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一種濕法刻蝕機的制作方法技術資料下載

技術編號:39656836

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本技術涉及刻蝕機,尤其涉及一種濕法刻蝕機。背景技術、濕法刻蝕機是一種用于進行濕法刻蝕的設備。它通常用于微納加工領域,用于刻蝕材料的表面,進行微細結構的制作。濕法刻蝕機的工作原理是將基體材料浸泡在特定的蝕刻液中,通過化學反應將部分材料溶解掉,從而實現(xiàn)刻蝕的目的。、現(xiàn)有的蝕刻材料在進行濕蝕刻時,往往會分為多個工藝流程,其中包括蝕刻液的浸泡和清洗液的清洗,傳統(tǒng)的刻蝕機是通過一個機械擺臂,將蝕刻材料從蝕刻槽轉移到清洗槽,但是,當蝕刻槽內有料時,清洗槽內為空置狀態(tài),當清洗槽內有料時,刻蝕槽內為空置狀態(tài)...
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