而實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)化電子設(shè)備的老化方法、提高電子設(shè)備的老化效率、降低電子設(shè)備的生產(chǎn)成本的目的。
文檔編號(hào)H01L21/66GK1755381SQ20041008482
公開日2006年4月5日 申請(qǐng)日期2004年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月30日
發(fā)明者殷為民, 張孝鐵, 金宇 申請(qǐng)人:華為技術(shù)有限公司