一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，包括脫膠槽和用于對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱的蒸汽加熱裝置，所述蒸汽加熱裝置包括蒸汽加熱管，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，該脫膠裝置還包括至少一個(gè)用于將脫膠槽內(nèi)雜質(zhì)分離的分離隔板，所述分離隔板上設(shè)置有若干通孔，分離隔板活動(dòng)安裝于脫膠槽內(nèi)，該脫膠裝置一方面采用蒸汽加熱管對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，脫膠槽受熱均勻，脫膠速度快、脫膠效果好，從而可實(shí)現(xiàn)晶托板的再次使用，提高晶托板的利用率，節(jié)約生產(chǎn)成本，另一方面利用分離隔板有利于及時(shí)有效的將脫膠產(chǎn)生的雜質(zhì)去除，提高了脫膠效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及到太陽(yáng)能硅棒切割領(lǐng)域，特別是指一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能硅片一般是將硅棒在自動(dòng)切片機(jī)上進(jìn)行，其主要是利用細(xì)鋼絲進(jìn)行切割，鋼絲的直徑一般采用Φ 0.1mm，娃片的厚度一般是在0.2mm的薄片，娃棒一般通過(guò)粘膠固定在晶托上，目前采用的晶托包括晶托板和玻璃板，玻璃板的一個(gè)側(cè)面通過(guò)粘膠層粘結(jié)于晶托板上，硅棒通過(guò)粘膠層粘結(jié)在玻璃板的另一側(cè)面上。在切割硅棒生產(chǎn)硅片的過(guò)程中，切割完成后，晶托板都是完整的，而由于切割時(shí)需要切透硅棒，玻璃板上則會(huì)存留有鋼絲的切割槽印，如果能夠?qū)⒕邪迳厦娴恼衬z成功去除，便可實(shí)現(xiàn)晶托板的再次使用，從而可以提高晶托板的利用率，大大節(jié)約生產(chǎn)成本，因此，發(fā)明一種可以將晶托板成功高效脫膠的裝置就變得十分必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是:提供一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，該脫膠裝置脫膠速度快、脫膠效果好，可實(shí)現(xiàn)晶托板的再次使用，從而提高晶托板的利用率，節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，包括脫膠槽和用于對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱的蒸汽加熱裝置，所述蒸汽加熱裝置包括蒸汽加熱管，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，該脫膠裝置還包括至少一個(gè)用于將脫膠槽內(nèi)雜質(zhì)分離的分離隔板，所述分離隔板上設(shè)置有若干通孔，分離隔板活動(dòng)安裝于脫膠槽內(nèi)。
[0005]作為一種優(yōu)選的方案，所述脫膠槽的槽壁為中空結(jié)構(gòu)，脫膠槽的槽壁包括內(nèi)槽壁和外槽壁，所述蒸汽加熱管纏繞于內(nèi)槽壁和外槽壁之間。
[0006]作為一種優(yōu)選的方案，所述蒸汽加熱管的管壁上包覆有保溫隔熱材料。
[0007]作為一種優(yōu)選的方案，脫膠槽的內(nèi)槽壁上設(shè)有若干用于放置分離隔板的凸起，各凸起均位于同一傾斜平面上，分離隔板設(shè)置于所述凸起上。
[0008]作為一種優(yōu)選的方案，所述分離隔板為兩個(gè)，兩個(gè)分離隔板在脫膠槽內(nèi)平行安裝.
[0009]作為一種優(yōu)選的方案，所述兩個(gè)分離隔板之間的間隔不少于3厘米。
[0010]作為一種優(yōu)選的方案，該脫膠裝置還包括用于控制脫膠槽內(nèi)脫膠溫度的溫度控制裝置，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器，溫度傳感器安裝于脫膠槽內(nèi)槽壁上，且該溫度傳感器與位于脫膠槽外部的控制器相連接。
[0011]作為一種優(yōu)選的方案，所述脫膠裝置包括給脫膠槽內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)水的補(bǔ)水系統(tǒng)，所述脫膠槽內(nèi)設(shè)置有液位傳感器。
[0012]作為一種優(yōu)選的方案，該脫膠裝置還包括電加熱管，所述電加熱管呈螺旋狀安裝于脫膠槽的底部。
[0013]采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的有益效果是:由于一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，包括脫膠槽和用于對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱的蒸汽加熱裝置，所述蒸汽加熱裝置包括蒸汽加熱管，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，該脫膠裝置還包括至少一個(gè)用于將脫膠槽內(nèi)雜質(zhì)分離的分離隔板，所述分離隔板上設(shè)置有若干通孔，分離隔板活動(dòng)安裝于脫膠槽內(nèi)，該脫膠裝置一方面采用蒸汽加熱管對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，脫膠槽受熱均勻，脫膠速度快、脫膠效果好，從而可實(shí)現(xiàn)晶托板的再次使用，提高晶托板的利用率，節(jié)約生產(chǎn)成本，另一方面利用分離隔板有利于及時(shí)有效的將脫膠產(chǎn)生的雜質(zhì)去除，提高了脫膠效率。
[0014]又由于脫膠槽的槽壁為中空結(jié)構(gòu)，脫膠槽的槽壁包括內(nèi)槽壁和外槽壁，所述蒸汽加熱管纏繞于內(nèi)槽壁和外槽壁之間，工作人員在操作時(shí)不容易被燙傷，提高了該脫膠裝置的使用安全性。
[0015]又由于加熱管的管壁上由內(nèi)而外依次包覆有保溫材料和隔熱材料，工作人員在操作時(shí)不容易被燙傷，提高了該脫膠裝置的使用安全性。
[0016]又由于脫膠槽的內(nèi)槽壁上設(shè)有若干用于放置分離隔板的凸起，各凸起均位于同一傾斜平面上，分離隔板設(shè)置于所述凸起上，便于分離隔板的多次取出和重新放入，該種設(shè)置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，而且不易損壞變形。
[0017]又由于分離隔板為兩個(gè)，兩個(gè)分離隔板在脫膠槽內(nèi)平行安裝，利用兩個(gè)分離隔板可以提高雜質(zhì)的分離效率。
[0018]又由于兩個(gè)分離隔板之間的間隔不少于3厘米，便于位于上部的分離隔板的取出。
[0019]又由于該脫膠裝置還包括用于控制脫膠槽內(nèi)脫膠溫度的溫度控制裝置，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器，溫度傳感器安裝于脫膠槽內(nèi)槽壁上，且該溫度傳感器與位于脫膠槽外部的控制器相連接，可以有效控制脫膠槽內(nèi)的溫度，從而提高脫膠效率。
[0020]又由于該脫膠裝置還包括電加熱管，所述電加熱管呈螺旋狀安裝于脫膠槽的底部，由于待脫膠的晶托板放入脫膠槽后都會(huì)沉入脫膠槽的下部，因此脫膠槽的下部溫度相比其他各處溫度不容易提升，采用該種結(jié)構(gòu)后可以有效解決上述問(wèn)題，有利于進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)脫膠槽內(nèi)受熱均勻。
【附圖說(shuō)明】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0022]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]附圖中:1.脫膠槽；11.內(nèi)槽壁;12.外槽壁;2.蒸汽加熱管;3.分離隔板;4.凸起;5.電加熱管;6.液位傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所述的一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0025]如圖1所示，一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，包括脫膠槽I和用于對(duì)脫膠槽I進(jìn)行加熱的蒸汽加熱裝置，所述蒸汽加熱裝置包括蒸汽加熱管2，蒸汽加熱管2纏繞于脫膠槽I的外部，該脫膠裝置還包括至少一個(gè)用于將脫膠槽I內(nèi)雜質(zhì)分離的分離隔板3，所述分離隔板3上設(shè)置有若干通孔，分離隔板3活動(dòng)安裝于脫膠槽I內(nèi)。
[0026]本實(shí)施例中，所述脫膠槽I的槽壁為中空結(jié)構(gòu)，脫膠槽I的槽壁包括內(nèi)槽壁11和外槽壁11，所述蒸汽加熱管2纏繞于內(nèi)槽壁11和外槽壁11之間，防止工作人員在操作時(shí)被燙傷，提高了該脫膠裝置的使用安全性。當(dāng)然，還可以在蒸汽加熱管2的管壁上包覆有保溫隔熱材料。
[0027]脫膠槽I的內(nèi)槽壁11上設(shè)有若干用于放置分離隔板3的凸起4，各凸起4均位于同一傾斜平面上，分離隔板3與所述凸起4配合安裝，該脫膠裝置還包括電加熱管5，所述電加熱管5呈螺旋狀安裝于脫膠槽I的底部，當(dāng)然，還可以直接選用電加熱板來(lái)代替電加熱管5。該脫膠裝置還包括用于控制脫膠槽I內(nèi)脫膠溫度的溫度控制裝置，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器，溫度傳感器安裝于脫膠槽I內(nèi)槽壁11上，且該溫度傳感器與位于脫膠槽I外部的控制器相連接，本實(shí)施例中溫度控制裝置省略未畫(huà)。
[0028]另外，所述脫膠裝置包括給脫膠槽內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)水的補(bǔ)水系統(tǒng)，所述脫膠槽內(nèi)設(shè)置有液位傳感器6，脫膠槽內(nèi)脫膠的過(guò)程中可能會(huì)消耗水，例如在取出晶托板時(shí)會(huì)帶出一定量的水分，在加熱的過(guò)程中也會(huì)有損失，因此利用液位傳感器6可以檢測(cè)液位高度，并利用補(bǔ)水系統(tǒng)及時(shí)補(bǔ)水。
[0029]本實(shí)施例中，選用的分離隔板3是通孔呈一個(gè)個(gè)小格子的格子板，當(dāng)然還可以選用其他形狀通孔的分離隔板3。而且分離隔板3的個(gè)數(shù)還可以為多個(gè)，可以為兩個(gè)、三個(gè)甚至更多，各分離隔板3在脫膠槽I內(nèi)平行安裝，且所述各個(gè)兩個(gè)分離隔板3之間的間隔最好不少于3厘米，每個(gè)分離隔板3的厚度可以選用2厘米至5厘米之間。
[0030]脫膠工作時(shí)，將脫膠槽I內(nèi)加入脫膠液，把待脫膠的晶托板放入脫膠槽I內(nèi)，蒸汽加熱管2對(duì)脫膠槽I進(jìn)行加熱，加熱過(guò)程中，始終由溫度控制裝置對(duì)溫度進(jìn)行控制，待脫膠的晶托板開(kāi)始慢慢脫膠，脫膠過(guò)程中粘膠和玻璃板等的雜質(zhì)會(huì)殘留在分離隔板3上，脫膠完成后工作人員首先將已經(jīng)脫膠的晶托板取出，然后再將分離隔板3取出，并去除上面的雜質(zhì)，將分離隔板3清理干凈后，又將分離隔板3重新放入脫膠槽I內(nèi)，繼續(xù)進(jìn)行下一批的晶托板脫膠過(guò)程。如果是同時(shí)使用多個(gè)分離隔板3，那么就可以每一個(gè)分離隔板3對(duì)應(yīng)一批的待脫膠晶托板，這樣可以一批脫膠完成后馬上放入下一批，不必等待上一個(gè)分離隔板3清理干凈，SP可馬上進(jìn)行下一批的脫膠，大大提高了脫膠的效率，從而盡快實(shí)現(xiàn)晶托板的再次使用。
[0031]本實(shí)施例中脫膠液選用的是水，當(dāng)然也可以根據(jù)實(shí)際需要選擇其他的脫膠液。
[0032]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:包括脫膠槽和用于對(duì)脫膠槽進(jìn)行加熱的蒸汽加熱裝置，所述蒸汽加熱裝置包括蒸汽加熱管，蒸汽加熱管纏繞于脫膠槽的外部，該脫膠裝置還包括至少一個(gè)用于將脫膠槽內(nèi)雜質(zhì)分離的分離隔板，所述分離隔板上設(shè)置有若干通孔，分離隔板活動(dòng)安裝于脫膠槽內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:所述脫膠槽的槽壁為中空結(jié)構(gòu)，脫膠槽的槽壁包括內(nèi)槽壁和外槽壁，所述蒸汽加熱管纏繞于內(nèi)槽壁和外槽壁之間。3.如權(quán)利要求1所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:所述蒸汽加熱管的管壁上包覆有保溫隔熱材料。4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:脫膠槽的內(nèi)槽壁上設(shè)有若干用于放置分離隔板的凸起，各凸起均位于同一傾斜平面上，分離隔板設(shè)置于所述凸起上。5.如權(quán)利要求4所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:該脫膠裝置還包括用于控制脫膠槽內(nèi)脫膠溫度的溫度控制裝置，所述溫度控制裝置包括溫度傳感器，溫度傳感器安裝于脫膠槽內(nèi)槽壁上，且該溫度傳感器與位于脫膠槽外部的控制器相連接。6.如權(quán)利要求5所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:所述脫膠裝置包括給脫膠槽內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)水的補(bǔ)水系統(tǒng)，所述脫膠槽內(nèi)設(shè)置有液位傳感器。7.如權(quán)利要求6所述一種硅棒切割用晶托板脫膠裝置，其特征在于:該脫膠裝置還包括電加熱管，所述電加熱管呈螺旋狀安裝于脫膠槽的底部。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK205614859SQ201620434087
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年5月13日
【發(fā)明人】李小坡, 白青松, 李虎, 駱益民
【申請(qǐng)人】蘇州晶櫻光電科技有限公司