專利名稱：壓電諧振器及其制造方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種壓電諧振器及其制造方法，其中壓電諧振器適合于以方形振動模式振動，用于振蕩器、濾波器、鑒別器、梯形濾波器或其它設備中。
參照

圖14，示出了傳統(tǒng)的壓電諧振器51的結(jié)構(gòu)。這種壓電諧振器51適合于以方形振動模式振動。壓電諧振器51包含壓電基片52，它是方形的，并具有第一和第二主表面。將部分電極53設置在壓電基片52的第一主表面的中心部分，并將整個表面電極54設置在第二主表面上，從而覆蓋其整個表面。
壓電諧振器51的特征在于其諧振頻率。另外，壓電諧振器51具有阻尼特性，從而如果將諧振器51用于梯形濾波器或其它類似的設備中時，諧振器51的特征在于其靜電電容。因此，當制造這種壓電諧振器51時，控制諧振頻率或靜電電容的值是必要的。通過調(diào)節(jié)部分電極53的面積調(diào)節(jié)靜電電容。
但是，在傳統(tǒng)的壓電諧振器51中，必需在壓電基片52的兩個主表面上都設置導電膠，以確定電極。然后通過蝕刻印刷一個電極的圖案，以確定部分電極53。但是，由于用于蝕刻處理的抗蝕油墨的滲出和污染，部分電極53的輪廓不齊。另外，由于抗蝕油墨的印刷圖案的變形，使部分電極53變形。這些制造問題使壓電諧振器51的電特性下降。另外，因為部分電極53是由將抗蝕油墨用作蝕刻掩模的蝕刻處理確定的，故蝕刻液體使壓電基片52受到腐蝕。這可能使壓電諧振器51的電特性下降。
克服上述問題的一種方法是制造如圖15中所示的壓電諧振器61。壓電諧振器61是通過切割在壓電基片62中的凹槽64來將電極分為用于輸入-輸出的部分電極63a和確定其它部分電極63b(其中不傳送電信號的電極)制造而成的。
從而，通過制造圖15所示的壓電諧振器，克服了由蝕刻處理引起的上述問題。另外，在壓電諧振器61中，確定了等于凹槽的中心線之間的距離的間距B，從而得到理想的靜電電容和機械耦合系數(shù)。另外，確定壓電諧振器61的一個邊緣的長度L，從而得到理想的諧振頻率。最后，為了防止在每一個壓電諧振器中都會發(fā)生的諧振器特性的變化，將凹槽的寬度和深度設置在大致固定的值。
注意，當在壓電諧振器61中確定凹槽64，以具有固定的深度時，首先將壓電諧振器61設置在固定的板上。然后通過水平地移動諸如切割鋸之類的精密切割設備來切割諧振器61，以確定凹槽64。參照圖16，凹槽64的深度D等于壓電諧振器61的總厚度T和剩下的厚度N之間的差。注意，深度D等于從固定板的表面到凹槽64中最低點的距離。
但是，壓電諧振器61的顯著的缺點是，制造困難并且復雜。尤其難以單次地檢測壓電諧振器61的表面的位置(壓電基片62的厚度)，以確定壓電諧振器61中的凹槽，尤其是在大量生產(chǎn)的環(huán)境下。注意，壓電基片62的厚度的變化可以相對較大。
這個缺點在圖17A、17B和17C中描述。如果壓電諧振器61的厚度T1象圖17A中那么小，則壓電諧振器61的凹槽64的厚度D1變淺，或如果壓電諧振器61的厚度T2象圖17B中那么厚，則壓電諧振器61的凹槽64的深度D2變深。還有，如圖17C所示，當壓電基片62具有曲面時，在切割成壓電基片61中的凹槽64的厚度的變化較大。
因此，按照上述方法，在制造了壓電諧振器后，需要諧振調(diào)諧的附加步驟。這導致制造難度、時間和成本的增加，并影響諧振器的諧振特性。
為了克服上述問題，本發(fā)明的較佳實施例提供了一種壓電諧振器和制造壓電諧振器的方法，其中大大減小了由制造工藝引起的諧振頻率的變化，同時防止了諧振器制造工藝的成本和難度的增加。
根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，一種構(gòu)成得以方形振動模式振動的諧振器包括具有第一和第二主表面的壓電基片，設置在第一和第二主表面上的電極、設置在壓電基片的第一主表面中的凹槽，從而其中一個凹槽將至少一個電極分離，以確定多個分開的電極，多個分開的電極中的一個電極規(guī)定為輸入/輸出電極，越過輸入/輸出電極相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離是壓電基片的一側(cè)邊緣的長度的大約0.5到大約0.55倍。
輸入/輸出電極最好大致上為圓形，并構(gòu)成得使如上所述定義的最大距離大致上等于輸入/輸出電極的直徑和凹槽寬度的兩倍的和。
由此，發(fā)現(xiàn)越過輸入/輸出電極相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離與壓電基片的邊緣的長度的比值、諧振頻率、設置在壓電諧振器中的凹槽的深度、以及凹槽的寬度之間的關系是這樣的，即當越過輸入/輸出電極相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離與壓電基片的邊緣的長度之間的比值在大約0.5到大約0.55的范圍內(nèi)，并且凹槽的寬度是常數(shù)時，諧振頻率對凹槽的深度的依變性最小。
在本發(fā)明的另一個較佳實施例中，這種構(gòu)成得以方形振動模式振動的壓電諧振器的制造方法包括步驟設置具有第一和第二主表面的壓電母片，在壓電母片的第一和第二主表面的大致整個區(qū)域內(nèi)形成電極、通過在壓電母片的第一和第二主表面中的一個主表面上形成多個凹槽，將至少一個電極分為多個分開的電極、其中多個分開的電極中的一個規(guī)定為輸入/輸出電極，并將壓電母片分為單個的壓電基片，這些基片構(gòu)成壓電諧振器，從而壓電基片的側(cè)面邊緣是越過輸入/輸出電極，相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離長度的大約0.5到大約0.55倍。
相應地，當在壓電諧振器上形成凹槽時，通過將越過輸入/輸出電極，相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離與壓電基片的邊緣的長度之間的比值設置在大約0.5到大約0.55的范圍內(nèi)，使諧振頻率對凹槽深度的依變性最小化。由此，大致上消除了制造工藝中諧振頻率的變化。由此使壓電諧振器的諧振頻率穩(wěn)定，并明顯地減小了在制造壓電諧振器后調(diào)諧諧振頻率的必要性。
這種方法能夠同時制造多個上述的壓電諧振器。即使壓電基片的母片厚度并非完全均勻，仍可以同時制造多個上述具有相同諧振頻率的壓電諧振器。
下面將參照本發(fā)明的較佳實施例和附圖，詳細地描述本發(fā)明的元素和優(yōu)點。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的透視圖；圖2是示出當凹槽的寬度接近于0.1微米時，比值A/L和諧振頻率之間的關系的曲線圖；圖3是示出當凹槽的寬度接近于0.2微米時，比值A/L和諧振頻率之間的關系的曲線圖；圖4是示出當凹槽的寬度接近于0.3微米時，比值A/L和諧振頻率之間的關系的曲線圖5是示出當凹槽的寬度接近于0.4微米時，比值A/L和諧振頻率之間的關系的曲線圖；圖6A-圖6D示出圖1中所示的，根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的諧振器的制造過程；圖7是本發(fā)明的另一個較佳實施例的壓電諧振器的俯視圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明的較佳另一實施例的壓電諧振器的透視圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明的另一個較佳實施例的俯視圖；圖10A是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的振蕩器、濾波器或鑒別器的平面截面圖；圖10B是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的振蕩器、濾波器或鑒別器的縱向截面圖；圖11是示出圖10A-10B中所示的，根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的振蕩器、濾波器或鑒別器的等效電路的示圖；圖12A是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的梯形濾波器的平面截面圖；圖12B是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的梯形濾波器的縱向截面圖；圖13是示出圖12A-12B所示的根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的梯形濾波器的等效電路的示圖；圖14是傳統(tǒng)的壓電諧振器的透視圖；圖15是根據(jù)傳統(tǒng)裝置的壓電諧振器的俯視圖；圖16示出根據(jù)傳統(tǒng)方法，切割壓電基片上的凹槽的工藝；圖17A-17C示出了壓電諧振器厚度與凹槽深度之間的關系。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例，構(gòu)成得以方形振動模式振動的壓電諧振器的透視圖。在壓電諧振器1中，最好將電極設置在壓電基片2的第一和第二主表面的大致上整個區(qū)域上。壓電基片2最好由經(jīng)極化的壓電陶瓷材料制成。
在壓電基片2的一個主表面上，最好將電極3a和3b分成由壓電基片2上的多個直線凹槽5所確定的部分。作為多個分開的電極中的一個電極的電極3a最好規(guī)定為輸入/輸出電極。還有，比值A/L最好在大約0.5到大約0.55的范圍內(nèi)，其中A是越過電極3a，相對而置的凹槽的兩個外部邊緣之間的距離，而L是壓電基片的一個邊緣的長度。換句話說，在較佳實施例中，最好滿足關系0.5(L)(A)＝W+2S(0.55)(L)，其中W是輸入/輸出電極3a的寬度，而S是凹槽5的寬度。
注意，電極3a和3b相互電氣絕緣。電極3a規(guī)定為如上所述的輸入/輸出電極，并且最好位于壓電諧振器1的大致中心部分。將多個電極3b放置在壓電諧振器1的附近，并規(guī)定無線相連，從而電極3b不用作壓電諧振器1的電極。
在壓電基片2的第二主表面上，最好連續(xù)而均勻地將電極4設置在基片2的大致上整個區(qū)域上。電極4確定了整個的表面電極，用于壓電諧振器中的信號輸入-輸出。
在壓電諧振器1中，由于凹槽5的寬度是通過使用諸如切割鋸或其它切割機器之類的精密切割設備所確定，故凹槽5的寬度由用于切割處理中的條鋸的厚度決定。相應地，凹槽厚度中的變化較小，從而諧振頻率中凹槽的厚度的影響較小。
但是，凹槽5的深度“D”經(jīng)受如上所述較大的變化。結(jié)果，由凹槽深度D的變化引起的對諧振頻率的影響是可觀的。為了克服這個問題，在本發(fā)明的較佳實施例中，比值A/L最好在大于0.5到大于0.55范圍內(nèi)。通過將比值A/L設置在上述范圍內(nèi)，即使凹槽5的深度由于壓電基片2的厚度的變化而上下變動，也可以使壓電諧振器1的頻率的變化最小化，并且使壓電諧振器1的特性穩(wěn)定。
圖2到5是示出解釋上述比值A/L的影響的實驗數(shù)據(jù)的曲線圖。這些示圖指出，對于各種凹槽寬度S和凹槽深度D的值，壓電諧振器1的諧振頻率隨比值A/L的變化。圖2是示出當凹槽5的寬度S為大約0.1微米，凹槽深度D分別為大約10微米、大約50微米和大約90微米時，比值A/L和諧振頻率之間的關系的曲線圖。圖3、4和5是當將凹槽5的寬度S分別設置在大約0.2微米、大約0.3微米和大約0.4微米時類似的曲線。
參照圖2，當凹槽5的寬度S大約0.1微米時，諧振頻率特性對深度D分別為大約10微米、大約50微米、和大約90微米的曲線，會聚在比值A/L為大約53％到大約54％的范圍內(nèi)。
從圖3看出，當凹槽5的寬度S是0.2微米時，諧振頻率特性對深度D分別為大約10微米、大約50微米、和大約90微米的曲線，會聚在比值A/L為大約51％到大約53％的范圍內(nèi)。
從圖4看出，當凹槽5的寬度S是大約0.3微米時，諧振頻率特性對深度D分別為大約10微米、大約50微米、和大約90微米的曲線，會聚在比值A/L為大約52％到大約53％的范圍內(nèi)。
從圖5看出，當凹槽5的寬度是大約0.4微米時，諧振頻率特性對深度D分別為大約10微米、大約50微米、和大約90微米的曲線，會聚在比值A/L所落入的范圍大約55％的范圍內(nèi)。
相應地，只要凹槽的寬度S基本上相同，則諧振頻率的特性曲線會聚在比值A/L為大約0.5到大約0.55范圍內(nèi)。
因此，如果如圖1所示的壓電諧振器1構(gòu)成得使比值A/L在大約0.5或更大與大約0.55或更小的范圍內(nèi)，則即使在制造工藝中由于壓電基片厚度的變化而引起凹槽5的深度上下變動，也可以使壓電諧振器1的頻率的變化最小化，并使壓電諧振器1的特性穩(wěn)定。
參照圖6A-6D，將解釋如圖1所示的本發(fā)明的較佳實施例的制造過程。
首先，參照6A和6B，將諸如銀膏之類的導電膠設置在最好由壓電材料制成的壓電母片6的一對主表面的大致上整個區(qū)域上，并進行烘焙，以形成電極7和8。
參照圖6C，通過電極7和8，在壓電母片6的兩個主表面之間施加DC電壓，極化壓電母片6。
參照圖6D，最好將壓電母片6切割成多個各別的壓電諧振器1，同時通過使用諸如切割鋸之類的精密的切割設備，在每一個壓電諧振器1上形成具有預定的寬度S和深度D的凹槽。在整個過程中，最好將比值A/L設置在大約0.5到大約0.55的范圍內(nèi)。
在本發(fā)明的另一個較佳實施例中，可以分開地執(zhí)行將壓電母片6切割為多個壓電諧振器1的步驟和在每一個壓電諧振器1中確定凹槽5的步驟。
因為本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器1可以按照上述方法制造，大大簡化了制造過程，從而和確定電極的傳統(tǒng)方法相比，大大減小了生產(chǎn)時間和成本。另外，由于并不將蝕刻處理用于確定電極，故全部消除了會使壓電諧振器1的電氣特性下降的因素，諸如由抗蝕油墨的印刷圖案引起變形效果引起的電極的變形、抗蝕油墨的滲漏和模糊導致電極的擴散、以及由蝕刻液體導致壓電基片2的腐蝕。由此，大大改進了壓電諧振器1的電特性。
另外，由于將壓電母片6切割為多個獨立的壓電諧振器1的步驟和在每一個壓電諧振器1上確定凹槽5的步驟被結(jié)合為一個步驟(圖6D)，大大簡化了制造過程。由此，不產(chǎn)生凹槽5對于壓電諧振器1的位置的空隙，因此大大減小了壓電諧振器1的諧振頻率中的變化。
在具有如圖1所示的結(jié)構(gòu)的壓電諧振器1中，較好地，電極3a的形狀大致上是方形的。但是，凹槽5的方向不必平行于壓電基片2的每一個邊緣。如圖7所示，在壓電諧振器1的大致的中心部分的大致方形的電極3a可以由凹槽5確定，所述凹槽5是相對壓電基片2的每一邊沿傾斜的。如果電極的面積大致上相等，則不論凹槽如何偏轉(zhuǎn)，將得到相等的靜電電容。在這個較佳實施例中，如圖7所示定義距離A和長度L，其中距離A是越過輸入/輸出電極3a而相對的兩個凹槽5的外部邊緣之間的距離，長度L是壓電基片2的一個側(cè)面邊緣的長度。
注意，用于在構(gòu)成得以方形振動模式振動的壓電諧振器1中輸入/輸出信號的電極3a可以是任何形狀。為了得到理想的電特性而不帶來變形，電極3a最好大致上為具有多個角的正多邊形，或電極3a可以大致上為圓形。但是，為了提供更為容易和簡單的制造過程，電極最好是具有少量角的正多邊形。
為了使制造過程更為簡單，凹槽5最好是大致上線形的。另外，在本發(fā)明的另一個較佳實施例中，如圖8所示，在壓電基片2上只有設置得大致上相互平行的兩個凹槽5。在這個較佳實施例中，距離A和長度L如圖8中所示那樣被定義。
相應地，在另一個較佳實施例中，凹槽5不必從壓電基片2的一端延伸到另一端。如圖9所示，只要將電極3a和3b分開，并使它們電氣絕緣，則可以部分地形成凹槽5。在這個例子中，如圖9中所示定義距離A和長度L。
另外，如果在較佳實施例中，規(guī)定輸入/輸出電極的電極大致上為圓形，則上述距離A是輸入/輸出電極的直徑和凹槽寬度的兩倍的和。
在較佳實施例中，上述凹槽只分離在壓電基片的主表面上的電極。但是，可以限定凹槽在壓電基片的兩個主表面上，從而分離兩個主表面上的電極。
圖10A和10B分別是示出使用本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的振蕩器、濾波器或鑒別器的結(jié)構(gòu)的平面截面圖和縱向截面圖。圖11是上述振蕩器、濾波器或鑒別器的等效電路示圖。壓電諧振器23具有用作振蕩器、濾波器或鑒別器所必需的電特性。在最好是由絕緣材料制成的基底21中，終端22和24取出通過它們之間的縫隙的壓電諧振器23的電特性。罩子26覆蓋基底21的上部、終端22、壓電諧振器23和終端24。壓電諧振器23和終端22和24通過設置在終端24和罩子26的內(nèi)部之間的彈性材料壓縮在一起，并相互電氣連接。在基底21下面，密封膠27填充了罩子26的下面的孔。
圖12A和12B分別是使用根據(jù)本發(fā)明的較佳實施例的壓電諧振器的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)的平面截面圖和縱向截面圖。在最好是由絕緣材料制成的基底31中，輸入端32、接地端36和輸出端38延伸通過那里的縫隙。罩子41覆蓋接地31的上部、輸入端32、第一壓電諧振器33、大致上U形的終端34的電極34a、第二壓電諧振器35、接地端36、第四壓電諧振器37、輸出端38、第三壓電諧振器39和大致上U形電的終端34的電極34b。通過設置在大致上U形的終端34的電極34b和罩子41內(nèi)部之間的彈性材料40，將每一個諧振器33、35、37和39以及每一個終端32、36和38壓縮在一起，并相互電氣連接。在基底31下面，密封膠42填充了罩子41的下面的孔。
圖13是所述梯形濾波器的等效電路的示圖。第一和第三壓電諧振器33和39具有串聯(lián)諧振器的電特性。第二和第四壓電諧振器35和37具有并聯(lián)諧振器的電特性。輸入端32電氣連接到第一壓電諧振器33，輸入信號傳播到第一壓電諧振器33。大致上U形的終端34電氣連接到第一壓電諧振器33、第二壓電諧振器35和第三壓電諧振器39，從第一壓電諧振器33輸出的電信號傳播到第二壓電諧振器35和第三壓電諧振器39。接地電極36電氣連接到第二壓電諧振器35和第四壓電諧振器37，從第二壓電諧振器35和第四壓電諧振器37輸出的電信號傳送到地。將輸出終端38電氣連接到第三壓電諧振器39和第四壓電諧振器37，將從第三壓電諧振器39和第四壓電諧振器37輸出的電信號作為輸出信號傳送，另外，電信號還傳送到另一個壓電諧振器37。
雖然已經(jīng)參照本發(fā)明的較佳實施例，示出和描述了本發(fā)明，但是，熟悉本領域的人應該知道，在不背離本發(fā)明的主旨的條件下，可以有形式和細節(jié)上的上述和其它的變化。
權(quán)利要求
1.一種壓電諧振器，其特征在于包含具有一對主表面的壓電基片；設置在一對主表面上的多個電極；設置在壓電基片的一對主表面中的一個主表面上的多個凹槽，至少一個凹槽將至少一個電極分開，以確定多個分開的電極，多個分開的電極中的一個電極確定為輸入/輸出電極；以及越過輸入/輸出電極的相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離是壓電基片的一側(cè)邊緣的長度的大約0.5到大約0.55倍。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于諧振器構(gòu)成得以方形振動模式振動。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個凹槽大致上是線形的。
4.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個凹槽大致上平行于壓電基片的邊緣。
5.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個凹槽相對于壓電基片的側(cè)面邊緣表面傾斜。
6.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于較好地滿足關系0.5(L)(A)＝W+2S(0.55)(L)，其中W是輸入/輸出電極的寬度，S是多個凹槽之一的寬度。
7.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于一組多個電極設置在壓電諧振器的周圍，并規(guī)定了不相連的電線，從而所述這些電極不用作壓電諧振器的電極。
8.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于將多個電極之一設置在壓電基片一對主表面的另一個主表面大致整個區(qū)域上，確定整個表面的電極。
9.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個電極中確定輸入/輸出電極的一個電極大致上是方形的。
10.如權(quán)利要求9所述的壓電諧振器，其特征在于多個電極中確定輸入/輸出電極的一個電極位于壓電基片的大致中心部分。
11.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個電極中確定輸入/輸出電極的一個電極大致上是正多邊形。
12.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個電極中確定輸入/輸出電極的一個電極大致上是圓形的。
13.如權(quán)利要求1所述的壓電諧振器，其特征在于多個凹槽從壓電基片的第一縱向端延伸到第二縱向端。
14.一種制造壓電諧振器的方法，其特征在于包含步驟提供具有一對主表面的壓電母片；在壓電母片的一對主表面上形成電極；通過在壓電母片的一對主表面中的一個主表面上形成多個凹槽，分開至少一個電極，形成多個分開的電極，多個分開的電極中的一個電極確定為輸入/輸出電極；及分割壓電母片，以形成構(gòu)成獨立的壓電諧振器的獨立的壓電基片，從而壓電基片的一側(cè)邊緣為越過輸入/輸出電極相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離的大約0.50到大約0.55倍。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于形成電極的步驟包括在壓電母片的一對主表面的大致整個區(qū)域上形成和烘焙導電膠的步驟。
16.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于還包含一個步驟通過電極，在壓電母片的一對主表面之間施加DC電壓，極化壓電母片。
17.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于如圖6D所示，通過在壓電母片的一對主表面中的一個主表面上形成多個凹槽來分離至少一個電極，以形成多個電極的步驟，以及分離壓電母片，以形成獨立的壓電基片的步驟同時進行。
18.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于諧振器形成得以方形振動模式振動。
19.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于基本滿足0.5(L)(A)＝W+2S(0.55)(L)的關系，其中W是輸入/輸出電極的寬度，S是多個凹槽中的一個凹槽的寬度。
20.如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于一組多個電極位于壓電諧振器的周圍，并確定了不連接的線，從而這些電極不用作壓電諧振器的電極。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種壓電諧振器,它構(gòu)成得以方形振動模式振動,并使由制造過程中引起的諧振頻率的變化最小化。諧振器包括具有一對主表面的壓電基片,設置在一對主表面上的電極以及設置在壓電基片的主表面上的凹槽。凹槽將至少將一個電極分為多個分開的電極。多個分開的電極中的一個電極規(guī)定為輸入/輸出電極。越過輸入/輸出電極,相對而置的兩個凹槽的外部邊緣之間的最大距離是壓電基片的一側(cè)邊緣的長度的大約0.5到大約0.55倍。
文檔編號H03H9/17GK1257345SQ9912486
公開日2000年6月21日 申請日期1999年11月18日 優(yōu)先權(quán)日1998年11月18日
發(fā)明者板坂康浩 申請人:株式會社村田制作所