專利名稱：獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光技術(shù)領(lǐng)域中，涉及的一種通過腔內(nèi)和 頻方法獲得488 nm波長全固體藍(lán)光激光器。
背景技術(shù)：
在激光技術(shù)領(lǐng)域中，半導(dǎo)體激光器及半導(dǎo)體激光泵浦 固體激光技術(shù)發(fā)展以前，獲得藍(lán)激光的技術(shù)主要是氬離子激光器，而 氬離子激光器在藍(lán)激光的波段主要是488 nm的波長。因此隨著激光 應(yīng)用領(lǐng)域研究的迸展，488 nm波長的藍(lán)激光在生物醫(yī)療儀器，基礎(chǔ) 研究和工業(yè)領(lǐng)域己獲得了大量的應(yīng)用。隨著半導(dǎo)體激光器及半導(dǎo)體激 光泵浦固體激光技術(shù)發(fā)展及其特殊的優(yōu)點(diǎn)，半導(dǎo)體藍(lán)光激光器和半導(dǎo) 體激光泵浦固體藍(lán)光激光器已獲得了迅速的發(fā)展，并在很多應(yīng)用領(lǐng)域 大量的取代了氬離子激光器。但直接發(fā)射488 nm波長的半導(dǎo)體藍(lán)光 激光器還處在研究階段。目前獲得半導(dǎo)體激光泵浦固體藍(lán)光激光輸出 的技術(shù)主要是腔內(nèi)倍頻方法，由于目前激光增益介質(zhì)躍遷譜線的限 制，通過腔內(nèi)倍頻還不能獲得488nm的藍(lán)激光波長。目前獲得488nm的激光器除了氬離子激光器外，主要還有垂直 腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器的外腔倍頻和摻鈦藍(lán)寶石倍頻激光器等。垂直 腔面發(fā)射半導(dǎo)體外腔倍頻激光器主要有電泵浦和光泵浦兩種方式。電 泵浦垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體外腔倍頻激光器目前獲得的功率還很低，僅 幾毫瓦。光泵浦垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體外腔倍頻激光器需要反射方向泵 浦，獲得的488nm的激光也僅百毫瓦量級(jí)。采用摻鈦藍(lán)寶石倍頻激
光器需要其它固體激光器泵浦，獲得4S8nm的激光器結(jié)構(gòu)復(fù)雜和成 本高。通過對(duì)兩個(gè)具有不同波長基頻光的非線性和頻方法也能獲得新 的波長。與本發(fā)明最為接近的已有技術(shù)是美國專利No.5.345.457如圖 l所示，包括泵浦源1和4，諧振腔鏡2和5、激光增益介質(zhì)3和6、 偏光棱鏡7、 KTP非線性晶體8和輸出耦合腔鏡9。諧振腔鏡2和5 分別與輸出耦合腔鏡9之間組成具有公共重合部分的兩個(gè)子諧振腔 組，子諧振腔的公共重合部分由偏光棱鏡7， KTP非線性晶體8和輸 出耦合鏡腔9組成。當(dāng)泵浦源1和4分別泵浦激光增益介質(zhì)3和6時(shí)， 兩個(gè)子諧振腔通過激光增益介質(zhì)3和6分別產(chǎn)生1064nm和1318nm 兩個(gè)不同波長的基頻光，形成振蕩，再通過公共重合部分的KTP非 線性晶體8的和頻產(chǎn)生589nm的波長輸出。該激光器的輸出波長是589nm的黃光激光器，而不是輸出波長 為488nm的藍(lán)光激光器。
發(fā)明內(nèi)容
為了獲得488nm波長輸出的藍(lán)光激光器，設(shè)計(jì)一種不同于黃光 激光器的結(jié)構(gòu)并通過選用不同的激光增益介質(zhì)、非線性晶體和制備在 諧振腔鏡與輸出耦合鏡的激光膜系，產(chǎn)生兩個(gè)不同的基頻光波長，通 過特定基頻光波長的組合，在非線性晶體內(nèi)和頻產(chǎn)生488nm的藍(lán)光 激光輸出。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種獲得488nm波長 的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器。解決技術(shù)問題的技術(shù)方案如圖2所示，包括第一半導(dǎo)體激光器 10和第二半導(dǎo)體激光器17、第一光學(xué)耦合部件11和第二光學(xué)耦合部件18、第一輸入耦合腔鏡12和第二輸入耦合腔鏡19、第一激光增益 介質(zhì)13和第二激光增益介質(zhì)20、和束鏡14、非線性晶體15、輸出 耦合腔鏡16;該結(jié)構(gòu)是由具有公共重合光路的兩個(gè)子諧振腔組成復(fù) 合型諧振腔的腔內(nèi)和頻激光器結(jié)構(gòu)； 一個(gè)子諧振腔是在第一半導(dǎo)體激 光器10的激光發(fā)射方向的光軸上，從左至右按第一耦合光學(xué)部件、 第一輸入耦合腔鏡12、第一激光增益介質(zhì)13、和束鏡14、非線性晶 體15和輸出耦合腔鏡16排列，其中和束鏡14與光軸成45°放置；另 一個(gè)子諧振腔是在第二半導(dǎo)體激光器17的激光發(fā)射方向的光軸上， 按第二光學(xué)耦合部件18、第二輸入耦合腔鏡19、第二激光增益介質(zhì) 20、和束鏡14、非線性晶體15和輸出耦合腔鏡16排列，其中和束 鏡14與光軸成45。放置；兩個(gè)子諧振腔通過和束鏡14合成，并由和 束鏡14，非線性晶體15和輸出耦合腔鏡16組成公共重合光路；在 tft -半導(dǎo)體激光器10的光學(xué)泵浦下，第一激光增益介質(zhì)13產(chǎn)生的波 長為人p并在第一輸入耦合腔鏡12和輸出耦合腔鏡16之間振蕩；在 第二半導(dǎo)體激光器17的光學(xué)泵浦下，第二激光增益介質(zhì)20產(chǎn)生的波 長為、，并在第二輸入耦合腔鏡19和輸出耦合腔鏡16之間振蕩；波 長為、的光束與波長為、的光束在公共重合光路內(nèi)共線或非共線通 過非線性晶體15，由非線性和頻相互作用，產(chǎn)生波長為人3的488nm 藍(lán)色和頻激光，并由輸出耦合腔鏡16輸出到諧振腔外。其中波長M、人2和入3的和頻變換關(guān)系要滿足1/afl/入2+l/、的要 求；通過選擇不同激光增益介質(zhì)的不同波長、和人2組合，使和頻光的 波長^為488nrn的藍(lán)光；非線性晶體15按波長、和入2的和頻位相匹 配方向切割，使波長、和波長人2在非線性晶體15中共線或非共線傳 播時(shí)的位相匹配關(guān)系要滿足n3/人3^ri2/入2+n！/、的要求，其中113、 112和 m分別是波長入3、 ^和、在非線性]晶體15中傳播的折射率。第一光學(xué)耦合部件11和第二光學(xué)耦合部件18通常是球面鏡、或 非球面鏡、或柱面鏡、或自聚焦透鏡、或光纖、或棱鏡、或二元光學(xué) 透鏡等光學(xué)元件，或由以上光學(xué)元件組成的復(fù)合光學(xué)系統(tǒng)。第一輸入耦合腔鏡12的靠近第一激光增益介質(zhì)13的農(nóng)而可以足 平面或凹面，該面的膜系制備要求對(duì)波長、具有高反射率，同時(shí)對(duì)第 一半導(dǎo)體激光器IO發(fā)出的泵浦光波長具有高透過率；第二輸入耦合 腔鏡19的靠近第二激光增益介質(zhì)20的表面也可以是平面或凹面，該面的膜系制備要求對(duì)波長人2具有高反射率，同時(shí)對(duì)第二半導(dǎo)體激光器17發(fā)出的泵浦光波長具有高透過率；和束鏡14一個(gè)面的膜系制備要 求在與該鏡面法線成45。入射時(shí)，對(duì)波長^具有高透射率，對(duì)波長入2 具有高反射率，另一個(gè)面的膜系制備要求在與該鏡面法線成45°入射 時(shí)，對(duì)波長、具有高透射率；輸出耦合腔鏡16的靠近非線性晶體15 的表面膜系制備要求同時(shí)對(duì)波長、和人2的基頻光具有的高反射率，并 對(duì)和頻光波長人3具有高透過率，另一面膜系制備要求對(duì)和頻光的波長入3具有高透過率。工作原理說明本發(fā)明的488nm全固體藍(lán)光激光器工作時(shí)作為泵浦光源的第 一半導(dǎo)體激光器10發(fā)出泵浦光，被第一光學(xué)耦合部件11耦合到第一激光增益介質(zhì)13內(nèi)，當(dāng)?shù)谝话雽?dǎo)體激光器IO發(fā)出的泵浦光功率超過 諧振腔對(duì)、在其子諧振腔內(nèi)振蕩的閾值功率時(shí)，第一激光增益介質(zhì)13產(chǎn)生了波長為、的基頻光，在第一輸入耦合腔鏡12和輸出耦合腔 鏡16之間通過和束鏡14透射后傳播振蕩，在第一激光增益介質(zhì)13 內(nèi)循環(huán)放大；作為泵浦光源的第二半導(dǎo)體激光器17發(fā)出泵浦光，被 第二光學(xué)耦合部件18耦合到第二激光增益介質(zhì)20內(nèi)，當(dāng)?shù)诙雽?dǎo)體 激光器17發(fā)出的泵浦光功率超過諧振腔對(duì)、在其子諧振腔內(nèi)振蕩的 閾值功率時(shí)，第二激光增益介質(zhì)20產(chǎn)生了波長為人2的基頻光，在第 二輸入耦合腔鏡19和輸出耦合腔鏡16之間通過和束鏡14反射后傳 播振蕩，在第二激光增益介質(zhì)20內(nèi)循環(huán)放大；當(dāng)波長為、的基頻光 與波長為^的基頻光同時(shí)通過非線性晶體15時(shí)，由非線性光學(xué)和頻 相互作用，產(chǎn)生了不同于波長、和^的第三個(gè)波長為入3的488nm和 頻光，通過輸出耦合腔鏡16輸出到激光諧振腔外。本發(fā)明的積極效果是該488nm藍(lán)光激光器具有體積小，效率 高，結(jié)構(gòu)簡單，裝調(diào)容易，作為產(chǎn)品穩(wěn)定性好和全固化等特點(diǎn)，可代 替輸出功率從毫瓦級(jí)到瓦級(jí)的氬離子激光器及其它類型的激光器。
圖1是已有技術(shù)美國專利No.5.345.457的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是本發(fā)明的實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4是本發(fā)明的實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明按圖2所示的結(jié)構(gòu)實(shí)施，實(shí)施例一其中第一半導(dǎo)體激光器10采用輸出波長為790nm到806nm的半導(dǎo)體激光器或半導(dǎo)體激光 器列陣，第一光學(xué)耦合部件11采用美國LightPath公司的Lens Code 350230非球面鏡；第一輸入耦合腔鏡12的靠近第一激光增益介質(zhì)13 的表面制備對(duì)波長1047nm的反射率大于99.5%，對(duì)波長790nm到 806nm的透過率大于80%的多層介質(zhì)膜，另一面制備對(duì)波長790nm 到806nm的透過率大于99%的增透膜；第一激光增益介質(zhì)13采用 Nd:YLF激光晶體，通過選擇偏振方向，獲得激光躍遷波長為1047nm 的能級(jí)躍遷，Nd:YLF激光增益介質(zhì)的兩個(gè)通光面制備對(duì)1047nm的 雙波長增透膜，透過率大于99%;第二半導(dǎo)體激光器17是采用波長 輸出為S08nm的半導(dǎo)體激光器或半導(dǎo)體激光器列陣；第二光學(xué)耦合 部件18也采用美國LightPath公司的Lens Code 350230非球面鏡；第 二輸入耦合腔鏡19的靠近第二激光增益介質(zhì)20的表面制備對(duì)波長 914nm的反射率大于99.5°/。，對(duì)波長808nm的透過率大于80%的多 層介質(zhì)膜，另一面制備對(duì)波長S08nm的透過率大于99%的增透膜； 第二激光增益介質(zhì)20采用Nd:YV04激光晶體，通過選擇諧振腔鏡的 膜系，獲得激光躍遷波長為914nm的能級(jí)躍遷，Nd:YV04激光晶體 的兩個(gè)通光面制備對(duì)914nrn的雙波長增透膜，透過率大于99%;和 束鏡14的一個(gè)面制備對(duì)波長1047nrn的增透膜，另一個(gè)面制備對(duì)波 長1047nm增透和對(duì)波長914nm高反射率的多層介質(zhì)膜；非線性晶體 15為LBO、或BiBO、或其它非線性晶體，其中LBO或BiBO按波 長1047nm與波長914nm的和頻I類位相匹配方向切割，該晶體的兩
個(gè)通光面都制備對(duì)1047nm、 914nm和488nm的三個(gè)波長的增透膜， 透過率大于99%;輸出耦合腔鏡16的和頻光入射面制備對(duì)波長 1047nm和914nm的反射率都大于99.5%，對(duì)波長488nm的透過率大 于80%的多層介質(zhì)膜；輸出耦合腔鏡16的另一面制備對(duì)波長488nm 的透過率大于99%的增透膜。當(dāng)?shù)谝话雽?dǎo)體激光器10和第二半導(dǎo)體激光器17同時(shí)工作時(shí)，隨 著泵浦功率的增加，分別在激光增益介質(zhì)Nd:YLF和Nd:YV04內(nèi)產(chǎn) 生1047nm和914nm的兩個(gè)波長的基頻光，并分別在兩個(gè)子諧振腔內(nèi) 振蕩，通過公共重合部分的非線性晶體LBO、或BiBO或其它非線性 晶體時(shí)，產(chǎn)生488nm的藍(lán)色激光，由輸出耦合腔鏡16輸出。實(shí)施例二其中第一半導(dǎo)體激光器10采用波長為940nm的半導(dǎo) 體激光器或半導(dǎo)體激光器列陣，第一光學(xué)耦合部件11采用美國 LightPath公司的Lens Code 350230非球面鏡；第一輸入耦合腔鏡12 的靠近第一激光增益介質(zhì)13的表面制備對(duì)波長1050nm的反射率大 于99.5%，波長940nm的透過率大于80%的多層介質(zhì)膜；第一輸入 耦合腔鏡12的另一面制備對(duì)波長940nm的透過率大于99%的增透 膜；第一激光增益介質(zhì)13采用Yb:YAG激光晶體，通過選擇諧振腔 鏡的膜系，獲得激光躍遷波長為1050nm的能級(jí)躍遷，Yb:YAG激光 晶體的兩個(gè)通光面制備對(duì)1050nm的雙波長增透膜，透過率大于99%; 第二半導(dǎo)體激光器17采用波長為808nm的半導(dǎo)體激光器或半導(dǎo)體激 光器列陣，第二光學(xué)耦合部件18也采用美國LightPath公司的Lens Code 350230非球面鏡；第二輸入耦合鏡19的靠近第二激光增益介質(zhì)20的表面制備對(duì)波長912nrn的反射率大于99.5%，波長808nrn的透 過率大于80%的多層介質(zhì)膜；第二輸入耦合腔鏡19的另一面制備對(duì) 波長808nm的透過率大于99%的增透膜；第二激光增益介質(zhì)20采用 Nd:GdV04激光晶體，獲得激光躍遷波長為912nm的能級(jí)躍遷， Nd:GdV04激光晶體的兩個(gè)通光面制備對(duì)912nrn的雙波長增透膜，透 過率大于99%;和束鏡14的一個(gè)面制備對(duì)波長1050nrn的增透膜， 另一個(gè)面制備對(duì)波長1050nm增透膜和對(duì)波長912nm高反射率的多層 介質(zhì)膜；和頻晶體15為LBO、或BiBO、或其它非線性晶體，其中 LBO或]BiBO按波長1050nm與波長912nm的和頻I類位相匹配方向 切割，該晶體的兩個(gè)通光面都制備對(duì)1050nm、 912nm和488nm的三 波長增透膜，透過率大于99%;輸出耦合腔鏡16的靠近非線性晶體 15的表面制備對(duì)波長1050nm和912nm的反射率都大于99.5%，對(duì)波 長488nm的透過率大于80%的多層介質(zhì)膜；另一面制備對(duì)波長488nm 的透過率大于99%的增透膜。當(dāng)?shù)谝话雽?dǎo)體激光器io和第二半導(dǎo)體激光器17同時(shí)工作時(shí)，隨 著泵浦功率的增加，分別在激光增益介質(zhì)Yb:YAG和Nd:GdV04內(nèi)產(chǎn) 生1050nm和912nm兩個(gè)波長的基頻光在對(duì)應(yīng)的兩個(gè)子諧振腔內(nèi)振 蕩，通過公共重合部分的LBO、或BiBO或其它非線性晶體時(shí)，由非 線性和頻相互作用產(chǎn)生488nm的藍(lán)色激光，由輸出耦合腔鏡16輸出。實(shí)施例三如圖3所示，分別與實(shí)施例一和實(shí)施例二類似，只是分 別把第一輸入耦合腔鏡12的靠近第一激光增益介質(zhì)13的表面制備的 對(duì)波長1047nm或1050nm的高反射膜直接制備在第一激光增益介質(zhì)
13的泵浦光入射面上，把第二輸入耦合腔鏡19的靠近第二激光增益 介質(zhì)20的表面制備的對(duì)波長914nrn或912nm的高反射膜直接制備在 第二激光增益介質(zhì)20的泵浦光入射面上，并分別去掉第一輸入耦合 腔鏡12和第二輸入耦合腔鏡19。即等于把第一輸入耦合腔鏡12和 第二輸入耦合腔鏡19在附圖二的結(jié)構(gòu)中去掉，但是把第一輸入耦合 腔鏡12和第二輸入耦合腔鏡19靠近激光增益介質(zhì)的表面制備的高反 射膜分別直接制備在第一激光增益介質(zhì)13和第二激光增益介質(zhì)20 上。對(duì)應(yīng)于實(shí)施例一，第一激光增益介質(zhì)13采用Nd:YLF，泵浦光入 射通光表面上的高反射膜制備要求為對(duì)波長1047nm的反射率大于 99.5%，對(duì)波長7卯nm到806nm的透過率大于80%;第二激光增益 介質(zhì)20采用Nd:YV04，泵浦光入射通光表面上的高反射膜制備要求 為對(duì)波長914nm的反射率大于99.5%，對(duì)波長808nm的透過率大 于80%。對(duì)應(yīng)于實(shí)施例二，第一激光增益介質(zhì)13采用Yb:YAG，泵 浦光入射通光表面上的高反射膜制備要求為對(duì)波長1050nm的反射 率大于99.5%，對(duì)波長940nm的透過率大于80°/。；第二激光增益介 質(zhì)20采用Nd:GdV04，泵浦光入射通光表面上的高反射膜制備要求 為對(duì)波長912nm的反射率大于99.5%，對(duì)波長808nm的透過率大 于80%。對(duì)應(yīng)于實(shí)施例一和實(shí)施例二，同時(shí)把第一輸入耦合腔鏡12 和第二輸入耦合腔鏡19去掉。實(shí)施例四如圖4所示，與實(shí)施例一和實(shí)施例二類似，只是把在輸 出耦合腔鏡16的靠近非線性晶體15的表面制備的對(duì)波長、和入2的基 頻光具有的高反射率，對(duì)和頻光的波長入3具有高透過率的膜系直接制
備在非線性晶體15上，并同時(shí)把輸出耦合腔鏡16去掉。對(duì)應(yīng)于實(shí)施 例一，非線性晶體的靠近原輸出耦合腔鏡16的表面制備對(duì)波長 1047nm和914nm的反射率都大于99.5%，對(duì)波長488nm的透過率大 于80%的多層介質(zhì)膜；對(duì)應(yīng)于實(shí)施例二，非線性晶體15的靠近原輸 出耦合鏡16的表面制備對(duì)波長1050nm和912nm的反射率都大于 99.5%，對(duì)波長488nm的透過率大于80%的多層介質(zhì)膜。
權(quán)利要求
1、一種獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器，包括激光增益介質(zhì)、非線性晶體、輸出耦合腔鏡；其特征在于還包括第一半導(dǎo)體激光器(10)和第二半導(dǎo)體激光器(17)、第一光學(xué)耦合部件(11)和第二光學(xué)耦合部件(18)、和束鏡(14)；該結(jié)構(gòu)是由具有公共重合光路的兩個(gè)子諧振腔組成復(fù)合型諧振腔的腔內(nèi)和頻激光器結(jié)構(gòu)；一個(gè)子諧振腔是在第一半導(dǎo)體激光器(10)的激光發(fā)射方向的光軸上，從左至右按第一耦合光學(xué)部件(11)、第一輸入耦合腔鏡(12)、第一激光增益介質(zhì)(13)、和束鏡(14)、非線性晶體(15)和輸出耦合腔鏡(16)排列，其中和束鏡(14)與光軸成45°放置；另一個(gè)子諧振腔是在第二半導(dǎo)體激光器(17)的激光發(fā)射方向的光軸上，按第二光學(xué)耦合部件(18)、第二輸入耦合腔鏡(19)、第二激光增益介質(zhì)(20)、和束鏡(14)、非線性晶體(15)和輸出耦合腔鏡(16)排列，其中和束鏡(14)與光軸成45°放置；兩個(gè)子諧振腔通過和束鏡(14)合成，并由和束鏡(14)，非線性晶體(15)和輸出耦合腔鏡(16)組成公共重合光路；在第一半導(dǎo)體激光器(10)的光學(xué)泵浦下，第一激光增益介質(zhì)(13)產(chǎn)生的波長為λ1；在第二半導(dǎo)體激光器(17)的光學(xué)泵浦下，第二激光增益介質(zhì)(20)產(chǎn)生的波長為λ2；波長為λ1的光束與波長為λ2的光束在公共重合光路內(nèi)共線或非共線通過非線性晶體(15)，產(chǎn)生波長為λ3的488nm藍(lán)色和頻激光；其中波長λ1、λ2和λ3的和頻變換關(guān)系要滿足1/λ3＝1/λ2+1/λ1的要求；非線性晶體(15)按波長λ1和λ2的和頻位相匹配方向切割，使波長λ1和波長λ2在非線性晶體(15)中共線或非共線傳播時(shí)的位相匹配關(guān)系要滿足n3/λ3＝n2/λ2+n1/λ1的要求，其中n3、n2和n1分別是波長λ3、λ2和λ1在非線性]晶體(15)中傳播的折射率。第一輸入耦合腔鏡(12)的靠近第一激光增益介質(zhì)(13)的表面可以是平面或凹面，該面的膜系制備要求對(duì)波長λ1具有高反射率，同時(shí)對(duì)第一半導(dǎo)體激光器(10)發(fā)出的泵浦光波長具有高透過率；第二輸入耦合腔鏡(19)的靠近第二激光增益介質(zhì)(20)的表面也可以是平面或凹面，該面的膜系制備要求對(duì)波長λ2具有高反射率，同時(shí)對(duì)第二半導(dǎo)體激光器(17)發(fā)出的泵浦光波長具有高透過率；和束鏡(14)一個(gè)面的膜系制備要求在與該鏡面法線成45°入射時(shí)，對(duì)波長λ1具有高透射率，對(duì)波長λ2具有高反射率，另一個(gè)面的膜系制備要求在與該鏡面法線成45°入射時(shí)，對(duì)波長λ1具有高透射率；輸出耦合腔鏡(16)的靠近非線性晶體(15)的表面膜系制備要求同時(shí)對(duì)波長λ1和λ2的基頻光具有的高反射率，并對(duì)和頻光波長λ3具有高透過率，另一面膜系制備要求對(duì)和頻光的波長λ3具有高透過率。
2、按權(quán)利要求1所述的獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光 激光器，其特征在于分別把第一輸入耦合腔鏡(12)的靠近第一激 光增益介質(zhì)(13)的表面制備的對(duì)波長、的高反射膜直接制備在第一 激光增益介質(zhì)(13)的泵浦光入射面上，把第二輸入耦合腔鏡(19) 的靠近第二激光增益介質(zhì)(20)的表面制備的對(duì)波長、的高反射膜直 接制備在第二激光增益介質(zhì)(20)的泵浦光入射面上，并分別去掉第一輸入耦合腔鏡(12)和第二輸入耦合腔鏡(19)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán) 光激光器，其特征在于把在輸出耦合腔鏡(16)的靠近非線性晶體 (15)的表面制備的對(duì)波長、和、的基頻光具有的高反射率，對(duì)和頻 光的波長^具有高透過率的膜系直接制備在非線性晶體(15)上，并 同時(shí)把輸出耦合腔鏡(16)去掉。
全文摘要
獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器，屬于激光技術(shù)領(lǐng)域中涉及的一種激光器，要解決的技術(shù)問題是提供一種獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器，解決的技術(shù)方案包括兩個(gè)半導(dǎo)體激光器、兩個(gè)光學(xué)耦合部件、兩個(gè)輸入耦合腔鏡、兩個(gè)激光增益介質(zhì)、和束鏡、非線性晶體、輸出耦合腔鏡；該結(jié)構(gòu)是由具有公共重合光路的兩個(gè)子諧振腔組成復(fù)合型諧振腔的腔內(nèi)和頻激光器結(jié)構(gòu)；一個(gè)子諧振腔產(chǎn)生波長λ<sub>1</sub>，另一個(gè)子諧振腔波長產(chǎn)生波長λ<sub>2</sub>，λ<sub>1</sub>和λ<sub>2</sub>通過非線性晶體，由非線性和頻相互作用，獲得488nm波長的腔內(nèi)和頻全固體藍(lán)光激光器。該激光器體積小，效率高，可廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療儀器。
文檔編號(hào)H01S3/108GK101132106SQ200710056048
公開日2008年2月27日 申請(qǐng)日期2007年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月7日
發(fā)明者付喜宏, 檀慧明, 繆同群, 高蘭蘭 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所