半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具的制作方法
【專利摘要】半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具,該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具,該夾具是由底板、中板、蓋板、滑塊、Bar條組成;采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵,當(dāng)完成激光器一面鍍膜后,進行另一面腔面鍍膜前,需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜θ角,操作方法是將滑塊B反面,并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝,然后卸蓋板A,將滑塊A反面,重新裝上蓋板A,固定激光器Bar條,最后完成另一面的鍍膜。本發(fā)明采用將激光器Bar條傾斜固定的鍍膜夾具的技術(shù)方案,有效解決了激光器腔面鍍膜過程中的遮擋技術(shù)問題,也避免激光器Bar條的二次污染。
【專利說明】
半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域,是一種半導(dǎo)體激光器研制和生產(chǎn)過程中有重要應(yīng)用鍍膜裝置,應(yīng)用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜。
【背景技術(shù)】
[0002]腔面鍍膜技術(shù)是半導(dǎo)體激光器研制和生產(chǎn)過程中的核心技術(shù)之一,鍍制的腔面光學(xué)膜反射率等性能直接影響和決定半導(dǎo)體激光器的性能,對半導(dǎo)體激光器制備有重要影響。
[0003]為了提高半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜反射率和鍍膜質(zhì)量的控制,通常采用高真空條件下離子輔助物理氣相沉積鍍膜技術(shù),采用石英晶體膜厚控制儀和光學(xué)膜厚控制儀對光學(xué)膜生長過程中的厚度進行控制。理論上,可以實現(xiàn)需要反射率的半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜,但是實際工藝中,鍍制的腔面光學(xué)膜反射率與設(shè)計值存在較大的差異,主要的原因在于:工藝過程中,需要鍍膜夾具對半導(dǎo)體激光器Bar條進行固定,而半導(dǎo)體激光器有源區(qū)離P面電極垂直距離在I?2μπι,在激光器Bar條固定過程中,因激光器Bar條腔長或多或少存在數(shù)μπι以上的差異,且安裝Bar條的夾具表面不平整,激光器有源區(qū)部分很容易被相鄰的激光器Bar條或夾具部件表面遮擋,這樣鍍膜過程中,激光器有源區(qū)位置生長的膜厚與實際要求的值有差異,而且與當(dāng)時的固定Bar條的狀態(tài)有關(guān),存在很大的不確定性。為了解決該技術(shù)問題,需要從激光器Bar條固定方式進行突破,本發(fā)明采用傾斜激光器Bar條的技術(shù)方案解決這種鍍膜過程中的不確定問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]為了解決激光器腔面鍍膜過程中,有源區(qū)被遮擋,有源區(qū)位置光學(xué)膜膜厚不可控的問題,本發(fā)明從固定激光器Bar條夾具設(shè)計方案入手,提出了對激光器Bar條傾斜安裝固定技術(shù)方案,目的在于鍍膜過程中,需要鍍膜的激光器腔面有源區(qū)區(qū)域全部裸露于鍍膜環(huán)境下,保證淀積到激光器有源區(qū)位置的膜厚可測、可控。
[0005]本發(fā)明解決激光器腔面鍍膜有源區(qū)被遮擋問題所采用的技術(shù)方案是,半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具,該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具,該夾具是由底板1、中板2、蓋板3、滑塊4、Bar條5組成;
[0006]底板I與中板2接觸面為光滑平面,底板I的中間開有長方形通孔,激光器的Bar條5與該長方形通孔相配合,并透過該長方形通孔鍍制其所需光學(xué)膜,底板I中空部分邊緣厚度Cl1較薄,該面板作為鍍膜夾具底部支撐板使用,底板I兩邊開有內(nèi)螺紋通孔;
[0007]中板2的兩面均為光滑的金屬板,中板2與底板I的尺寸相一致,中板2的中間掏空成長方形,長方形寬度W2比底板中空的長方形寬度Wi寬0.5mm-1.5mm,中板2的厚度與激光器的腔長一致以鎖緊激光器的Bar條5,中板2的兩邊開有無內(nèi)螺紋的通孔;
[0008]蓋板3和底板I的尺寸相一致,蓋板3被分割成蓋板A、蓋板B兩部分,蓋板3中間開有中空的長方形金屬板即為蓋板B,蓋板3的另外部分為蓋板A,蓋板A、蓋板B相配合以便拆卸;另外在蓋板B部分內(nèi)空的兩邊對稱開了長方形切口,以便于激光器的Bar條5拆裝;蓋板A和B兩側(cè)開有內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔,以便將底板1、中板2、蓋板3組裝成一體,形成完整夾具,蓋板3與底板I結(jié)合將激光器的Bar條5上下固定。
[0009]滑塊4一面的傾斜底角為Θ,滑塊4的寬度W2為中板2內(nèi)的長方形寬度,滑塊4需成對與中板2相配合,滑塊4的斜面與激光器電極面相接觸,每對滑塊4中間固定有一組激光器的Bar 條5 ο
[0010]激光器的Bar條5是鍍膜的主體,通過蓋板3的內(nèi)空邊緣切口劃入,通過對稱的兩個滑塊4固定到鍍膜夾具的內(nèi)槽中,激光器Bar條能夠根據(jù)需要依次平行排列,安裝Bar條5的過程中,保證鍍膜面的有源區(qū)部分沒有遮擋地置露鍍膜環(huán)境中。
[0011]滑塊4采用不銹鋼金屬材料,傾斜底角Θ為45°至75°,
[0012]采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵,當(dāng)完成激光器一面鍍膜后,進行另一面腔面鍍膜前,需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜Θ角,操作方法是將滑塊B反面,并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝,然后卸蓋板A,將滑塊A反面,重新裝上蓋板A,固定激光器Bar條,最后完成另一面的鍍膜。
[0013]綜上所述,本發(fā)明采用將激光器Bar條傾斜固定的鍍膜夾具的技術(shù)方案,有效解決了激光器腔面鍍膜過程中的遮擋技術(shù)問題,從以上技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明半導(dǎo)體激光器鍍膜夾具設(shè)計方案具有以下有益效果:
[0014](I)該方案通過采用傾斜滑塊設(shè)計,能有效實現(xiàn)激光器Bar條鍍膜前傾斜放置,鍍膜過程中,激光器有源區(qū)能無遮擋置于鍍膜環(huán)境中,避免因激光器Bar條不齊或滑塊對激光器有源區(qū)部分的遮擋,從而實現(xiàn)對有源區(qū)鍍膜厚度和膜系的精確控制;
[0015](2)該設(shè)計方案,通過將蓋板分成兩部分設(shè)計,當(dāng)完成一面鍍膜后,能方便通過拆卸蓋板A部分調(diào)整激光器Bar條傾斜角度,實現(xiàn)另一面鍍膜,能節(jié)省大量的激光器Bar條拆裝時間,也避免激光器Bar條的二次污染。
【附圖說明】
[0016]圖1.1為本發(fā)明的立面裝配圖。
[0017]圖1.2為本發(fā)明的平面不意圖。
[0018]圖1.3為本發(fā)明的A向剖面圖。
[0019]圖1.4為本發(fā)明的B向剖面圖。
[0020]圖2.1為底板的平面不意圖。
[0021]圖2.2為底板的A向剖面圖。
[0022]圖2.3為底板的B向剖面圖。
[0023]圖3.1為中板的平面不意圖
[0024]圖3.2為中板的A向剖面圖。
[0025]圖3.3為中板的B向剖面圖。
[0026]圖4.1為滑塊的平面示意圖
[0027]圖4.2為滑塊的A向剖面圖。
[0028]圖4.3為滑塊的B向剖面圖。
[0029]圖5.1為鍍膜夾具滑塊圖。
[0030]圖5.2為鍍膜夾具滑塊A向剖面圖。
[0031]圖5.3為鍍膜夾具滑塊B向剖面圖。
【具體實施方式】
[0032]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清晰明白,以下結(jié)合具體實施例,并參照附圖,對本發(fā)明進一步詳細說明。
[0033]如圖1.1-5.3所示為本發(fā)明提供的半導(dǎo)體激光器鍍膜夾具整體即各組件的示意圖;本發(fā)明的鍍膜夾具包括底板、中板、蓋板(A和B)、滑塊四部分,其中:
[0034]底板I采用不銹鋼金屬材料,長方體設(shè)計,寬W在20mm至50mm之間,長L在30mm至120mm之間,厚度d為1.5mm至4.0mm之間,中間開一長方形通孔,通孔寬度Wi為1mm至30mm之間,長Li在15mm至90mm之間,通孔邊緣厚度di為0.5mm,與中板接觸面平整光滑。
[0035]中板2采用不銹鋼金屬材料,長方體設(shè)計,外形長寬與底板一致,厚度出與激光器腔長一致,內(nèi)開長方形通孔,面板成U字形,開孔的寬度W2比底板寬度W1tl.0mm,上下兩面平行且平整光滑。
[0036]蓋板3采用不銹鋼金屬材料,長方體設(shè)計外形長L寬W厚d與底板一致,中間開長方形通孔,通孔尺寸與底板一致,蓋板底面與中板接觸面為平整光滑表面。蓋板有A、B兩部分組成,蓋板A的長度L3比滑塊A長度Lo長l-3mm即可。在蓋板B靠蓋板中空邊緣處兩邊各開一個方形通孔,通孔的寬W2的0.5mm,長L4為激光器腔長2倍左右。
[0037]滑塊4采用不銹鋼金屬材料,傾斜底角Θ為45°至75°,滑塊寬度《2與中板長方形通孔寬度W2—樣,厚度出與激光器Bar條腔長一致,上下左右四面光亮平整,每次使用時,需要成對安裝固定激光器Bar條。
[0038]底板1、中板2、蓋板3兩邊設(shè)計通過螺釘固定的對齊通孔,其中,底板開內(nèi)置螺紋孔,中板開無螺紋通孔,蓋板開內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔。
[0039]在本發(fā)明一優(yōu)選實例中,所述寬度Wi為1mm或14mm,長度Li為30mm,L為50mm,w為30mm,滑塊底角Θ為60°。
[0040]綜上所述,本實施例提出了一種半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具設(shè)計,有效解決了激光器腔面鍍膜過程中,因激光器相互遮擋導(dǎo)致的半導(dǎo)體激光器腔面光學(xué)膜鍍制過程中反射率不可控的問題,能明顯提高半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的成品率。
[0041]以上所述的具體實施例,對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明,所應(yīng)理解的是,以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已,并不用于限制本發(fā)明,凡是在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所做的任何修改、等同替換、改進等,均應(yīng)包括在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具,該夾具為一種傾斜固定激光器Bar條的特殊鍍膜夾具,其特征在于:該夾具是由底板(1)、中板(2)、蓋板⑶、滑塊⑷、Bar條(5)組成; 底板(I)與中板(2)接觸面為光滑平面,底板(I)的中間開有長方形通孔,激光器的Bar條(5)與該長方形通孔相配合,并透過該長方形通孔鍍制其所需光學(xué)膜,底板(I)中空部分邊緣厚度CU較薄,該面板作為鍍膜夾具底部支撐板使用,底板(I)兩邊開有內(nèi)螺紋通孔; 中板(2)的兩面均為光滑的金屬板,中板(2)與底板(I)的尺寸相一致,中板(2)的中間掏空成長方形,長方形寬度W2比底板中空的長方形寬度Wi寬0.5mm-1.5mm,中板(2)的厚度與激光器的腔長一致以鎖緊激光器的Bar條(5),中板(2)的兩邊開有無內(nèi)螺紋的通孔; 蓋板(3)和底板(I)的尺寸相一致,蓋板(3)被分割成蓋板A、蓋板B兩部分,蓋板(3)中間開有中空的長方形金屬板即為蓋板B,蓋板(3)的另外部分為蓋板A,蓋板A、蓋板B相配合以便拆卸;另外在蓋板B部分內(nèi)空的兩邊對稱開了長方形切口,以便于激光器的Bar條(5)拆裝;蓋板A兩側(cè)開有內(nèi)陷螺帽的無內(nèi)置螺紋通孔,以便將底板(1)、中板(2)、蓋板(3)組裝成一體,形成完整夾具,蓋板(3)與底板(I)結(jié)合將激光器的Bar條(5)上下固定; 滑塊(4)一面的傾斜底角為Θ,滑塊(4)的寬度W2為中板(2)內(nèi)的長方形寬度,滑塊(4)需成對與中板(2)相配合,滑塊(4)的斜面與激光器電極面相接觸,每對滑塊(4)中間固定有一組激光器的Bar條(5); 激光器的Bar條(5)是鍍膜的主體,通過蓋板(3)的內(nèi)空邊緣切口劃入,通過對稱的兩個滑塊(4)固定到鍍膜夾具的內(nèi)槽中,激光器Bar條能夠根據(jù)需要依次平行排列,安裝Bar條(5)的過程中,保證鍍膜面的有源區(qū)部分沒有遮擋地置露鍍膜環(huán)境中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具,其特征在于:滑塊(4)采用不銹鋼金屬材料,傾斜底角Θ為45°至75°。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜夾具,其特征在于:采用帶斜面的滑塊是實現(xiàn)激光器Bar條傾斜安裝固定的關(guān)鍵,當(dāng)完成激光器一面鍍膜后,進行另一面腔面鍍膜前,需要將激光器Bar條沿另一方向傾斜Θ角,操作方法是將滑塊B反面,并將半導(dǎo)體激光器Bar條順滑塊B斜面傾斜安裝,然后卸蓋板A,將滑塊A反面,重新裝上蓋板A,固定激光器Bar條,最后完成另一面的鏈月旲。
【文檔編號】H01S5/028GK105938976SQ201610131483
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年3月8日
【發(fā)明人】譚祖雄, 郭偉玲
【申請人】北京工業(yè)大學(xué)