第二輸出鏡8構(gòu)成，并且形成的諧振腔是L型腔，532nm全反鏡與接近的532nm半透半反鏡之間設(shè)有三倍頻晶體11。
[0030]所述第一全反鏡3為子諧振腔的栗浦端腔鏡，可以為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第一全反鏡3上鍍有對(duì)808nm高透和1064nm、532nm高反的介質(zhì)膜。所述第二全反鏡7為子諧振腔的另一端腔鏡，可以為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第二全反鏡7上鍍有1064nm、532nm、355nm高反的介質(zhì)膜。所述532nm全反鏡為平面鏡，其上鍍有對(duì)532nm、355nm高反的介質(zhì)膜和1064nm增透膜。所述第二輸出鏡8為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第二輸出鏡8上鍍有1064nm、532nm高反的介質(zhì)膜和355nm增透膜。所述栗浦源I為輸出808nm波長(zhǎng)栗浦光的二極管栗浦源。所述耦合鏡2由兩片式透鏡組成，兩片透鏡均鍍有808nm增透膜，其放大比例為1:2，用于將栗浦光聚焦到激光晶體4內(nèi)部。所述激光晶體4為Nd: YAG晶體。所述Q開關(guān)5為采用熔融石英的聲光Q開關(guān)，其超聲頻率為40.68MHz，Q開關(guān)5雙面鍍有1064nm增透膜，用于調(diào)制產(chǎn)生脈沖激光。所述二倍頻晶體10為L(zhǎng)BO 二次諧波晶體，規(guī)格為3 X 3 X 20mm,雙面鍍有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用I臨界相位匹配方式，切割角(Θ =90°，Φ= 12° )。所述三倍頻晶體11的規(guī)格為3X3X 15_，雙面鍍有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用II類臨界相位匹配方式，切割角(Θ = 43.69°，Φ=90° )。
[0031]工作時(shí)，遠(yuǎn)離第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12由栗浦源I產(chǎn)生的栗浦光經(jīng)過(guò)耦合鏡2聚焦于激光晶體4上進(jìn)行端面栗浦，在Q開關(guān)5的調(diào)制作用下產(chǎn)生基頻脈沖激光，532nm全反鏡透射的1064nm激光在二倍頻晶體10上產(chǎn)生倍頻綠光脈沖，在第二全反鏡7、532nm全反鏡的反射下，被傳輸?shù)脚c端面栗浦激光器12光軸相垂直的光路中，經(jīng)過(guò)三倍頻晶體11產(chǎn)生紫外激光，并從第二輸出鏡8輸出。剩余綠光在第二全反鏡7和第二輸出鏡8構(gòu)成的諧振腔中震蕩，最終產(chǎn)生紫外激光并從第二輸出鏡8輸出，這樣形成一路紫外激光。
[0032]接近第二輸出鏡8的兩個(gè)端面栗浦激光器12由栗浦源I產(chǎn)生的栗浦光經(jīng)過(guò)耦合鏡2聚焦于激光晶體4上進(jìn)行端面栗浦，在Q開關(guān)5的調(diào)制作用下產(chǎn)生基頻脈沖激光，經(jīng)過(guò)532nm半透半反鏡、二倍頻晶體10和三倍頻晶體11后，產(chǎn)生紫外激光。三個(gè)端面栗浦激光器12輸出的532nm激光依次并聯(lián)接入第二全反鏡7和第二輸出鏡8構(gòu)成的倍頻諧振腔，形成合束并從第二輸出鏡8輸出。
[0033]各端面栗浦激光器12和相對(duì)應(yīng)的三倍頻晶體11、二倍頻晶體10構(gòu)成一個(gè)子系統(tǒng)模塊，形成一個(gè)中小功率栗浦綠光激光器模塊，這樣的模塊化設(shè)計(jì)有利于工業(yè)化生產(chǎn)，有利于后期維護(hù)替換，或者增減模塊來(lái)增加或者減少激光輸出功率。
[0034]實(shí)施例三
[0035]請(qǐng)參考圖3，所述的中小功率LD并聯(lián)栗浦高功率紫外激光器包括三個(gè)二倍頻晶體
10、三個(gè)三倍頻晶體11、三個(gè)端面栗浦激光器12和諧振腔。諧振腔的一端是第二輸出鏡8。三個(gè)端面栗浦激光器12相并聯(lián)設(shè)置，三個(gè)端面栗浦激光器12的光軸平行。三個(gè)三倍頻晶體11均位于諧振腔內(nèi)形成倍頻諧振腔，其中一個(gè)二倍頻晶體10位于諧振腔內(nèi)。各端面栗浦激光器12包括由栗浦源1、耦合鏡2和激光晶體4構(gòu)成的端面栗浦裝置、由第一全反鏡3和第二全反鏡7構(gòu)成的子諧振腔、設(shè)于子諧振腔內(nèi)用于調(diào)制產(chǎn)生脈沖激光的Q開關(guān)5以及用于將脈沖激光進(jìn)行反射輸出的第一輸出鏡6，第一輸出鏡6與端面栗浦激光器12的光軸成45°夾角。接近第二輸出鏡8的兩個(gè)端面栗浦激光器12的第一輸出鏡6是532nm半透半反鏡，該兩個(gè)端面栗浦激光器12的532nm半透半反鏡之間、第二輸出鏡8與接近的端面栗浦激光器12的532nm半透半反鏡之間設(shè)有三倍頻晶體11，該兩個(gè)端面栗浦激光器12的532nm半透半反鏡與第二全反鏡7之間設(shè)有二倍頻晶體10。遠(yuǎn)離第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12的第一輸出鏡6是對(duì)1064nm全透、對(duì)532nm、355nm全反的355nm全反鏡，所述諧振腔由遠(yuǎn)離第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12的第二全反鏡7和第二輸出鏡8構(gòu)成，并且形成的諧振腔是L型腔，并且遠(yuǎn)離第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12的第二全反鏡7與355nm全反鏡之間設(shè)有三倍頻晶體11和二倍頻晶體10，三倍頻晶體11接近355nm全反鏡。
[0036]所述第一全反鏡3為子諧振腔的栗浦端腔鏡，可以為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第一全反鏡3上鍍有對(duì)808nm高透和1064nm、532nm高反的介質(zhì)膜。所述第二全反鏡7為子諧振腔的另一端腔鏡，可以為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第二全反鏡7上鍍有1064nm、532nm、355nm高反的介質(zhì)膜。所述355nm全反鏡為平面鏡，其上鍍有對(duì)532nm、355nm高反的介質(zhì)膜和1064nm增透膜。所述第二輸出鏡8為平面鏡、平凸鏡或平凹鏡，第二輸出鏡8上鍍有1064nm、532nm高反的介質(zhì)膜和355nm增透膜。所述栗浦源I為輸出808nm波長(zhǎng)栗浦光的二極管栗浦源。所述耦合鏡2由兩片式透鏡組成，兩片透鏡均鍍有808nm增透膜，其放大比例為1: 2，用于將栗浦光聚焦到激光晶體4內(nèi)部。所述激光晶體4為Nd: YAG晶體。所述Q開關(guān)5為采用熔融石英的聲光Q開關(guān)，其超聲頻率為40.68MHz，Q開關(guān)5雙面鍍有1064nm、532nm增透膜，用于調(diào)制產(chǎn)生脈沖激光。所述二倍頻晶體10為L(zhǎng)BO 二次諧波晶體，規(guī)格為3X3X20mm,雙面鍍有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用I臨界相位匹配方式，切割角(Θ=90。，Φ = 12。)。所述三倍頻晶體11的規(guī)格為3X3X 15_，雙面鍍有1064nm、532nm、355nm增透膜，采用II類臨界相位匹配方式，切割角(Θ = 43.69°，Φ = 90° )。
[0037]工作時(shí)，遠(yuǎn)離第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12由栗浦源I產(chǎn)生的栗浦光經(jīng)過(guò)耦合鏡2聚焦于激光晶體4上進(jìn)行端面栗浦，在Q開關(guān)5的調(diào)制作用下產(chǎn)生基頻脈沖激光，355nm全反鏡透射的1064nm激光在二倍頻晶體10上產(chǎn)生倍頻綠光脈沖，在第二全反鏡7反射下，進(jìn)入三倍頻晶體11上產(chǎn)生紫外激光，經(jīng)過(guò)355nm全反鏡反射進(jìn)入垂直于端面栗浦激光器12光軸的倍頻諧振腔里，并從第二輸出鏡8輸出，這樣形成一路紫外激光。
[0038]接近第二輸出鏡8的兩個(gè)端面栗浦激光器12由栗浦源I產(chǎn)生的栗浦光經(jīng)過(guò)耦合鏡2聚焦于激光晶體4上進(jìn)行端面栗浦，在Q開關(guān)5的調(diào)制作用下產(chǎn)生基頻脈沖激光，經(jīng)過(guò)532nm半透半反鏡、二倍頻晶體10和三倍頻晶體11后，產(chǎn)生紫外激光。三個(gè)端面栗浦激光器12輸出的532nm激光依次并聯(lián)接入第二全反鏡7和第二輸出鏡8構(gòu)成的倍頻諧振腔，形成合束并從第二輸出鏡8輸出。
[0039]各端面栗浦激光器12和相對(duì)應(yīng)的三倍頻晶體11、二倍頻晶體10構(gòu)成一個(gè)子系統(tǒng)模塊，形成一個(gè)中小功率栗浦綠光激光器模塊，這樣的模塊化設(shè)計(jì)有利于工業(yè)化生產(chǎn)，有利于后期維護(hù)替換，或者增減模塊來(lái)增加或者減少激光輸出功率。
[0040]本實(shí)用新型還可以具有其他實(shí)施例，在其他實(shí)施例中，端面栗浦激光器12可以是4個(gè)或者5個(gè)或者更多，二倍頻晶體10和三倍頻晶體11的數(shù)量與端面栗浦激光器12的數(shù)量相同，從而形成三路以上的中小功率LD并聯(lián)栗浦高功率紫外激光器。對(duì)于三路以上子系統(tǒng)模塊的組合，只需要在三路組合后面加入與接近第二輸出鏡8的端面栗浦激光器12 —樣的子系統(tǒng)模塊即可，各子系統(tǒng)模塊形成合束并從第二輸出鏡