本實用新型涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種霍爾離子源防打火蓋筒。

背景技術(shù)：

霍爾離子源的工作原理是陰極燈絲通電后發(fā)熱發(fā)光，產(chǎn)生熱電子，熱電子在陽極正電壓的拉動下向陽極運動，在運動過程中遇到磁場，在磁場的洛侖茲力作用下，電子作螺旋式運動，運動過程中與導(dǎo)氣鐵芯中出來的O2或Ar分子進行碰撞產(chǎn)生O+或Ar+離子，O+或Ar+離子在陽極正電壓的排斥推動下往上方移動，這些正離子在通過陰極燈絲邊上時又遇到熱電子，結(jié)果正離子被中和，但依舊保留了原先的動能繼續(xù)往上方運動，一直到達(dá)離子源上方工件架的鍍膜基片表面，對表面進行撞擊，提高薄膜沉積時的致密度。

然而現(xiàn)有的霍爾離子源在使用過程中存在著一些不足之處，現(xiàn)有的霍爾離子源在使用的過程中，陰極絲接線處容易打火，而影響鍍膜光潔度。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種霍爾離子源防打火蓋筒。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：一種霍爾離子源防打火蓋筒，包括霍爾離子源本體、接線柱和蓋筒本體，所述霍爾離子源本體上表面一側(cè)固定有接線柱，所述接線柱底端套接固定有卡片，所述接線柱表面螺紋固定有下固定螺母，且下固定螺母上方設(shè)置有上固定螺母，所述接線柱一側(cè)連接有陰極絲，所述接線柱表面套接有蓋筒本體，所述蓋筒本體內(nèi)部開設(shè)有卡片槽，且卡片槽上方設(shè)置有螺母槽，所述螺母槽上方設(shè)置有接線柱槽。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述卡片為長方體結(jié)構(gòu)。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述接線柱共設(shè)置有兩個，且兩個接線柱對稱固定在霍爾離子源本體上表面。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述蓋筒本體為氮化硼材料加工的一體化圓柱形結(jié)構(gòu)。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述陰極絲兩端分別連接在兩個接線柱上。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

所述螺母槽一側(cè)開設(shè)有通孔。

本實用新型中，首先，霍爾離子源陰極絲接線處容易打火，通過接線柱上套接有蓋筒，使得打火的時候是在蓋筒內(nèi)產(chǎn)生，不會跑到蓋筒外面而影響鍍膜光潔度，其次蓋筒本體為氮化硼材料加工的一體化圓柱形結(jié)構(gòu)，其具有耐高溫不倒電的優(yōu)良性能，且為一體化結(jié)構(gòu)，可一次成型，加工簡單，成本較低，再有通過接線柱底端套接固定有卡片，蓋筒內(nèi)部設(shè)置有相應(yīng)的卡片槽，因卡片為長方體結(jié)構(gòu)，卡片槽也為長方形結(jié)構(gòu)，使得蓋筒本體套接在接線柱上，不易產(chǎn)生轉(zhuǎn)動，從而損傷陰極絲，使得該蓋筒的穩(wěn)定性更高，實用性更強。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種霍爾離子源防打火蓋筒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種霍爾離子源防打火蓋筒蓋筒的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型提出的一種霍爾離子源防打火蓋筒蓋筒的剖視圖。

圖例說明：

1-霍爾離子源本體、2-卡片、3-下固定螺母、4-接線柱、5-蓋筒本體、6-上固定螺母、7-陰極絲、8-卡片槽、9-通孔、10-螺母槽、11-接線柱槽。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-3，一種霍爾離子源防打火蓋筒，包括霍爾離子源本體1、接線柱4和蓋筒本體5，霍爾離子源本體1上表面一側(cè)固定有接線柱4，接線柱4底端套接固定有卡片2，接線柱4表面螺紋固定有下固定螺母3，且下固定螺母3上方設(shè)置有上固定螺母6，接線柱4一側(cè)連接有陰極絲7，接線柱4表面套接有蓋筒本體5，蓋筒本體5內(nèi)部開設(shè)有卡片槽8，且卡片槽8上方設(shè)置有螺母槽10，螺母槽10上方設(shè)置有接線柱槽11。

卡片2為長方體結(jié)構(gòu)，接線柱4共設(shè)置有兩個，且兩個接線柱4對稱固定在霍爾離子源本體1上表面，蓋筒本體5為氮化硼材料加工的一體化圓柱形結(jié)構(gòu)，陰極絲7兩端分別連接在兩個接線柱4上，螺母槽10一側(cè)開設(shè)有通孔9，卡片2為卡片槽8均為長方體結(jié)構(gòu)，且卡片槽8的規(guī)格大于卡片2的規(guī)格。

工作原理：該霍爾離子源防打火蓋筒使用時，首先將陰極絲7穿過蓋筒本體5表面開設(shè)的通孔9，將陰極絲7連接到接線柱4上，然后通過旋轉(zhuǎn)上固定螺母6和下固定螺母 3，輔助固定好陰極絲7，此時將蓋筒本體5底部開設(shè)的卡片槽8與卡片2的位置相對應(yīng)，將蓋筒本體5套接在接線柱4上，變完了該防打火蓋筒的安裝，安裝方便，使用穩(wěn)定。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。